JPS62247330A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
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- JPS62247330A JPS62247330A JP9155586A JP9155586A JPS62247330A JP S62247330 A JPS62247330 A JP S62247330A JP 9155586 A JP9155586 A JP 9155586A JP 9155586 A JP9155586 A JP 9155586A JP S62247330 A JPS62247330 A JP S62247330A
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- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 6
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 abstract 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は液晶表示装置の特に液晶表示素子に関する。
第4図に示す様に従来の液晶表示素子は、電極2及び配
向膜5を形成した基板1と、2枚の基板1を接着するシ
ール5によって液晶層4を封入していた。電極2は数百
から千数百λ程度の厚さがあシ、又配向膜3は数十から
数百λ程度の厚さであった。2枚の基板間の距離(いわ
ゆるセルギャップ)は5〜10μm程度である丸め、第
4図に示した距離aと距離すの差(a−b)はα1〜Q
、3μm程度となり、セルギャップの5%程度の値とな
ってい友。
向膜5を形成した基板1と、2枚の基板1を接着するシ
ール5によって液晶層4を封入していた。電極2は数百
から千数百λ程度の厚さがあシ、又配向膜3は数十から
数百λ程度の厚さであった。2枚の基板間の距離(いわ
ゆるセルギャップ)は5〜10μm程度である丸め、第
4図に示した距離aと距離すの差(a−b)はα1〜Q
、3μm程度となり、セルギャップの5%程度の値とな
ってい友。
従来の液晶表示素子では前述した如く第4図において、
電極2のない部分のギャップaと、電極2のある部分の
ギャップbは、電極2の厚さの2倍だけ差が生じてしま
った。
電極2のない部分のギャップaと、電極2のある部分の
ギャップbは、電極2の厚さの2倍だけ差が生じてしま
った。
かかる液晶表示素子のセルギャップの差(a−b)は、
特に複屈折モードを利用する液晶表示素子ではりタープ
−ジョンの差となって現われ、表示品質を著しく悪化さ
せてしまう0発明者らが実験したところでは、非点灯外
観を満足させるためには前述のセルギャップの差(a−
b)は2000λ以下が好ましく、差(a−b)が少な
いほど良質の画面が得られた。したがってこれから電極
2の厚さは、良好な外観を得るためには1000λ以下
で薄いほど良いということがわかった。ところが周知の
ごとく最近液晶表示素子は大容量、高解像度も求められ
大型化してくるにつれ、配線抵抗を下げなければならず
、電極2は厚くなシ、又電極上に他の良導体(例えば金
属)を配線する必要もでてきた。電極2を厚くする場合
、良好な配線抵抗を得るには最も低抵抗な透明電極のI
TOでも1000〜1500λ程度が必要であり、又金
属の良導体を配線する場合は、それ自身が不透なため外
観、が悪い。
特に複屈折モードを利用する液晶表示素子ではりタープ
−ジョンの差となって現われ、表示品質を著しく悪化さ
せてしまう0発明者らが実験したところでは、非点灯外
観を満足させるためには前述のセルギャップの差(a−
b)は2000λ以下が好ましく、差(a−b)が少な
いほど良質の画面が得られた。したがってこれから電極
2の厚さは、良好な外観を得るためには1000λ以下
で薄いほど良いということがわかった。ところが周知の
ごとく最近液晶表示素子は大容量、高解像度も求められ
大型化してくるにつれ、配線抵抗を下げなければならず
、電極2は厚くなシ、又電極上に他の良導体(例えば金
属)を配線する必要もでてきた。電極2を厚くする場合
、良好な配線抵抗を得るには最も低抵抗な透明電極のI
TOでも1000〜1500λ程度が必要であり、又金
属の良導体を配線する場合は、それ自身が不透なため外
観、が悪い。
以上の様に第4図に示す従来の様な液晶表示素子の構造
をとる限り、リターデーションによる外観の悪化はさけ
ることができなかった。
をとる限り、リターデーションによる外観の悪化はさけ
ることができなかった。
以上の様な従来の問題点を解決するため発明者らは、液
晶表示素子に用いる基板の電極面と非電極面が平坦であ
ることを特徴とする液晶表示素子を用いた液晶表示装置
を発明した。
晶表示素子に用いる基板の電極面と非電極面が平坦であ
ることを特徴とする液晶表示素子を用いた液晶表示装置
を発明した。
以下実施例を用いて本発明の詳細な説明する。
〈実施例1〉
ガラス基板1上にITO膜を1sooX形成し、フォト
リソグラフィーによJ)ITOを所定のパターンの電極
2に加工した。その際フォトレジストのパターンはその
まま残しておいて、基板の洗浄の後、スパッタリング法
により1500λのS to z膜6を形成した後、前
述の7オトレジストを除去したところ、電極部と非電極
部は平坦になった。
リソグラフィーによJ)ITOを所定のパターンの電極
2に加工した。その際フォトレジストのパターンはその
まま残しておいて、基板の洗浄の後、スパッタリング法
により1500λのS to z膜6を形成した後、前
述の7オトレジストを除去したところ、電極部と非電極
部は平坦になった。
かかる基材を用いて液晶表示素子を作成した。
本実施例の液晶表示素子の断面図を第1図に示す。
第1図で基板1の液晶側内面には電極2.5loz6及
び配向膜3が形成されており、電極2と非電極部上の5
iOz6は平坦となっている。液晶4はシール5と2枚
の基板1により封入されている。
び配向膜3が形成されており、電極2と非電極部上の5
iOz6は平坦となっている。液晶4はシール5と2枚
の基板1により封入されている。
この様にして作成した液晶表示素子では、電極部と非電
極部のりタープ−ジョンの差は全くなく、非常に良好な
外観が得られた。
極部のりタープ−ジョンの差は全くなく、非常に良好な
外観が得られた。
〈実施例2〉
ガラス基板7上に電極パターンのネガパターンをフォト
リソグラフィーにより形成し、フッ酸により基板7を1
500λエツチングした。しかる後にフォトレジストを
除去しITOIII形成した後、今度は電極パターンを
フォトリソグラフィーにより形成し電極2を加工したと
ころ、電極部と非電極部は平坦であった。
リソグラフィーにより形成し、フッ酸により基板7を1
500λエツチングした。しかる後にフォトレジストを
除去しITOIII形成した後、今度は電極パターンを
フォトリソグラフィーにより形成し電極2を加工したと
ころ、電極部と非電極部は平坦であった。
かかる基材を用いて液晶表示素子を作成した。
本実施例の液晶表示素子の断面図を第2図に示す。
第2図で基板7の溝にはITOの電極2が形成されてお
シ、その上に配向膜5が設置されている。
シ、その上に配向膜5が設置されている。
液晶4はシール5と基板7により封入されている。
この様にして作成した液晶表示素子では、電極部と非電
極部のりタープ−ジョンの差は全くなく、非常に良好な
外観が得られた。
極部のりタープ−ジョンの差は全くなく、非常に良好な
外観が得られた。
〈実施例3〉
ガラス基板1上にITO膜を1500^形成し、フォト
リソグラフィーによITOを所定のパターンの電極2に
加工した。しかる後にポリイミド膜8を1.5μm塗布
したところ、ポリイミド膜80表面は°平坦であった。
リソグラフィーによITOを所定のパターンの電極2に
加工した。しかる後にポリイミド膜8を1.5μm塗布
したところ、ポリイミド膜80表面は°平坦であった。
かかる基材を用いて液晶表示素子を作成した。
本実施例の液晶表示素子の断面図を第5図に示す。
第3図で基板1上にITO電極2が形成され、さらにポ
リイミド膜8が形成されている。液晶4はシール5と2
枚の基板1によシ封入されている。
リイミド膜8が形成されている。液晶4はシール5と2
枚の基板1によシ封入されている。
この様にして作成した液晶表示素子では、電極部と非電
極部のりタープ−ジョンの差は全くなく、非常に良好な
外観が得られた。
極部のりタープ−ジョンの差は全くなく、非常に良好な
外観が得られた。
以上述べた様に本発明による液晶表示素子はすぐれた外
観をもち、本発明による液晶表示素子を組み込んだ液晶
表示装置は非常に良好な表示品質を与えた。
観をもち、本発明による液晶表示素子を組み込んだ液晶
表示装置は非常に良好な表示品質を与えた。
さらに実施例1に示した様にITO電極のバターニング
に使用したレジストを利用してリフトオフ法により膜付
けできる等、工程上の負荷はほとんど増加させずに高品
位な液晶表示素子を得ることもでき、又実施3に示した
様に工程を増加させずに高品位な液晶表示素子を得るこ
ともできる。
に使用したレジストを利用してリフトオフ法により膜付
けできる等、工程上の負荷はほとんど増加させずに高品
位な液晶表示素子を得ることもでき、又実施3に示した
様に工程を増加させずに高品位な液晶表示素子を得るこ
ともできる。
第1図は本発明の実施例の断面を示す図。
第2図は本発明の実施例2の断面を示す図。
第3図は本発明の実施例5の断面を示す図。
第4図は従来の液晶表示素子の断面を示す図。
1・・・基板 2・・・電極 3・・・配向膜 4・・
・液晶層5・・・シール 6・・・5iOz7・・・基
板 8・・・ポリイ ミ ド膜 a、bは第4図中の距離を示す。 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 第2図
・液晶層5・・・シール 6・・・5iOz7・・・基
板 8・・・ポリイ ミ ド膜 a、bは第4図中の距離を示す。 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 第2図
Claims (2)
- (1)液晶層を挾持する2枚の基板の前記液晶層側の面
上において、前記液晶層を駆動する電極部の表面と非電
極部の表面が平坦であることを特徴とする液晶表示装置
。 - (2)液晶層を挾持する2枚の基板の前記液晶層側の面
上において、少なくとも前記液晶層を駆動する電極部以
外の部分に絶縁物質を形成したことを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9155586A JPS62247330A (ja) | 1986-04-21 | 1986-04-21 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9155586A JPS62247330A (ja) | 1986-04-21 | 1986-04-21 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62247330A true JPS62247330A (ja) | 1987-10-28 |
Family
ID=14029750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9155586A Pending JPS62247330A (ja) | 1986-04-21 | 1986-04-21 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62247330A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0682770A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-03-25 | Rohm Co Ltd | 液晶表示素子 |
| JPH07333591A (ja) * | 1994-06-02 | 1995-12-22 | Samsung Electron Devices Co Ltd | 液晶表示素子およびその製造方法 |
| US5493429A (en) * | 1990-10-26 | 1996-02-20 | Ricoh Company, Ltd. | Color liquid crystal device having thickness controlling layers disposed at non-pixel portions and between adjacent color filters |
| US7420628B1 (en) | 1991-02-16 | 2008-09-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of making an active-type LCD with digitally graded display |
| JP2012118425A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Toray Ind Inc | 液晶表示用基板および製造方法 |
| WO2013042674A1 (ja) * | 2011-09-21 | 2013-03-28 | 日本写真印刷株式会社 | 静電容量式タッチセンサ及びこれを備えた表示装置 |
-
1986
- 1986-04-21 JP JP9155586A patent/JPS62247330A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5493429A (en) * | 1990-10-26 | 1996-02-20 | Ricoh Company, Ltd. | Color liquid crystal device having thickness controlling layers disposed at non-pixel portions and between adjacent color filters |
| US5623353A (en) * | 1990-10-26 | 1997-04-22 | Ricoh Company, Ltd. | Color liquid crystal device having thickness controlling layers disposed at pixel portions |
| US7420628B1 (en) | 1991-02-16 | 2008-09-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of making an active-type LCD with digitally graded display |
| US7479939B1 (en) | 1991-02-16 | 2009-01-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device |
| JPH0682770A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-03-25 | Rohm Co Ltd | 液晶表示素子 |
| JPH07333591A (ja) * | 1994-06-02 | 1995-12-22 | Samsung Electron Devices Co Ltd | 液晶表示素子およびその製造方法 |
| JP2012118425A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Toray Ind Inc | 液晶表示用基板および製造方法 |
| WO2013042674A1 (ja) * | 2011-09-21 | 2013-03-28 | 日本写真印刷株式会社 | 静電容量式タッチセンサ及びこれを備えた表示装置 |
| KR101450512B1 (ko) * | 2011-09-21 | 2014-10-13 | 니폰샤신인사츠가부시키가이샤 | 정전 용량식 터치 센서 및 이것을 구비한 표시 장치 |
| US9063628B2 (en) | 2011-09-21 | 2015-06-23 | Nissha Printing Co., Ltd. | Capacitance-type touch sensor and display device equipped therewith |
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