JPS62128152A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はマクロセル・アレイ方式を用いた半導体集積回
路装置に関する。

〔従来の技術〕

−Ｃにマクロセル・アレイ方式の半導体集積回路装置は
、第５図のように複数個のマクロセル１を一方向、例え
ばＸ方向に配列してマクロセル・アレイ２を構成し、こ
のマクロセル・アレイ２をこれと直角な方向、つまりＹ
方向に所要の間隔をおいて並設した構成となっている。

前記各マクロセル１はマクロセル・アレイ２の両側に夫
々の入出力端子３を配置させるように配列し、かつ各マ
クロセル・アレイ２の間は配線チャネル領域４としてマ
クロセル１乃至マクロセル・アレイ２の相互配線を施し
得るように構成している。

そして、従来の配線チャネル領域４における配線では、
Ｘ方向の配線５は第１層配線で構成し、Ｙ方向の配線６
は第１層配線上に形成した第２層配線で構成し、これら
第１．第２層の配線５，６をスルーホール７において相
互接続するとともに全体として配線面積が最小となるよ
うに回路ノ々り−ンの設計がなされている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の半導体集積回路装置は、配線チャネルに
おける第１．第２層の各配線５．６は単に配線面積の点
についてのみ考慮されてパターン設計が行われているの
で、場合によっては２つ以上の異なる配線が長い距離に
亘って近接状態でかつ平行に延設されることがある。こ
のため、これらの隣接配置された配線を通電される信号
が相互に影響を及ぼしあい、半導体集積回路装置の電気
的特性に悪影響を生じさせることがある。

特に、配線チャネル領域４の長手方向、つまり前述の例
ではＸ方向に延設される配線間でこの現象は生じ易く、
高周波を取り扱う半導体集積回路装置では隣接配線間の
相互干渉が著しくなり、半導体集積回路装置の特性に重
大な影響を与えることになる。

〔問題点を解決するための手段〕 本発明の半導体集積回路装置は、平行に延設される配線
における各信号間での相互干渉を防止して特性の安定化
及び信頼性の向上を図るものである。

本発明の半導体集積回路装置は、配線チャネル領域の長
手方向に延設した１以上の配線と、この配線に交差接続
して所定電位を供給する配線とからなる格子配線を配設
し、この格子配線によって隔絶されるトラック内にマク
ロセル間を接続する配線を延設する構成としている。

〔実施例〕

次に、本発明を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す。図のように複数個の
マクロセル１をＸ方向に配列してマクロセル・アレイ２
を構成し、このマクロセル・アレイ２を所要間隔おいて
Ｙ方向に並設し各マクロセル・アレイ２間に配線チャネ
ル領域４を構成している。また、各マクロセル１は入出
力端子３がマクロセル・アレイ２の両側に配置されるよ
うにしてアレイを構成している。

前記配線チャネル領域４には、配線チャネル領域４の長
手方向、つまりＸ方向に沿って４本の平行な配線１１を
第１層配線として延設し、またこれら配線１１に直交す
る配線１２を第２層配線としてマクロセル１の２個分の
間隔で配設している。

そして、これら配線１１と１２とをスルーホール１３で
相互に接続して全体として格子配線１４を構成し、マク
ロセル１を介してＹ方向配線１２をＧＮＤに接続するこ
とにより、全てのＸ方向配線１１をＧＮＤ電位に保って
いる。なお、この格子配線１４のみを第２図に示してお
り、これにより配線１１によってＹ方向に隔絶されるＸ
方向の領域（これをトラックと称する）８が５本形成さ
れることが判る。

また、前記配線チャネル領域４には各マクロセル１の入
出力端子３を相互に接続するために第１層配線からなる
Ｘ方向の配線５と、第２層配線からなるＹ方向の配線６
を配設し、夫々をスルーホール７で相互に接続している
。そして、これら配線５，６の中、配線チャネル領域４
の長手方向に沿う配線、即ち本実施例ではＸ方向の配線
５を前記格子配線１４のＸ方向の配線１１間の各トラ・
ツクに夫々配設しており、各配線５は格子配線１４の配
線１１によってＹ方向に隔絶されるように構成している
。

この構成によれば、配線チャネル領域４においてＸ方向
に延設される配ｆａ５は全てＧＮＤ電位に保持された配
線１１によって隔絶されているので、各配線５は相互に
シールドされた状態とされ、長手方向に延設される隣接
配線間線５での電気的な干渉が防止され、各配線５の信
号の相互影響が防止できる。また、Ｙ方向に隣接する配
線６においてもＧＮＤ電位に保持されている格子配線１
４のＹ方向の配線１２によって相互に隔絶でき、配線６
の信号間での影響を防止することもできる。

なお、この実施例では格子配線１１を４本設けているの
で、配線チャネル領域４内には５本のトラックが構成さ
れ、Ｘ方向配線５を５本並設できることは前述の通りで
ある。

したがって、配線チャネル領域４において特に長く隣接
する配線５相互間での信号の影響を無くし、半導体集積
回路装置の特性の安定化と信頼性の向上を図ることがで
きる。

第３図は本発明の他の実施例を示しており、第１図と同
−又は均等な部分には同一符号を附しである。

この実施例では第４図に格子配線１４Ａのみを示すよう
に、配線チャネル領域４に形成する格子配線１４ＡのＸ
方向の配線１１を３本で構成する一方、両側の配１１１
ａ、ｌｌａとマクロセル・アレイ２との間には２本のＸ
方向配線５を延設し得るように構成し、全体として６本
のトラック８Ａを構成して夫々にＸ方向配線５を延設で
きるようにしている。この配ｂｉｌｌａとマクロセル・
アレイ２との間に設ける配線５には、隣接した場合にも
信号の相互影響が生じない配線を選択して延設すること
になる。信号が相互に影響する配線５は、前例と同様に
格子配線１４Ａによって隔絶される状態で配線を行うこ
とは言うまでもない。

この実施例では前例と同様の効果が得られるとともに、
配線チャネル領域４における格子配線１４ＡのＸ方向の
配線１１が３本でありながら実質的に利用できるトラッ
ク８Ａの数を６本とし、マクロセル１の入出力端子３を
相互に接続するＸ方向の配線５をＹ方向に６本並設する
ことができ、集積度の向上を進めることができる。

ここで、各Ｘ方向配線５は必ずしも格子配線の配線１１
によって隔絶された各トランク内に１本のみ延設される
ものではなく、配線チャネル４の長さ方向にずれて配線
される場合には同一トラック内に２本以上延設してもよ
いことは言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、配線チャネル領域の長手
方向に延設した１以上の配線と、この配線に交差接続し
て所定電位を供給する配線とからなる格子配線を配設し
、この格子配線によって隔絶されるトラック内にマクロ
セル間を接続する配線を夫々延設しているので、この格
子配線によって隣接する配線は相互にシールドされ、こ
れら配線間における信号の相互の影響を防止でき、半４
体集積回路装置の特性の安定化及び信頼性の向上を達成
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のレイアウト図、第２図は格
子配線のみを示すレイアウト図、第３図は本発明の他の
実施例のレイアウト図、第４図はその格子配線のみを示
すレイアウト図、第５図は従来のレイアウト図である。 ■・・・マクロセル、２・・・マクロセル・アレイ、３
・・・入出力端子、４・・・配線チャネル領域、５・・
・Ｘ方向配線、６・・・Ｙ方向配線、７・・・スルーホ
ール、８゜８Ａ・・・トラック、１１．ｌｌａ・・・（
Ｘ方向の）配線、１２・・・（Ｙ方向の）配線、１３・
・・スルーホール、１４．１４Ａ・・・格子配線。 第２図 １ム −Ｙ−一一 第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数個のマクロセルからなるマクロセル・アレイを
   複数列に並設し、これらマクロセル・アレイ間に画成し
   た配線チャネル領域において前記各マクロセルを相互接
   続する半導体集積回路装置において、前記配線チャネル
   領域の長手方向に延設した１以上の配線とこの配線に交
   差接続する配線とで所定電位に保たれる格子配線を配設
   し、前記マクロセル間を接続する配線はこの格子配線に
   よって隔絶される複数のトラック内に夫々延設したこと
   を特徴とする半導体集積回路装置。 ２、配線チャネル領域の長手方向に延設される複数本の
   配線を、この長手方向と直角な方向に隔絶されたトラッ
   ク内に延設してなる特許請求の範囲第１項記載の半導体
   集積回路装置。