JPS62242531A - 銅張積層板の黒化処理方法 - Google Patents

銅張積層板の黒化処理方法

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JPS62242531A
JPS62242531A JP8665586A JP8665586A JPS62242531A JP S62242531 A JPS62242531 A JP S62242531A JP 8665586 A JP8665586 A JP 8665586A JP 8665586 A JP8665586 A JP 8665586A JP S62242531 A JPS62242531 A JP S62242531A
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blackening
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clad
blackening treatment
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和夫 大久保
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、黒化処理むらを発生させない多層板用銅張積
層板の黒化処理方法に関する。
(従来の技術) 近年電子機器の発達およびそれに伴う印刷配線板の高密
度化に対処して多層基板が用いられるようになってきて
いる。この多層基板は、薄い内層用両面板に回路を形成
し、その上にプリプレグと銅箔を積層して加熱、加圧す
ることにより製造されている。
しかしながら、内層板上の回路銅箔の表面はそのままの
状態であると、加熱や吸湿により層間剥離が生じ易いた
め、通常様々な表面処理を施して剥離を防止する方法が
とられている。
このような方法として、銅雁表面の黒化処理や黄銅化処
理等の方法が行われている。これらの方法の内、引剥し
強度、耐熱性等の諸特性が優れてい為ことから、酸化剤
を用いて表面に黒色酸化被膜を形成させる黒化処理が最
も一般的に用いられている。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながらこの黒化処理方法においては、製造工程中
に形成された種々の処理膜、鋼部表面が醸化されるのを
防ぐために行われる塩酸洗浄および水洗い時に付着した
水滴、内層板に形成された信号回路等に起因して処理む
らが生じ易いという問題があった。なお水滴の残留を防
ぐために、黒化処理の前に乾燥工程を設けることも考え
られるが、乾燥条件によってはパターニング時に寸法変
化が発生することがあり回路設計上好ましくない。
そして従来このような処理むらが発生した場合には、黒
化処理をヤリなおしたり、前工程の研磨からやりなおし
たりすることが行われていた。
しかしながら黒化処理をくり返して行なう場合には、効
率が悪いうえに、最初に正常に黒化された部分は過剰に
黒化処理が行われることになってしまい、処理膜が切れ
やすくなって引剥し強度、耐熱性が正常晶よりも弱くな
ってしまうという問題があった。
また前工程の研磨からヤリなおす場合には、銅箔の処理
層を除去してしまうため、処理層の均一化は図れるが、
前述の場合より一層効率が悪く、さらに再研磨により内
層銅箔が薄くなるためスルーホール信頼性が低下し好ま
しくない。
本発明は、このような従来の問題を解消すべくなされた
もので、黒化処理むらがなく黒化膜の特性および処理効
率ともに良好な黒化処理方法を提供することを目的とす
る。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明者らは、表面に残る水洗水を速やかに除去する方
法に関して検討を重ねた結果、次のような方法を開発し
た。すなわち本発明の黒化処理方法は、多層板用銅張積
層板を、酸化剤および塩基性物質を含有する処理液に浸
漬して黒化処理を行う銅張積層板の黒化処理方法におい
て、前記銅張積層板を黒化処理液に浸漬するに先立って
、低沸点の有機溶剤による洗浄および乾燥を順に行うこ
とを特徴としている。
本発明における黒化処理直前の有機溶剤としては、有機
極性溶剤、特にメタノール、エタノール等の低級アルコ
ール類あるいはアセトン、メヂルエチルケトン等の低級
ケトン類等の比較的沸点の低い有機極性溶剤が適してい
る。
(作 用) このように構成された本発明の銅張積層板の黒化処理方
法においては、黒化処理に先立って銅張積層板を洗浄す
る有機溶剤が低沸点であるため、低温でも乾燥除去しや
すく、銅張積層板表面の水滴を容易に除去しうる。特に
水に溶解する+i機積極性溶剤使用した場合には、仮に
水洗等の工程後の乾燥が充分に行われない場合であって
も、次工程の黒化処理溶液に溶解するので処理ムラ等の
原因になるようなことはない。
(実施例) 以下本発明の実施例について説明する。図は本発明の一
実施例に使用される製造装置の概略図であり、本発明の
黒化処理方法は、このような装置を用いて次のように行
なわれる。
まず、黒化処理されるべき銅張積層板1は、オートラッ
ク2より吊下げられたランク3内に縦に重ねて収容され
る。次いでオートラック2を作動させてラック3を下降
させ、銅張積層板1を塩酸槽4に浸漬させて酸洗いを行
なう。酸洗いされた銅張積層板1は、同様にしてオート
ラック2により移動され水洗槽5.6にて水洗される。
さらに脱脂槽7、水洗槽8.9、ソフトエツチング槽1
01水洗槽11.12に順次浸漬された後、有機溶剤槽
13に浸漬される。ここで表面が洗浄された後、銅張積
層板1は熱風吹き出しノズル14の上方に停止され、熱
風吹ぎ出しノズル14から吹き出される熱風(50〜8
0℃)により、表面に残留する液滴が、乾燥除去される
。このとき生ずる溶剤蒸気および水蒸気は、オートラッ
ク2上方に設けられたドラフト15により吸引除去され
る。なお熱風吹き出し用ノズル14の内部には、加熱用
ヒータ16および送風用ファン17が備えられている。
このようにして表面が充分に乾燥された銅張積層板1は
、次に液温90℃の下記の組成の黒化処理液を満たした
黒化処理層18に4分間浸漬されて黒化処理され、水洗
槽19.20により水洗いされた後乾燥装置21に送ら
れる。
亜塩素酸ナトリウム(Na Cl0z >250 /f
l水酸化ナトリウム(Na 01−1>8(J/J2過
リン酸ナトリウム(Na 3 PO4) 8(1/J2
なお、この図において、作業開始時の銅張積層板1およ
びラック2の位置は点線で図示し、熱風乾燥時の位置を
実線で示している。
第1表は以上のようにして実施した本発明の実施例およ
び比較例の処理条件を示しており、第2表はこの各条件
下で)qられた処理膜の特性を示している。なお使用し
たパターンは信号回路である。
(以下余白) 第1表 O印は工程を実施したことを示す。
*・・・・・・・・・機械研磨、酸洗浄、水洗等の処理
**・・・・・・・・・黒化処理液の温度低下防止のた
めの予熱 ***・・・・・・・・・熱風吹きつけ(以下余白) 第2表 上表中の外観・処理ムラの記号は次の状態を表し、 O・・・ムラなし、O△・・・ごく一部にムラありΔ・
・・一部にムラあり、X・・・ムラがかなり発生ハンダ
耐熱性の0印は変化がなかったことを表す。
第1表および第2表から明らかなように、実施例1〜4
においては、外観が優秀で処理むらのない優れた特性を
有する処理膜が得られた。
これに対して比較例1〜4の場合には、外観にむらを生
じたり、あるいは引剥し強度に劣化がみられた。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば銅箔表面の水分を
黒化処理前に速やかに除去することが可能であるので、
外観、処理むらのない優秀な特性を有する黒化処理膜が
得られる。さらに乾燥条件がおだやかであるため、銅張
積層板のパターニングの際に寸法変化をおこすことがな
く、高信頼性のポリイミド多図板等への適用も可能であ
る。
また乾燥工程において、銅張積層板が適麿に加温される
ので湯洗い工程を省略することかでき、ざらに、製造工
程中胴箔面に形成された処し!I!膜<tt化防止膜等
)を、効果的に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例の!g造装置の概略図である。 1・・・・・・・・・・・・銅張積層板2・・・・・・
・・・・・・オートラック3・・・・・・・・・・・・
ラック 4・・・・・・・・・・・・塩酸槽 5.6.8.9.11.12

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)多層板用銅張積層板を、酸化剤および塩基性物質
    を含有する処理液に浸漬して黒化処理を行う銅張積層板
    の黒化処理方法において、前記銅張積層板を黒化処理液
    に浸漬するに先立って、低沸点の有機溶剤による洗浄お
    よび乾燥を順に行うことを特徴とする銅張積層板の黒化
    処理方法。
  2. (2)有機溶剤が有機極性溶剤である特許請求の範囲第
    1項記載の銅張積層板の黒化処理方法。
  3. (3)低沸点の有機極性溶剤は低級アルコール類あるい
    は低級ケトン類である特許請求の範囲第2項記載の銅張
    積層板の黒化処理方法。
  4. (4)乾燥が、50〜80℃の熱風を吹き付けて行われ
    る特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれか1項記
    載の銅張積層板の黒化処理方法。
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