JPH047651U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH047651U JPH047651U JP4729290U JP4729290U JPH047651U JP H047651 U JPH047651 U JP H047651U JP 4729290 U JP4729290 U JP 4729290U JP 4729290 U JP4729290 U JP 4729290U JP H047651 U JPH047651 U JP H047651U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holder
- substrate
- target
- faces
- central axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は一実施例の装置本体の平面断面図、第
２図は同実施例でチヤンバドアの開けた状態の正
面図（脱ガスヒータの図示は省略）、第３図は同
実施例を電源とともに示す略線図、第４図はサー
マルヘツドの反りを示す概略断面図である。 ２……チヤンバ、６……基板ホルダー、８……
ターゲツト、１０……エツチング電極、２４……
基板。
２図は同実施例でチヤンバドアの開けた状態の正
面図（脱ガスヒータの図示は省略）、第３図は同
実施例を電源とともに示す略線図、第４図はサー
マルヘツドの反りを示す概略断面図である。 ２……チヤンバ、６……基板ホルダー、８……
ターゲツト、１０……エツチング電極、２４……
基板。
Claims (1)
- 真空チヤンバ中にドラム上基板ホルダーと、こ
の基板ホルダーの側面の一部に対向するターゲツ
トと、この基板ホルダーの側面で前記ターゲツト
が対向している部分とはこの基板ホルダーの中心
軸の回りの回転角の異なる部分に対向するエツチ
ング電極とを配置し、前記基板ホルダーの側面に
基板を取りつけ、前記基板ホルダーのその中心軸
を回転中心として回転させながら前記ターゲツト
による基板上への膜堆積と、前記エツチング電極
による基板上の堆積膜のエツチングとを交互に行
なうスパツタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4729290U JPH047651U (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4729290U JPH047651U (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047651U true JPH047651U (ja) | 1992-01-23 |
Family
ID=31563096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4729290U Pending JPH047651U (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047651U (ja) |
-
1990
- 1990-05-02 JP JP4729290U patent/JPH047651U/ja active Pending