JPS62170186A

JPS62170186A - 熱処理装置

Info

Publication number: JPS62170186A
Application number: JP1256686A
Authority: JP
Inventors: 陰山　俊一
Original assignee: Tokyo Electron Sagami Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Sagami Ltd
Priority date: 1986-01-23
Filing date: 1986-01-23
Publication date: 1987-07-27
Also published as: JPH0410199B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、発熱素線などを支持する支持装置に係り、
特に、支持強度の改善および支持構造の簡略化に関する
。　　　　“ 〔従来の技術〕半導体処理用の加熱装置では、半導体ウェーハを収容し
た反応管を周面から加熱するため、炉の内面に大口径の
発熱素線が反応管の周面を覆う形態で配設されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このような加熱装置において、発熱素綿の支持には、次
のような欠点がある。

（ａｌ　　炉本体の断熱材に透孔を形成して、発熱素線
を支持していることから、放熱が高く、水冷ジャケット
を設置することができない。

（ｂ）　　カンタルロフトと称する金属物および支持用
セラミック部材の脱落のおそれがある。

（Ｃ）大口径の発熱素線は、発熱時に垂れ下がりが生じ
、反応管との距離が区々になるため、加熱温度が不均一
になるおそれがある。

そこで、この発明は、このような発熱素線などの被支持
部材をＨ車な構造で支持強度を高めた支持装置の提供を
目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の支持装置は、第１図に示すように、胴体部８
に取付部材２０（第８図に示す炉本体２６）に固定され
る腕部１０を設けてなる複数の支持片２を備え、前記胴
体部の側面部に被支持部材（発熱素線６）を係止させる
係止部１２（第２実施例の突部１３）を形成し、この係
止部に係止させて被支持部材を支持するものである。

〔作　　　用〕

この発明の支持装置では、支持片はその腕部によって固
定し、その胴体部に形成した係止部によって被支持部材
を係止することによって、被支持部材を支持する。

そして、この発明の支持装置において、支持片の係止部
に対応して補助支持片に係止部を形成し、この補助支持
片を前記支持片間に設置することにより、被支持部材を
支持することができる。

〔実　施　例〕

以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。

（第１実施例）第１図ないし第３図は、この発明の支持装置の第１実施
例を示す。

この実施例の支持装置は、支持片２および補助支持片４
とから構成されており、各支持片２および補助支持片４
は、被支持部材としてたとえば、発熱素線６を支持する
場合、セラミックなどの機械的な強度が高い断熱材料で
形成する。

支持片２は、偏平な胴体部８の頂部の左右に腕部１０を
一体に形成するとともに、胴体部８の両側部に発熱素線
６の形状に合わせて係止部１２を形成したものである。

この実施例の場合、発熱素線６は断面円形の棒状体を成
しており、係止部１２は、この発熱素線６の半分を覆う
湾曲凹部から成っている。

腕部１０は、支持部材としてのインコネル板１４Ａ、１
４Ｂによって取付部材の内壁部分に支持されるものであ
り、その場合、インコネル板１４Ａ、１４Ｂは、そのね
じ孔１６を通して炉本体の内壁部分に一定の間隔をおい
て取付部材に固定手段としてのボルト１８で固定するも
のとする。

また、補助支持片４は、２つの支持片２の間に設置され
るものであり、支持片２の係止部１２に対応する位置に
同様の係止部２４が形成されている。この実施例では、
支持片２と補助支持片４とを接合し、かつ、係止部１２
．２４を合致させると、丁度発熱素線６の一部の外周囲
を両者で覆うことができる。

したがって、このような支持装置では、第２図に示すよ
うに、取付部材２０に対してインコネル板１４Ａ、１４
Ｂをボルト１８によって取り付け、各インコネル板１４
Ａ、１４Ｂに対して各支持片２を固定し、隣接する支持
片２と支持片２との間に補助支持片４を挟み込み、両者
の係止部１２．２４間に発熱素線６を挿入すれば、第３
図に示すように、多数の発熱素線６を一定の間隔で強固
かつ簡単な構造によって支持することができる。

また、このように支持片２および補助支持片４からなる
ため、発熱素線６の形状が湾曲しているような場合でも
、その組み立ておよび支持固定が容易になり、製造時間
の短縮をも図ることができる。

（第２実施例）第４図ないし第６図は、この発明の支持装置の第２実施
例を示す。

この実施例の支持装置は、前記実施例の支持片２の係止
部１２を突部１３によって構成したものであり、各突部
１３の上面側に被支持部材としての発熱素線６の形状に
合わせて湾曲形状にし、同様に、補助支持片４の前記係
止部２４も、支持片２に対応して突部２５を形成し、そ
の下側に発熱素線６に合わせて湾曲形状にしたものであ
る。

そして、前記実施例のインコネル板１４Ａ、１４Ｂに代
えて、支持片２の腕部１０を保持するコ字形状の保持枠
１５が設けられている。

したがって、第５図に示すように、各支持片２はこの保
持枠１５の内部に強固に保持されるので、第６図に示す
ように、隣接する支持片２と支持片２との間に補助支持
片４を設置し、各突部１３．２５の間に形成された間隙
部に発熱素線６が係止されて強固かつ簡単な構造で支持
されるなど、前記実施例と同様の利点がある。

（応　用　例）第７図は、第１実施例の応用例を示す。この応用例は、
第１実施例の支持片２のみで発熱素線６を支持するよう
にしたものである。このようにすれば、発熱素線６を支
持片２の係止部１２の間隔で支持することができる。し
たがって、補助支持片４の幅を加減すれば、任意の間隔
で発熱素線６の設置間隔を調整することができ、発熱分
布を補助支持片４の幅によっても制御できる。

また、第８図は、拡散炉内にこの発明の支持装置を用い
た発熱素ｖＡ６を設置した場合を示す。円形の発熱素線
６を強固に取付部材としてたとえば、炉本体２６の内壁
部分に支持させることができる。

この場合、第１実施例のインコネル板１４Ａ、１４Ｂは
、その炉本体２６の内壁部にポル１−１８によって固定
するものとする。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、発熱素線など
の被支持部材を簡単な構造で強固に支持することができ
、支持固定の組み立てを容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の支持装置の第１実施例を示す分解斜
視図、第２図はこの発明の支持装置の組み立て状態を示
す正面図、第３図は第２図のｍ−■線断面図、第４図は
この発明の支持装置の第２実施例を示す分解斜視図、第
５図はこの発明の支持装置の組み立て状態を示す正面図
、第６図は第５図のｖ’＋−ｖｒ線断面図、第７図はこ
の発明の支持装置の応用例を示す断面図、第８図はこの
発明の支持装置の拡散炉に応用した場合を示す図である
。２・・・支持片、４・・補助支持片、６・・・被支持部
材としての発熱素線、１２．２４・・・係止部、１３．
２５・・・係止部としての突部、２０・・・取付部材、
２６・・・取付部材としての炉本体。第２図ｊＶＩ第５図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）胴体部に取付部材に固定される腕部を設けてなる
複数の支持片を備え、前記胴体部の側面部に被支持部材
を係止させる係止部を形成し、この係止部に係止させて
被支持部材を支持することを特徴とする支持装置。
（２）前記支持片の係止部に対応して係止部を形成した
補助支持片を設置し、この補助支持片を前記支持片間に
設置したことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
の支持装置。