JPS6233585A - エアシヤワ−室入室者数制限装置 - Google Patents
エアシヤワ−室入室者数制限装置Info
- Publication number
- JPS6233585A JPS6233585A JP60171574A JP17157485A JPS6233585A JP S6233585 A JPS6233585 A JP S6233585A JP 60171574 A JP60171574 A JP 60171574A JP 17157485 A JP17157485 A JP 17157485A JP S6233585 A JPS6233585 A JP S6233585A
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- Japan
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- air shower
- contact type
- type object
- room
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体の製造装置などが設置されているクリー
ンルームの前室として機能するエアシャワー室への入室
者数を制限し、クリーンルーム内の空気を清浄に保つエ
アシャワー室内入室者数制限装置に関するものである。
ンルームの前室として機能するエアシャワー室への入室
者数を制限し、クリーンルーム内の空気を清浄に保つエ
アシャワー室内入室者数制限装置に関するものである。
従来の技術
従来この種のエアシャワー室入室者数制限装置は第３図
および第４図のような構成になっていた０すなわち一般
室側扉１に連動しているリミットスイッチ２は、開閉に
応じて信号を発生し、パルスカウンタ３のカウント値を
アップさせる。そして固定設定値との比較手段４におい
て比較をおこない、カウント値が上回れば警告手段６に
より入室者等に警告をおこなうとともに、クリーンルー
ム側扉６に装着した施錠手段７によシフリーンルームへ
の入室を防止していた。なお警告は、パルスカウンタ３
のリセットにより解除されていた０図中の８はエアシャ
ワー室、９は吹出口、１０はグレーチングを示す。
および第４図のような構成になっていた０すなわち一般
室側扉１に連動しているリミットスイッチ２は、開閉に
応じて信号を発生し、パルスカウンタ３のカウント値を
アップさせる。そして固定設定値との比較手段４におい
て比較をおこない、カウント値が上回れば警告手段６に
より入室者等に警告をおこなうとともに、クリーンルー
ム側扉６に装着した施錠手段７によシフリーンルームへ
の入室を防止していた。なお警告は、パルスカウンタ３
のリセットにより解除されていた０図中の８はエアシャ
ワー室、９は吹出口、１０はグレーチングを示す。
発明が解決しようとする問題点
しかし、このような構成のものでは単に一般室側扉１を
開閉しただけでリミットスイッチ２が作動し、警告を発
したりクリーンルーム側ｓ６を施錠するなど所期の目的
を果さないことがあったことや、入室者定員が固定され
設定変更が容易でないなどの問題があったＯ 本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、簡易な構成
で入室者数を確実に把握するとともに、定員の設定変更
とそれに対応する作動も容易におこなえる装置を提供す
るものである０ 問題点を解決するための手段 本発明は前記問題点を解決するため、エアシャワー室内
に並べて設置した２個の非接触式物体検出器と、前記２
個の非接触式物体検出器からの検出信号を入力する検出
順序判定手段と、前記２個の非接触式物体検出器からの
検出信号のうちいずれか一方の検出信号を入力とするパ
ルスカウンタと、入室者定員設定手段と、前記パルスカ
ウンタのカウント値と前記入室者定員設定手段による設
定値とを比較する比較手段と、前記比較手段による比較
結果を出力する出力手段とを有し、前記検出順序判定手
段の出力信号は前記パルスカウンタのアップダウン切替
信号として入力するようにしたエアシャワー室者数制限
装置の構成としたものである。
開閉しただけでリミットスイッチ２が作動し、警告を発
したりクリーンルーム側ｓ６を施錠するなど所期の目的
を果さないことがあったことや、入室者定員が固定され
設定変更が容易でないなどの問題があったＯ 本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、簡易な構成
で入室者数を確実に把握するとともに、定員の設定変更
とそれに対応する作動も容易におこなえる装置を提供す
るものである０ 問題点を解決するための手段 本発明は前記問題点を解決するため、エアシャワー室内
に並べて設置した２個の非接触式物体検出器と、前記２
個の非接触式物体検出器からの検出信号を入力する検出
順序判定手段と、前記２個の非接触式物体検出器からの
検出信号のうちいずれか一方の検出信号を入力とするパ
ルスカウンタと、入室者定員設定手段と、前記パルスカ
ウンタのカウント値と前記入室者定員設定手段による設
定値とを比較する比較手段と、前記比較手段による比較
結果を出力する出力手段とを有し、前記検出順序判定手
段の出力信号は前記パルスカウンタのアップダウン切替
信号として入力するようにしたエアシャワー室者数制限
装置の構成としたものである。
作 用
本発明は前記した構成により、２個の非接触式物体検出
器とこれらより入力される検出順序判定手段とにより人
が入室方向に進んだか退室方向に進んだかを判別し、パ
ルスカウンタにより現在入室人員の値を保持し、入室者
定員設定手段により定員の値を設定し、比較手段と出力
手段とにより定員オーバーか否かの状態を正確に出力す
ることができる。
器とこれらより入力される検出順序判定手段とにより人
が入室方向に進んだか退室方向に進んだかを判別し、パ
ルスカウンタにより現在入室人員の値を保持し、入室者
定員設定手段により定員の値を設定し、比較手段と出力
手段とにより定員オーバーか否かの状態を正確に出力す
ることができる。
実施例
第１図は本発明のエアシャワー室入室者数制限装置の一
実施例を示すブロック図、第２図は同信号波形図である
。第１図および第２図において１１は一般室側扉であり
、ここを開けて入室者はエアシャワー室１２へ入るよう
になっている。前記エアシャワー室１２における吹出し
口１３から出た風は矢印のようにグレーチング１４に吸
込まれるが、この間に入室者の衣類等に付着している塵
埃を取り除く。なお、図中の１５はクリーンルームに通
じているクリーンルーム側扉である。
実施例を示すブロック図、第２図は同信号波形図である
。第１図および第２図において１１は一般室側扉であり
、ここを開けて入室者はエアシャワー室１２へ入るよう
になっている。前記エアシャワー室１２における吹出し
口１３から出た風は矢印のようにグレーチング１４に吸
込まれるが、この間に入室者の衣類等に付着している塵
埃を取り除く。なお、図中の１５はクリーンルームに通
じているクリーンルーム側扉である。
前記エアシャワー室１２の一般室側扉１１に近い部分に
は２つの非接触式物体検出器１６ａ。
は２つの非接触式物体検出器１６ａ。
１６ｂが配設され、その出力信号は検出順序判定手段１
７に与えられるようになっており、入室方向のときは非
接触式物体検出器１６ａが先に検出し、退室方向のとき
は非接触式物体検出器１６ｂが先に検出するようになっ
ている。そして、検出順序判定手段１７は、入室方向に
非接触式物体検出器１６ａ、１６ｂが検出したときはそ
の出力信号をアップに、退室方向に非接触式物体検出器
１６ａ、１６ｂが検出したときはその出力をダウンとす
るようになっている。前記非接触式物体検出器１８ａま
たは１６ｂのいずれか一方の信号はパルスカラ／り１８
でカウントされ、パルスカウンタ１Ｂのカウントアツプ
かダウンかの切替信号は前記検出順序判定手段１７の出
力信号より得ている。１９は入室者定員設定手段であり
、この説明では定員２名と設定している場合を示す。比
較手段２ｏは前記パルスカウンタ１８のカウント値と前
記入室者定員設定手段１９による設定値とを比較するも
ので、その結果は出力手段２１によシ出力され、定員オ
ーバーか否かの入室者等への伝達は音あるいは光など任
意の方法でおこなわれる。
７に与えられるようになっており、入室方向のときは非
接触式物体検出器１６ａが先に検出し、退室方向のとき
は非接触式物体検出器１６ｂが先に検出するようになっ
ている。そして、検出順序判定手段１７は、入室方向に
非接触式物体検出器１６ａ、１６ｂが検出したときはそ
の出力信号をアップに、退室方向に非接触式物体検出器
１６ａ、１６ｂが検出したときはその出力をダウンとす
るようになっている。前記非接触式物体検出器１８ａま
たは１６ｂのいずれか一方の信号はパルスカラ／り１８
でカウントされ、パルスカウンタ１Ｂのカウントアツプ
かダウンかの切替信号は前記検出順序判定手段１７の出
力信号より得ている。１９は入室者定員設定手段であり
、この説明では定員２名と設定している場合を示す。比
較手段２ｏは前記パルスカウンタ１８のカウント値と前
記入室者定員設定手段１９による設定値とを比較するも
ので、その結果は出力手段２１によシ出力され、定員オ
ーバーか否かの入室者等への伝達は音あるいは光など任
意の方法でおこなわれる。
そして定員オーバーの場合、１人が退室すればカウント
値は自動的にカウントダウンするのでリセットをするこ
となく本装置は継続使用できる。
値は自動的にカウントダウンするのでリセットをするこ
となく本装置は継続使用できる。
なお非接触式物体検出器１６ａ 、 １６ｂは動作原理
上、光反射型、光透過型、超音波反射型、焦電型などが
あるがいずれの型でも良く、要は入室者の存在を無接触
にて検出できるものであれば良い０ 発明の効果 以上の実施例の説明より明らかなように、本発明によれ
ば、きわめて簡易な構成で入室者数を確実に把握すると
ともに定員の設定変更とそれに対応する作動も容易であ
り実用的にきわめて有用である。
上、光反射型、光透過型、超音波反射型、焦電型などが
あるがいずれの型でも良く、要は入室者の存在を無接触
にて検出できるものであれば良い０ 発明の効果 以上の実施例の説明より明らかなように、本発明によれ
ば、きわめて簡易な構成で入室者数を確実に把握すると
ともに定員の設定変更とそれに対応する作動も容易であ
り実用的にきわめて有用である。
第１図は本発明の一実施例におけるエアシャワー室入室
者数制限装置を示すブロック図、第２図は同信号波形図
、第３図は従来のエアシャワー室入室者数制限装置を示
すブロック図、第４図は同信号波形図である。 一１５ａ、１６ｂ・・・・・・非接触式物体検出器、１
７・・・・・・検出順序判定手段、１８・・・・・・パ
ルスカウンタ、１９・・・・・・入室者定員設定手段、
２ｏ・・・・・・比較手段、２１・・・・・・出力手段
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名し〕
者数制限装置を示すブロック図、第２図は同信号波形図
、第３図は従来のエアシャワー室入室者数制限装置を示
すブロック図、第４図は同信号波形図である。 一１５ａ、１６ｂ・・・・・・非接触式物体検出器、１
７・・・・・・検出順序判定手段、１８・・・・・・パ
ルスカウンタ、１９・・・・・・入室者定員設定手段、
２ｏ・・・・・・比較手段、２１・・・・・・出力手段
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名し〕
Claims (5)
- （１）エアシャワー室内に並べて設置した２個の非接触
式物体検出器と、前記２個の非接触式物体検出器からの
検出信号を入力する検出順序判定手段と、前記２個の非
接触式物体検出器からの検出信号のうちいずれか一方の
検出信号を入力とするパルスカウンタと、入室者数定員
設定手段と、前記パルスカウンタのカウント値と前記入
室者定員設定手段による設定値とを比較する比較手段と
、前記比較手段による比較結果を出力する出力手段とを
有し、前記検出順序判定手段の出力信号は前記パルスカ
ウンタのアップダウン切替信号として入力されてなるエ
アシャワー室入室者数制限装置。 - （２）非接触式物体検出器が光反射型非接触式物体検出
器である特許請求の範囲第１項記載のエアシャワー室入
室者数制限装置。 - （３）非接触式物体検出器が光透過型非接触式物体検出
器である特許請求の範囲第１項記載のエアシャワー室入
室者数制限装置。 - （４）非接触式物体検出器が超音波反射型非接触式物体
検出器である特許請求の範囲第１項記載のエアシャワー
室入室者数制限装置。 - （５）非接触式物体検出器が焦電型非接触式物体検出器
である特許請求の範囲第１項記載のエアシャワー室入室
者数制限装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60171574A JPS6233585A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | エアシヤワ−室入室者数制限装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60171574A JPS6233585A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | エアシヤワ−室入室者数制限装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6233585A true JPS6233585A (ja) | 1987-02-13 |
Family
ID=15925670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60171574A Pending JPS6233585A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | エアシヤワ−室入室者数制限装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6233585A (ja) |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP60171574A patent/JPS6233585A/ja active Pending
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