JPS62264461A - 情報信号記録担体用金型の製造法 - Google Patents
情報信号記録担体用金型の製造法Info
- Publication number
- JPS62264461A JPS62264461A JP10764186A JP10764186A JPS62264461A JP S62264461 A JPS62264461 A JP S62264461A JP 10764186 A JP10764186 A JP 10764186A JP 10764186 A JP10764186 A JP 10764186A JP S62264461 A JPS62264461 A JP S62264461A
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- JP
- Japan
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- film
- information signal
- plating film
- signal recording
- electrolytic
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- Pending
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- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、例えばビデオディスク又はコンパクトディス
クのような情報信号記録ｚ３コンプレッション又はイン
ジェクションによって成形する際に用いられる情報信号
記録担体用金型の製造法に関するもので、ちる。
クのような情報信号記録ｚ３コンプレッション又はイン
ジェクションによって成形する際に用いられる情報信号
記録担体用金型の製造法に関するもので、ちる。
【従来技１４：ｉとその問題点】
従来、例えば特開昭５７−６４３０８号公報に記されて
いるように、光信号方式又は機械方式によって情報信号
を：Ｌ！録した原盤から通常の工程を経てスタンパを得
、このスタンパのに面１ｄにＴｉＮ又はＴｉＣ等のイオ
ンブレーティング披８膜含形成したｔ１１報信９記録担
１に用金型がある。 しかし、この情報信号記録担体用金型は、表面層に設け
るＴｉＮ又はＴｉＣ３のイオンブレーティング波着膜の
膜１＝；ｊ ９厚くすると、スタンパに形成されている
情ｆｔｉ ｌ−１じとしてのどノｌの形状が変１ヒして
しまい、６℃つ°ζこのようなイオンプレーテＩング肢
着膜の厚ン°Ａを１７クシたｔ１７ ＋ｕ ｒ二号記録
担（本田金型を用いて成形した情報信号記録型は情報信
号か正確に記２４されていないことになるので、スタン
パのに面層に ＴＩＣやＴｉＮ笠り）イオンブレーｒイ
ング披着膜を１１；ｊ ＜設けることはてきない。 すなわち、こび）ように情報信号の正（１πさの面から
考慮すると、スタンパの７ミ而、ｌＸづに１；）けるＴ
ｉＣやＴｉＮ等のイオンブレーティングｆｈ’８膜の５
７さはイ′ノ５００人程無電限度なのである。 しかし、スタンパ表面７１のイオンブレーティング被若
膜の厚さが５００人程無電すぎないと、このイオンブレ
ーティング７皮？ｉ Ｉ模の硬さがビッカース硬度で約
２０００〜２５００といったように超硬質なしのであっ
ても、↑ｎ報信号記ｊ、Ｔｈ Ｅの成形回数が多くなっ
てくると次第に表面摩耗も多くなり、耐久性の改善度合
はそれ程でもない欠点がある。 すなわち、上記の情報信づ記）、に担体用金型に、為っ
ては、情報信づ記録用木用金型の耐久性向上３図ろうと
すると記ｊ３情報が不正確なものになり、記録情報の正
確さ含図ろうとすると耐久性が乏しいものになるといっ
た二１Ｐ背反の宿命分持っている。 又、持［１１１昭５７−１０３１０７７７ 公ｆＱ 上
記されているように、光（Ｓリカ式又は撮械方式によっ
て情報信号を記録した原慇から通常の工程を経てマザー
を得、このマザーに、灰−［角￥メンＡＩ去によりＮ１
−Ｐ又はＮｉ−８３金の無電解メンキ膜を設け、この無
電解メッキ股上に一体的にニッケル電解メンキ膜を設置
）、その１麦この無”Ｊ：ｂ ｎアメ・ンキ膜と二ノゲ
ル電力￥メッキ；模との二層ｔ、１，７込部分分マザー
から＋！’Ｉ ；↑して得た千５報信号記録担木川金票
らある。 しかし、この情報信号記録担体用金型は、その記録情報
かｊＩ：確であるものの、ｋ面の無電解メッキ膜の硬さ
はビッカース硬度でせいぜい５００〜８００程度にすぎ
４′、これでは耐摩れ性に乏しく、耐久性の点において
大いに問題がある。 τ問題点ｆ！：解決する為の手段】 本発明は上記の問題点に濫みてなさ７％たムのてあり、
店仮−Ｌ、、７ルジスト レジスト原１１ズ（こ、乾式メンキ法により硬質皮膜を
設け、この硬質皮膜の表面に無電解メツＡ程企一体的に
設け、さらにこの無電解メ／キ膜のに面に電解メッキ膜
３一体的に設け、その後前記硬質皮膜、無電解メッキ膜
及び電解メッキ膜によって一体的に閘成さｉｔた複層構
造の部分を１１Ａ記レンズト原皿から．７ｉ’ｌ ａす
る情報信号記録担体用金型の製造法３提供する乙のて′
ある。
いるように、光信号方式又は機械方式によって情報信号
を：Ｌ！録した原盤から通常の工程を経てスタンパを得
、このスタンパのに面１ｄにＴｉＮ又はＴｉＣ等のイオ
ンブレーティング披８膜含形成したｔ１１報信９記録担
１に用金型がある。 しかし、この情報信号記録担体用金型は、表面層に設け
るＴｉＮ又はＴｉＣ３のイオンブレーティング波着膜の
膜１＝；ｊ ９厚くすると、スタンパに形成されている
情ｆｔｉ ｌ−１じとしてのどノｌの形状が変１ヒして
しまい、６℃つ°ζこのようなイオンプレーテＩング肢
着膜の厚ン°Ａを１７クシたｔ１７ ＋ｕ ｒ二号記録
担（本田金型を用いて成形した情報信号記録型は情報信
号か正確に記２４されていないことになるので、スタン
パのに面層に ＴＩＣやＴｉＮ笠り）イオンブレーｒイ
ング披着膜を１１；ｊ ＜設けることはてきない。 すなわち、こび）ように情報信号の正（１πさの面から
考慮すると、スタンパの７ミ而、ｌＸづに１；）けるＴ
ｉＣやＴｉＮ等のイオンブレーティングｆｈ’８膜の５
７さはイ′ノ５００人程無電限度なのである。 しかし、スタンパ表面７１のイオンブレーティング被若
膜の厚さが５００人程無電すぎないと、このイオンブレ
ーティング７皮？ｉ Ｉ模の硬さがビッカース硬度で約
２０００〜２５００といったように超硬質なしのであっ
ても、↑ｎ報信号記ｊ、Ｔｈ Ｅの成形回数が多くなっ
てくると次第に表面摩耗も多くなり、耐久性の改善度合
はそれ程でもない欠点がある。 すなわち、上記の情報信づ記）、に担体用金型に、為っ
ては、情報信づ記録用木用金型の耐久性向上３図ろうと
すると記ｊ３情報が不正確なものになり、記録情報の正
確さ含図ろうとすると耐久性が乏しいものになるといっ
た二１Ｐ背反の宿命分持っている。 又、持［１１１昭５７−１０３１０７７７ 公ｆＱ 上
記されているように、光（Ｓリカ式又は撮械方式によっ
て情報信号を記録した原慇から通常の工程を経てマザー
を得、このマザーに、灰−［角￥メンＡＩ去によりＮ１
−Ｐ又はＮｉ−８３金の無電解メンキ膜を設け、この無
電解メッキ股上に一体的にニッケル電解メンキ膜を設置
）、その１麦この無”Ｊ：ｂ ｎアメ・ンキ膜と二ノゲ
ル電力￥メッキ；模との二層ｔ、１，７込部分分マザー
から＋！’Ｉ ；↑して得た千５報信号記録担木川金票
らある。 しかし、この情報信号記録担体用金型は、その記録情報
かｊＩ：確であるものの、ｋ面の無電解メッキ膜の硬さ
はビッカース硬度でせいぜい５００〜８００程度にすぎ
４′、これでは耐摩れ性に乏しく、耐久性の点において
大いに問題がある。 τ問題点ｆ！：解決する為の手段】 本発明は上記の問題点に濫みてなさ７％たムのてあり、
店仮−Ｌ、、７ルジスト レジスト原１１ズ（こ、乾式メンキ法により硬質皮膜を
設け、この硬質皮膜の表面に無電解メツＡ程企一体的に
設け、さらにこの無電解メ／キ膜のに面に電解メッキ膜
３一体的に設け、その後前記硬質皮膜、無電解メッキ膜
及び電解メッキ膜によって一体的に閘成さｉｔた複層構
造の部分を１１Ａ記レンズト原皿から．７ｉ’ｌ ａす
る情報信号記録担体用金型の製造法３提供する乙のて′
ある。
【実施ｒ〕１１】
第１［］（ａ）〜（ｅ）は、本発明に係る情報信号記録
担体用金型の製造法の１実施例の工程図である。 まず、第１ＬＩ（ａ）に示す如く、通常のフォトレジス
ト技術を用いて、ガラス基板１上に設けたフ１１・レジ
スｌ−膜２に情報信号を幾何学的形状の変化によるピン
ト３として記録したレジスト原盤・ｌをｉ）る。 次に、同図（ｂ）に示す如＜、シジスト原懲４のビット
３の形成部ｉｌｌｌｌに直接、例えばイオンプレーテｌ
ング法又はスバ／タワング法笠の乾式メンキ（大によっ
てＨ （ヒヂタン又は炭１ヒナタン笠のようにピッカー
、ス硬度か例には約２０００〜２５００程度力硬質皮膜
５分約２０００人ｊＩＪ程度設ける。 尚、 この硬質皮膜５の厚みは、後の工程を経てマ°）
た情報信じ記録用木用金型を用いて情報信号記録型を成
石するに際して充分な耐摩耗性分有するものであれば良
く、約１５００〜２０００無電度あれば良いものて′あ
る。 ・次に、同図（ｃ）に示す如く、感応化処理、触媒１ヒ
処理といっ７−増Ｂ処理を硬ＹＴ皮膜５のに面に対して
行なった段、例えば水累１ヒ；ｊ；つ素すトリウムを還
元剤としたスプレー法による無電ｆｆｉｆニンケルメノ
キを行こい、硬質皮膜Ｓ上に約１０００人程度の無電解
二ノゲＬメンキ膜６を一体的に設ける。 尚、この真；ｕ解ニッグルメン，”： ＩＮ６の厚みは
、次工程にｔＪける電解メッキの１５グ）さ電性を＋＝
を与できるしので．ン）ればよく、約５００〜１０００
無電度あｉしば良いらグ）で、Ｐ）る。 その段、同図（Ｊ）に示す如く、スルファ・ミン酸ｆ！
：添加した’．Ｉｉ． ！ｉ’＋′メツキイａ念用いて
電ｉ］￥ ７＜ツキ３行ない、ｐ ’．：，： ｎ’ｌ
’ニッケルメツＡ−膜６上に所定ｆブ、ずなわち１１′
ｉ：：ｌ ！＋Ｊ’Ｅ記録担１本川金型として所定の厚
みグ）乙のと・−・るように電解二ノゲルメｌキ膜７？
−木的に設ける、 そして、同図（ｅ）に示す如く、上記力ようにして９；
）た″，８ｍ″ニッケルメッキｊ摸７、電電８Ｔニンク
！レメノーＶ．膜６及び石；Ｉ！質皮．膜５からなる三
７層１笥造の士１１報ｆ、；号記録１１！体用金を８の
部分を、レジストカπ盟、１から１、！１駈して、情報
信す５こ録担１・上用金型８３（する。 このようにして得られる情報信号記録担体用金型８にお
けるｔ［信号であるピント９は、レジスト原盤４の情報
信号であるビット３に正確に対応したもので、６つ、特
に硬質皮膜５の厚みご厚くしても上記ビット９は影響さ
れることなく、その正確さは全く変１ヒしないものであ
り、従ってこの情報で３記号録担木用金型８を用いて成
形した情報信号記録磐グ）記録情報は高情度なものが得
られる。 又、この情報信号記録担体用金型８の表面の硬質皮膜５
の厚みを厚くできるので、情報信号記録担体用金型Ｓの
耐摩耗性及び耐久性は極めて良好となる。 すなわち、本発明になるこの情報信号記録担体用金型８
は、しシスト原盤４のビット３の表面に対して、Ｑ乞式
メッキ法によって高硬度なＴｉＮやＴｉＣの硬質皮膜５
３直接設け、そしてこの硬質皮膜５分しジスト原盤４か
らＩＩＩ ２１して構成する点を基本としたものである
から、情報信号記録担体用金型８の表面層にある硬質皮
膜５の表面のビット９、すなわち凹凸はレジスト原ｆｆ
１４のビット３、すなわち凸凹と正確に一致しζおつ、
しかもこの正確度は、硬質皮膜５のＰ、−みとは−閂能
で、ｊ７みにより９ロされないらのである。 さらに、二ｐｒ）ことは、６史τ丁皮膜５の厚みをｊγ
くすることによって情報信号記録担体用金型８の耐摩耗
性の向上が図れ、かつ耐久性の向上が図れる。 因に、ｆ；ＯＦ、から用いられてきた情９ｆ２ ｆ二記
号録担体用金票と上記実施例のｈ７報信号記録担木川金
型とを、例えば市電容址再土方式のビデオディスクの成
形に用いた結果、上記実施例のｉ＋Ｔ ）ｕ ｒ＝す記
録担体用金型の１？命は約２１合以上に向上した。 又、上記のようにして構成される情報信記号５１担体用
金型Ｓは、必らすしら乾式メツＸ−法による硬貫皮ｊ摸
のみで構成するゼ・要はなく、情’＝Ｉ’ｔ ＩＩ弓記
録担木川用＋（’７３の耐摩耗性及び〔“討入性にあま
りず５響しない部分には、電解メノニＸ−法によってｊ
解メッキ膜ｆ−設けて所定の厚みにすればよいから、必
要以上に９２式メツ−Ｖ法による硬′ｒ′Ｘ皮膜５と厚
イしなくてもよく、従って情報信号記録担体用金型８３
製造能”（−よく提供できるようになる。 尚、電解メッキ法によって電解ニッケルメッキ膜７を設
ける前に無電解ニッケルメッキ膜６を電電解メッキ法に
より設けたのは、硬質皮膜５の上に直接電解メッキ法に
よって電解メッキ膜を設けることかできないたｙ）であ
る。
担体用金型の製造法の１実施例の工程図である。 まず、第１ＬＩ（ａ）に示す如く、通常のフォトレジス
ト技術を用いて、ガラス基板１上に設けたフ１１・レジ
スｌ−膜２に情報信号を幾何学的形状の変化によるピン
ト３として記録したレジスト原盤・ｌをｉ）る。 次に、同図（ｂ）に示す如＜、シジスト原懲４のビット
３の形成部ｉｌｌｌｌに直接、例えばイオンプレーテｌ
ング法又はスバ／タワング法笠の乾式メンキ（大によっ
てＨ （ヒヂタン又は炭１ヒナタン笠のようにピッカー
、ス硬度か例には約２０００〜２５００程度力硬質皮膜
５分約２０００人ｊＩＪ程度設ける。 尚、 この硬質皮膜５の厚みは、後の工程を経てマ°）
た情報信じ記録用木用金型を用いて情報信号記録型を成
石するに際して充分な耐摩耗性分有するものであれば良
く、約１５００〜２０００無電度あれば良いものて′あ
る。 ・次に、同図（ｃ）に示す如く、感応化処理、触媒１ヒ
処理といっ７−増Ｂ処理を硬ＹＴ皮膜５のに面に対して
行なった段、例えば水累１ヒ；ｊ；つ素すトリウムを還
元剤としたスプレー法による無電ｆｆｉｆニンケルメノ
キを行こい、硬質皮膜Ｓ上に約１０００人程度の無電解
二ノゲＬメンキ膜６を一体的に設ける。 尚、この真；ｕ解ニッグルメン，”： ＩＮ６の厚みは
、次工程にｔＪける電解メッキの１５グ）さ電性を＋＝
を与できるしので．ン）ればよく、約５００〜１０００
無電度あｉしば良いらグ）で、Ｐ）る。 その段、同図（Ｊ）に示す如く、スルファ・ミン酸ｆ！
：添加した’．Ｉｉ． ！ｉ’＋′メツキイａ念用いて
電ｉ］￥ ７＜ツキ３行ない、ｐ ’．：，： ｎ’ｌ
’ニッケルメツＡ−膜６上に所定ｆブ、ずなわち１１′
ｉ：：ｌ ！＋Ｊ’Ｅ記録担１本川金型として所定の厚
みグ）乙のと・−・るように電解二ノゲルメｌキ膜７？
−木的に設ける、 そして、同図（ｅ）に示す如く、上記力ようにして９；
）た″，８ｍ″ニッケルメッキｊ摸７、電電８Ｔニンク
！レメノーＶ．膜６及び石；Ｉ！質皮．膜５からなる三
７層１笥造の士１１報ｆ、；号記録１１！体用金を８の
部分を、レジストカπ盟、１から１、！１駈して、情報
信す５こ録担１・上用金型８３（する。 このようにして得られる情報信号記録担体用金型８にお
けるｔ［信号であるピント９は、レジスト原盤４の情報
信号であるビット３に正確に対応したもので、６つ、特
に硬質皮膜５の厚みご厚くしても上記ビット９は影響さ
れることなく、その正確さは全く変１ヒしないものであ
り、従ってこの情報で３記号録担木用金型８を用いて成
形した情報信号記録磐グ）記録情報は高情度なものが得
られる。 又、この情報信号記録担体用金型８の表面の硬質皮膜５
の厚みを厚くできるので、情報信号記録担体用金型Ｓの
耐摩耗性及び耐久性は極めて良好となる。 すなわち、本発明になるこの情報信号記録担体用金型８
は、しシスト原盤４のビット３の表面に対して、Ｑ乞式
メッキ法によって高硬度なＴｉＮやＴｉＣの硬質皮膜５
３直接設け、そしてこの硬質皮膜５分しジスト原盤４か
らＩＩＩ ２１して構成する点を基本としたものである
から、情報信号記録担体用金型８の表面層にある硬質皮
膜５の表面のビット９、すなわち凹凸はレジスト原ｆｆ
１４のビット３、すなわち凸凹と正確に一致しζおつ、
しかもこの正確度は、硬質皮膜５のＰ、−みとは−閂能
で、ｊ７みにより９ロされないらのである。 さらに、二ｐｒ）ことは、６史τ丁皮膜５の厚みをｊγ
くすることによって情報信号記録担体用金型８の耐摩耗
性の向上が図れ、かつ耐久性の向上が図れる。 因に、ｆ；ＯＦ、から用いられてきた情９ｆ２ ｆ二記
号録担体用金票と上記実施例のｈ７報信号記録担木川金
型とを、例えば市電容址再土方式のビデオディスクの成
形に用いた結果、上記実施例のｉ＋Ｔ ）ｕ ｒ＝す記
録担体用金型の１？命は約２１合以上に向上した。 又、上記のようにして構成される情報信記号５１担体用
金型Ｓは、必らすしら乾式メツＸ−法による硬貫皮ｊ摸
のみで構成するゼ・要はなく、情’＝Ｉ’ｔ ＩＩ弓記
録担木川用＋（’７３の耐摩耗性及び〔“討入性にあま
りず５響しない部分には、電解メノニＸ−法によってｊ
解メッキ膜ｆ−設けて所定の厚みにすればよいから、必
要以上に９２式メツ−Ｖ法による硬′ｒ′Ｘ皮膜５と厚
イしなくてもよく、従って情報信号記録担体用金型８３
製造能”（−よく提供できるようになる。 尚、電解メッキ法によって電解ニッケルメッキ膜７を設
ける前に無電解ニッケルメッキ膜６を電電解メッキ法に
より設けたのは、硬質皮膜５の上に直接電解メッキ法に
よって電解メッキ膜を設けることかできないたｙ）であ
る。
本発明に係る情報信号記録担体用金型のｖＪ造法は、ｗ
板上のレジスト層に情報信号を記録したレジスト原盤に
、乾式メッキ法により硬質皮膜を設け、この硬質皮膜の
表面にｊＨに電解メンキ１模３一体的に設け、さらにこ
の無電解メッキ膜の表面に電解フイノキ１摸含−木的に
設け、その筺前記硬質皮膜、が、（電解７＜ツキ膜及び
電解７＜フキ膜によって−１４：的に構成された７１２
層構造の部分３前記レジスｌ−原盤から剥雛するもので
あるから、このようにして１°；られた情報ｒｚ号記号
担（＋、用全金型成形されるｆ：ｒ電信り記録水の記録
情報に３号は正確なものであヒ）、従って正確に情報部
すが再生されるようになり、又、情ｆＨ信す記録担（す
５用金望における表面層はｌｉ！１度が高い材ｆ１てノ
ゾ＜ ｉｉ、ｉ成されるから、情報部す記録担体用金型
は耐摩ｔＬ性に富み、耐久性に１シれており、例えばｂ
℃来のちのに比べて約２１Δの寿命にしなり、又、この
千７Ｉ信号号記録担体用金型は、屹式メツＶＩ去のみ分
用いて構成することなく、無電解メ・Ｘ広及び −８解
メッキ法分ち用いて構成することにより、所定の１１７
みの情報信号記録担体用金型を油室よく、かつ、低コス
トで製造でさる了の１＋ｔ３′−、を有する。 ・１−１面ご１）簡単な説明 第１０１ （ａ）〜ｒｅ）は、本た明に醋ろ情報部り記
録担体用金型の製造法の１実施例ジ）工程［−４である
。 １ カラス基板、２・・）すトレンスト膜、３ ビ・１
・、１ ・レジ゛スト原盤、５ 硬τＴ皮ｊ模、６１県
−０７ニツケル２くノーＶ膜、７ ；：解ニッケル ７
く ソ Ｘ、１摸 、 Ｓ 悄 ７１） 信
５シ 記 １１ 担 （本 用 金 型 、イ）ビ／
１へ。
板上のレジスト層に情報信号を記録したレジスト原盤に
、乾式メッキ法により硬質皮膜を設け、この硬質皮膜の
表面にｊＨに電解メンキ１模３一体的に設け、さらにこ
の無電解メッキ膜の表面に電解フイノキ１摸含−木的に
設け、その筺前記硬質皮膜、が、（電解７＜ツキ膜及び
電解７＜フキ膜によって−１４：的に構成された７１２
層構造の部分３前記レジスｌ−原盤から剥雛するもので
あるから、このようにして１°；られた情報ｒｚ号記号
担（＋、用全金型成形されるｆ：ｒ電信り記録水の記録
情報に３号は正確なものであヒ）、従って正確に情報部
すが再生されるようになり、又、情ｆＨ信す記録担（す
５用金望における表面層はｌｉ！１度が高い材ｆ１てノ
ゾ＜ ｉｉ、ｉ成されるから、情報部す記録担体用金型
は耐摩ｔＬ性に富み、耐久性に１シれており、例えばｂ
℃来のちのに比べて約２１Δの寿命にしなり、又、この
千７Ｉ信号号記録担体用金型は、屹式メツＶＩ去のみ分
用いて構成することなく、無電解メ・Ｘ広及び −８解
メッキ法分ち用いて構成することにより、所定の１１７
みの情報信号記録担体用金型を油室よく、かつ、低コス
トで製造でさる了の１＋ｔ３′−、を有する。 ・１−１面ご１）簡単な説明 第１０１ （ａ）〜ｒｅ）は、本た明に醋ろ情報部り記
録担体用金型の製造法の１実施例ジ）工程［−４である
。 １ カラス基板、２・・）すトレンスト膜、３ ビ・１
・、１ ・レジ゛スト原盤、５ 硬τＴ皮ｊ模、６１県
−０７ニツケル２くノーＶ膜、７ ；：解ニッケル ７
く ソ Ｘ、１摸 、 Ｓ 悄 ７１） 信
５シ 記 １１ 担 （本 用 金 型 、イ）ビ／
１へ。
Claims (1)
- 基板上のレジスト層に情報信号を記録したレジスト原盤
に、乾式メッキ法により硬質皮膜を設け、この硬質皮膜
の表面に無電解メッキ膜を一体的に設け、さらにこの無
電解メッキ膜の表面に電解メッキ膜を一体的に設け、そ
の後前記硬質皮膜、無電解メッキ膜及び電解メッキ膜に
よって一体的に構成された複層構造の部分を前記レジス
ト原盤から剥離することを特徴とする情報信号記録担体
用金型の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10764186A JPS62264461A (ja) | 1986-05-13 | 1986-05-13 | 情報信号記録担体用金型の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10764186A JPS62264461A (ja) | 1986-05-13 | 1986-05-13 | 情報信号記録担体用金型の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62264461A true JPS62264461A (ja) | 1987-11-17 |
Family
ID=14464341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10764186A Pending JPS62264461A (ja) | 1986-05-13 | 1986-05-13 | 情報信号記録担体用金型の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62264461A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2671657A1 (fr) * | 1991-01-16 | 1992-07-17 | Digipress Sa | Disque optique ou matrice de pressage pour la fabrication de tels disques. |
| EP0610125A1 (fr) * | 1993-02-03 | 1994-08-10 | Digipress | Disques maîtres pour la réalisation de matrices de pressage, notamment de disques optiques, et leurs procédés de fabrication |
| US6454970B1 (en) * | 1998-10-14 | 2002-09-24 | Amic Ab And Gyros Ab | Matrix, method of producing and using the matrix and machine including the matrix |
| US6517751B1 (en) * | 1997-01-24 | 2003-02-11 | Mems Optical, Inc. | Diffractive optical elements |
-
1986
- 1986-05-13 JP JP10764186A patent/JPS62264461A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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