JPS62140721U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62140721U JPS62140721U JP2700586U JP2700586U JPS62140721U JP S62140721 U JPS62140721 U JP S62140721U JP 2700586 U JP2700586 U JP 2700586U JP 2700586 U JP2700586 U JP 2700586U JP S62140721 U JPS62140721 U JP S62140721U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- heater
- bearing
- heat sink
- manipulator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例に係るマニピユレータ
の縦断面図。 １…基板、２…ホルダ、３…ヒータ、４…熱輻
射遮蔽板、５，５′…かさ歯車、６…軸受け、７
…ヒートシンク、８…帯状金属製編み線、９…シ
ユラウド壁、１１…ホルダ受け板、１２…胴板、
１３…底座板、１４…回転円筒部、１５…回転軸
、１６…軸受け、１７…ヒートシンク、１８…帯
状金属製編み線、２０…台座、２１…内筒、２２
…外筒、２３…横支持筒部、２４…鍔板、２６…
スリーブ、２７…ヒータ支持台。
の縦断面図。 １…基板、２…ホルダ、３…ヒータ、４…熱輻
射遮蔽板、５，５′…かさ歯車、６…軸受け、７
…ヒートシンク、８…帯状金属製編み線、９…シ
ユラウド壁、１１…ホルダ受け板、１２…胴板、
１３…底座板、１４…回転円筒部、１５…回転軸
、１６…軸受け、１７…ヒートシンク、１８…帯
状金属製編み線、２０…台座、２１…内筒、２２
…外筒、２３…横支持筒部、２４…鍔板、２６…
スリーブ、２７…ヒータ支持台。
Claims (1)
- 液体窒素を内蔵するシユラウドを壁面近くに有
し、超高真空排気系を備える分子線結晶成長室の
内部に設けられ半導体基板を保持するマニピユレ
ータであつて、基板を加熱するヒータと、基板を
回転するための回転機構と、回転部を固定部に対
して回転保持するための軸受けとを有し、軸受け
の周囲には熱容量の大きいヒートシンクを備え、
該ヒートシンクとシユトラウドとは熱伝導性の良
い可撓部材によつて連結した事を特徴とする分子
線エピタキシヤル成長用基板マニピユレータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2700586U JPS62140721U (ja) | 1986-02-26 | 1986-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2700586U JPS62140721U (ja) | 1986-02-26 | 1986-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62140721U true JPS62140721U (ja) | 1987-09-05 |
Family
ID=30828631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2700586U Pending JPS62140721U (ja) | 1986-02-26 | 1986-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62140721U (ja) |
-
1986
- 1986-02-26 JP JP2700586U patent/JPS62140721U/ja active Pending