JPS6215805A - 磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［接着分野］ 本発明は磁気ヘッド、特にその電磁変換特性。

耐摩耗性、ｒＩＦ＃蝕性の改善に関するものである。

［従来技術］ 近年普及しつつある家庭用ビデオレコーダにおいては、
磁気テープと磁気ヘッドの相対速度が非常に大きいので
このような装置において用いられる記録再生用の磁気ヘ
ッドは、磁気特性や耐摩耗性の点で有利なセンダストや
フェライトが多く使われていた。しかしながら、近年記
録密度を高く・するためにメタルテープなどの高保磁力
磁気記録媒体が出現しているが、これらの媒体は高保磁
力を有しているので、従来使用されているフェライトコ
アでは十分な出力特性を得ることはできなかった。この
ためここ数年ではセンダストやフェライトに代わり、ス
パッタ法で作成したＣｏ（コバル））　−Ｎｂ　（ニオ
ブ）　−Ｚｒ（シルコニエム）がコアとして使用されて
いる。これらは高い耐摩耗性を有し、しかも、高周波領
域での磁気特性が優れていること、又組成を調整するこ
とで磁歪の全くない合金を作ることが可能であること、
又スーパツタ法で作成するため膜厚が０．１１Ｌｍ以下
という極めて薄いものから３０ｇｍ程度のものまで自由
に作成が可能であるなどの多くの長所を持っている。と
ころが、耐蝕試験（温度４０℃。

湿度９５％の雰囲気中に１６８時間放置）を行ってみる
と変色が起きることがわかった。

［目　的］ 本発明は以上の問題を解決するために成されたもので、
本発明はＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒの欠点の１つである耐蝕性を
、耐摩耗性及び高周波域での磁気特性を損なうことなく
大きく改善することができる磁気ヘッドを提供すること
を目的とする。

［発明の構成］ 以上の目的を達成するために、本発明において−は、Ｃ
ｏｘ　＋Ｚｒｖ　、Ｎｂｚ　、ＡＪ２ｗ　（ｘ＋ｙ＋ｚ
　＋ｗ　＝１００　）なる原子組成を有する非晶質合金
膜とで磁気コアの少なくとも一部分を形成する構成を利
用した。

［実施例］ 以下図面に示す実施例に基づき本発明の詳細な説明する
。

本発明による債れた耐蝕性を有する非晶質合金の組成は
以下の様に示される。

Ｃｏｘ　、Ｚｒｙ　、Ｎｂｚ　、ＡＪｌｖｉただし７５
≦ｘ≦９５．５≦ｙ≦２０．０≦２≦２０，０≦ｗ≦５
．そしてｘ　＋ｙ　十ｚ　＋ｗ　＝１００である。

このうちメタル系磁気ヘッドとしてフェライトより飽和
磁束密度Ｂｓが高く、かつ品晶質化するためには７５≦
ｘ≦９５．５≦ｙ≦２０である必要がある。また磁歪を
調整するためＯ≦２≦２０であるのが好ましく、また耐
蝕性を向上するためにＯ≦ｗ≦５であることが望ましい
。以下上記の組成の非晶質合金の形成例について説明す
る。

第１表に７種類の異なった組成の非晶質合金とその飽和
磁束密度Ｂｓ、保磁率Ｘｃ、及び耐蝕試験の結果を示す
。

第１表 本実施例において非晶質合金は真空槽内を１×１０″’
Ｐａに排気後、純度９９．９９９％ＸＡｒ（アルゴン）
を導入して０．６Ｐａで結晶化ガラス（熱膨張係数α＝
１１０Ｘ１０　　）上に第１表に符号１〜７で示す組成
の非晶質合金を約１時間スパッタすることにより形成し
た。この時の膜厚は２ＩＬｍであった。

これらの膜の耐蝕性を調べるために、温度５０℃、湿度
９５％で１６８時間放置し膜の変色度を調べた。

第１表かられかるようにＡノの添加が耐蝕性の向上に有
効に作用し、その量が増える程耐蝕性が向上することが
わかる。しかしＡ１の添加量が６％では保持率Ｈｃが増
大するため、Ａ１の添加量は６％未満が適当である。

次に第１図に示すように前記のようにして非晶質合金を
スパッタしたガラス基板ＬＡ、ＩＡを非晶質合金膜が対
向するように貼り合わせる。第１図（Ａ）は基板ＩＡを
ガラスの基板から示したものである。又第１図（Ｂ）は
２つの基板ｌＡ。

ＩＡを非晶質合金膜ＩＢ、ＩＢが対向するように貼り合
わせたことを示している。このようにして、磁気テープ
摺動面を研摩仕上げして擬似ヘッドを作成した。

次に市販のビデオテープレコーダ（Ｖ　Ｔ　Ｒ）にこの
擬似ヘッドを取り付け、市販のＣｏドープγＦｅ２Ｏ３
テープによる２４０時間時間後の偏摩耗量Δｄ（第２図
参照）を調べた。第２表にこの偏摩耗量を組成に応じて
示した。なおこの実験−に使用したヘッド形状は厚さ６
３０ｇｍ、幅２．５ｍｍで非晶質合金の厚み、即ちトラ
ック幅は３０Ｊｊ、ｍであった。

第２表より明らかなようにＡ１の添加量は偏摩耗量に全
く影響がないことがわかった。

次に従来のＭ　ｎ　−Ｚ　ｎフェライトを用いたビデオ
ヘッドと本発明による非晶質合金を用いた磁気ヘッドの
特性の比較を行なった。

本発明の磁気ヘッドは次のようにして作成した。

０．６Ｐａのアルゴン（Ａｒ）中で結晶化ガラス上にス
パッタリングで第１表に示す組成の非晶質合金膜を形成
した。非晶質合金膜の厚みは１０ｇｍである。更にこの
上に５ｉ０２薄膜を０．１ｇｍスパッタリングで形成し
た。更に再び１０ＪＬｍの非晶質合金、続いて０．１ｇ
ｍの５ｉ０２薄膜というように順次積槽を行ない、トラ
ック幅３０　、２　ｐｍの非晶質合金部を作成した。

これと結晶化ガラスを貼り合せ、第３図に示す。

磁気ヘッドを作成した。第３図（Ａ）は完成した磁気ヘ
ッドの断面図を示している。第３図（Ａ）において符号
ＬＡで示されているものは基板となる結晶化ガラス、又
符号ＩＢは前記のようにして形成した非晶質合金の膜で
ある。又第３図ＣＢ）は形成した磁気ヘッドの上面図を
示している。第３図ＣＢ）に示すように磁気ヘッドは左
右のコア半体５Ａ　、５Ｂから形成されている。コア半
体５Ａ　、５Ｂは第３図（Ａ）に示した基板を突き合ｈ
ｎ″、＋′ａ＞−ｃｈ６・ｓ７＄４５Ｂ′ＩｆＳ＆ｌ：
ｉｌｉ！５Ｃ、が形成されて＃おり、コア半体５Ａ、５
Ｂは巻線窓の一部分、又巻線窓の下の切り欠き部分の一
部分において溶着用ガラス３Ａ　、３Ａにより固定され
ている。上記のようにして形成した磁気ヘッドを市販の
ＶＴＲの回転シリンダに搭載し、又同時に上記の非晶質
合金磁気ヘッドと同等のトラック幅をもつ従来方式の単
結晶Ｍ　ｎ　−Ｚ　ｎフェライト磁気ヘッドの特性比較
を行なった。

特性評価用の磁気記録媒体としてはメタルテープを使用
し、５　Ｍ　Ｈｚにおける基準シグナルの自己録再感度
の相対比を従来のＭ　ｎ　−Ｚ　ｎ単結晶フェライトヘ
ッドをＯｄＢとして第３表に示した。

第３表に示すようにＭ　ｎ　−Ｚ　ｎ単結晶による磁気
コアを有する磁気ヘッドの録再感度をＯｄＢとすると表
の一番下のＡ、Ｉｌの組成の一番多いヘッドが従来例と
同じ録再感度であるのに比べ、他の発明による組成を有
するコアから成る磁気ヘッドは従来に比べて大幅に感度
が上昇していることがわかる。即ち本発明による磁気ヘ
ッドは５　Ｍ　Ｈｚという高周波帯域において、従来と
同等又はそれ以上の記録再生特性を得ることができた。

［効　果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、Ｃｏ
ｘ　、Ｚｒｖ　、Ｎｂｚ　＋ＡＩ！ｗ　（ｘ＋ｙ＋ｚ＋
ｗ　＝１００　）なる原子組成を有する非晶質合金膜で
磁気コアの少なくとも一部分を構成することにより、即
ちＡ　、４を少量をコアの材質に添加することで耐蝕性
を大きく向上させることができる。

こｃ７）Ｇｏ−Ｚｒ−Ｎｂ−Ａｊ！から成る高耐蝕性非
晶買合金をコアとした磁気ヘッドは、従来のＭ　ｎ　−
Ｚ　ｎ単結晶フェライトヘッドの耐摩耗性。

自己記録再生感度特性に比較して同等もしくはそれ以上
の特性を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は耐摩耗性を調べるために作成した擬似ヘッドの
構成を示すもので第１図（Ａ）はｉ晶質ガラスからなる
基板の平面図、第１図（Ｂ）は非晶質合金膜を形成した
基板を貼り合わせた際の断面図、第２図は第１図（Ａ）
、（Ｅ）に示した擬似ヘッドに豫耗試験を行なった後の
偏摩耗を示しＩＡ・・・基板　　　　　ＩＢ・・・非晶
質合金５Ａ　、５Ｂ・・・コア半休 第１図 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）Ｃｏ＿ｘ、Ｚｒ＿ｙ、Ｎｂ＿ｚ、Ａｌ＿ｗ（ｚ＋ｙ
   ＋ｚ＋ｗ＝１００）の原子組成を有する非晶質合金膜で
   磁気コアの少なくとも一部分が構成されることを特徴と
   する磁気ヘッド。 ２）前記磁気コアの磁気記録媒体摺接部に前記非晶質合
   金膜が配置されることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項に記載の磁気ヘッド。 ３）前記非晶質合金膜の組成は原子組成で前記のｘ、ｙ
   、ｚ、ｗがそれぞれ７５≦ｘ≦９５、５≦ｙ≦２０、０
   ≦ｚ≦２０、０≦ｗ≦５、ｘ＋ｙ＋ｚ＋ｗ＝１００であ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項に
   記載の磁気ヘッド。