JPS62297461A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は基体両面に金属層を形成する装置に係り、特に
強磁性金属層を形成するのに効果的な蒸着装置に関する
。

〔従来の技術〕

例えばプラスチックスフィルム等から成る基体の両面に
蒸着によりそれぞれ強磁性金属による磁性層を形成して
成る磁気記録媒体を製造する場合にあっては、従来の蒸
着装置では蒸着方向が一方向であるため、基体の両面に
蒸着層を形成する際には次の方法がとられている。

即ち、円筒状のキャンの両側に繰り出しロールと巻き取
りロールを各々配置し、キャンの下部には金属の蒸発源
を配置する。この蒸発源から強磁性金属をキャンの周面
に向かって蒸発させる。この間に繰り出しロールに巻い
である基体をキャンの周面に沿って操り出し、基体両面
のうち蒸発源に対向位置する面に対して先ず蒸着層を形
成し、層形成の終了した部分を徐々に移動させ巻き取り
ロールに巻き取る。このようにして基体の一方の面の蒸
着が終了したならば、今度は基体を巻き取った巻き取り
ロールを繰り出しロールとし、かつ巻き取った基体の表
面のうち蒸着をしていしない面が蒸発源に対向位置する
ようセフ）し、上記と同様の方法により他面の蒸着及び
基体の巻き取りを行う。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、以上に説明した従来装置では両面蒸着を行うた
めには基体の裏返し及び再セントを行う必要があり、か
つ蒸着も片面毎に行うため蒸着完了までに時間がかかり
、生産性が低くコスト高となっていた。また磁気記録媒
体の場合には基体がプラスチックスフィルムのように柔
軟であると、基体の一方の面に蒸着層を形成した際に基
体と蒸着金属材料との相違等により基体がカールする。

残りの面に蒸着した場合でも、時間的なずれがあるため
、このカールが治らない。更にカール状態の基体に蒸着
を行うため、飛散した金属に対する蒸着面の角度が基体
の位置により相違し、蒸着金属層の厚さが不均一になる
虞れがある。また蒸着を完了した基体はカール状態が残
っているため磁気記録媒体の平坦性が失われたり、蒸着
金属層の厚さの不均一により記録再生特性に悪影響が発
生したりすることになる。このため基体に対する両面同
時蒸着を行うことにより以上の問題を解決する試みがな
されている。

この方法の一つとして分子線エビタラシー法による両面
同時蒸着法がある。しかしこの方法では蒸着層の形成速
度が最高でも３０人／秒程度であり、生産性が低く結局
コスト高を招いており、問題の根本的な解決とはなって
いない。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は以上に示した問題点を解決すべく、蒸発源と、
この蒸着源上部で対向位置するよう配置した一対の蒸気
流誘導部材とから成る装置において、対向位置するよう
配置した一対の蒸気流誘導部材のほぼ中央部に基体を配
置し、かつこの基体を実質的に鉛直方向に位置させるよ
う構成したことを特徴とする蒸着装置である。

〔作用〕

本発明は以上の如く、蒸発源と、この蒸発源上部で対向
位置するよう配置した一対の蒸気流誘導部材とから成る
装置におて、対向位置するよう配置した一対の蒸気流誘
導部材のほぼ中央部に基体を配置して基体を実質的に鉛
直方向に位置させるよう構成し、基体両面に対して同時
に蒸着し、蒸着層形成を短時間で終了させると共に基体
のカール発生を防止する。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を図面に基づいて具体的に説明する
。

第１図は本発明の第１の実施例を示す。

図中符号１はコバルト−クロム合金等の蒸着層形成用の
金属を収納したるつぼから成る蒸発源、４はこの蒸発源
の上部において対向位置するよう配置した一対の蒸気流
反射板であり、耐熱性に優れた材料、例えばセラミック
ス、フェライト、耐熱タイルなどの外、タングステン等
の高融点金属等により構成される。３はこれら蒸気流反
射板４に近接配置したヒーターであり、６は各蒸気流反
射板４と蒸発源１との間に配置した防着板である。

この構成の装置に対して蒸着の対象である基体５は蒸着
を行う面が各々蒸気流反射板４に対向位置するようほぼ
鉛直方向に配置される。これにより基体５は図示しない
巻き取りロールと繰り出しロールとにより紙面に直交す
る方向に移動する。８はこのように配置した基体の上下
の側縁部に配置した赤外線加熱ランプ、１０は基体５の
下部側縁部を覆うように配置した防着板である。

以上の構成の装置において、蒸発源ｌに対しては例えば
コバルト−クロム合金が収納され、かつ図示しない加熱
手段により約１４８０℃に加熱され、前記合金の溶融状
態が維持されている。蒸発流反射板４は前記ヒータ３に
より表面温度が約１５００℃に加熱されている。

蒸発源１から発生した蒸発金属は蒸気流２となり、防着
板１０によりその流れは分岐され、各々の蒸発流反射板
４へと向かう。なお、蒸着速度は１０００〜２０００人
／秒程度である。蒸発流反射板４の反射面は前述のよう
に蒸着金属の融点以上の温度に保持されているため、蒸
発源１から飛散してきた金属は蒸発流反射板の表面には
付着せず、また付着しても直ちに再蒸発する。結局これ
らの蒸気流２は蒸発流反射板４で反射され、はぼ鉛直方
向に配置した基体の両面に到着する。基体１は赤外線ラ
ンプにより例えば約１５０℃に加熱、保持されており、
基体表面に到着した金属は順次基体の表面に付着して基
体両面に対して同時に金属層を形成する。この金属層は
膜厚約０．２μｍの垂直磁気異方性を有するコバルト−
クロム合金から成る磁性層となる。図面を記載する紙面
に直交する方向に基体５を移動させることにより基体両
面の磁性層形成を順次行い、磁性層形成が完了した部分
は順次巻き取られる。なお防着板６．１０も全て図示し
ない加熱手段により加熱されており、金属が付着固化し
ないようになっている。

第２図は第２の実施例を示す。

この実施例では蒸発源１が２個配置してあり、各蒸発源
に対して蒸気流誘導部材７が各々配置しである。各蒸気
流誘導部材７は対向位置する一対の蒸気流誘導部材構成
板７ａ、７ｂとから構成してあり、これにより両横成板
７ａ、７ｂの間に蒸気通路１１が形成される。この蒸気
流誘導部材構成板７ａ、７ｂは前述の蒸発流反射板と同
様に耐熱性に優れた材料、例えばセラミックス、フェラ
イト、耐熱タイルなどの外、タングステン等の高融点金
属等により構成しである。基体５は前記蒸気流誘導部材
７の蒸気通路１１の開口端に蒸着面が対向位置するよう
、前述の実施例の場合と同様、実質的に鉛直方向に配置
される。

この構成において、各蒸発源１から発生した蒸発金属は
蒸気流２となり各蒸気流誘導部材マの蒸気通路１１に流
入する。蒸気流誘導部材構成板７ａ、７ｂの表面はヒー
タ３により蒸着金属の溶融温度以上の温度に保持されて
いるため、蒸気通路１１内の蒸気は蒸気流誘導部材構成
板７ａ、７ｂの表面を反射しながら上昇し、最終的には
基体５の両面に各々付着して磁性層を形成する。

〔効果〕

本発明は以上に示したように、蒸発源と、この蒸発源上
部で対向位置するよう配置した一対の蒸気流誘導部材と
から成る装置におで、対向位置するよう配置した一対の
蒸気流誘導部材のほぼ中央部に基体を配置し、かつこの
基体を実質的に鉛直方向に位置させるよう構成したので
、基体両面に対して同時に良好に蒸着でき、蒸着層形成
を短時間で終了することが可能で、しかも基体がカール
する等の問題も生ぜず均一の厚さの蒸着層を形成するこ
とが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す薄着装置の構成概
略図、第２図は第２の実施例を示す蒸着装置の構成概略
図である。 ｌ・・・蒸発源　　２・・・蒸気流 ４・・・蒸気流反射１反　　５・・・基体７・・・蒸気
流誘導部材 第１図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）蒸発源と、この蒸発源上方部にあって対向位置す
   るよう配置した一対の蒸気流誘導部材とから成る装置に
   おいて、対向位置するよう配置した一対の蒸気流誘導部
   材のほぼ中央部に基体を配置し、かつこの基体を実質的
   に鉛直方向に位置させるよう構成したことを特徴とする
   蒸着装置。
2. （２）前記蒸気流誘導部材を、蒸発流反射板とし、対向
   位置する一対の蒸発流反射板のほぼ中央部に基体を配置
   したことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の
   蒸着装置。
3. （３）蒸発源を２個とし、かつ前記蒸気流誘導部材は一
   対の対向位置する蒸気流誘導部材構成板により構成し、
   両蒸気流誘導部材構成板の間は蒸気通路とし、各蒸気流
   誘導部材の蒸気通路出口は各々対向させ、かつ各蒸気通
   路入口部にはそれぞれ蒸発源を配置し、対向位置する蒸
   気通路出口の間に基体を配置したことを特徴とする特許
   請求の範囲第（１）項記載の蒸着装置。