JPS6236909A - 広帯域帰還増幅器 - Google Patents
広帯域帰還増幅器Info
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- JPS6236909A JPS6236909A JP14044686A JP14044686A JPS6236909A JP S6236909 A JPS6236909 A JP S6236909A JP 14044686 A JP14044686 A JP 14044686A JP 14044686 A JP14044686 A JP 14044686A JP S6236909 A JPS6236909 A JP S6236909A
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- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 17
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 17
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 241001385733 Aesculus indica Species 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03F—AMPLIFIERS
- H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
- H03F3/34—DC amplifiers in which all stages are DC-coupled
- H03F3/343—DC amplifiers in which all stages are DC-coupled with semiconductor devices only
- H03F3/347—DC amplifiers in which all stages are DC-coupled with semiconductor devices only in integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03F—AMPLIFIERS
- H03F1/00—Details of amplifiers with only discharge tubes, only semiconductor devices or only unspecified devices as amplifying elements
- H03F1/42—Modifications of amplifiers to extend the bandwidth
- H03F1/48—Modifications of amplifiers to extend the bandwidth of aperiodic amplifiers
- H03F1/486—Modifications of amplifiers to extend the bandwidth of aperiodic amplifiers with IC amplifier blocks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Amplifiers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は広帯域増幅回路に関する。
従来技術
従来技術の代表例を第3図に示す。この回路は高周波装
置への適用について限界があるという本質的な欠点をも
っている。この欠点は主として電圧帰還を使用する点に
より生じるものである。演算増幅器Acの反転入力と非
反転入力は高インピーダンスノードとなり、従って便宜
的にVin=Oとすると帰還電圧はVe=VoF(1/
11+Rz)となる。従ってVo = Ac(Vni
−Ve)テあるからVo /Vn1= G / (1+
G/Ac)とナル。但L G =、1+R2/R1であ
る。zCトPcを周波数の関数である零点と極点の複素
多項式としてAc = Zc/Pcとすると、V□ /
Vni−G/(1+GPC/zC)となる。コノヨウニ
Gは所望の閉ループの利得の大きさの目安であるばかり
でなく閉ループのレスポンスについてのPcの効果を促
進する、。閉ループの極点の位置はGの関数である。こ
のように、Gを大きくすれば帯域幅はGに逆比例する。
置への適用について限界があるという本質的な欠点をも
っている。この欠点は主として電圧帰還を使用する点に
より生じるものである。演算増幅器Acの反転入力と非
反転入力は高インピーダンスノードとなり、従って便宜
的にVin=Oとすると帰還電圧はVe=VoF(1/
11+Rz)となる。従ってVo = Ac(Vni
−Ve)テあるからVo /Vn1= G / (1+
G/Ac)とナル。但L G =、1+R2/R1であ
る。zCトPcを周波数の関数である零点と極点の複素
多項式としてAc = Zc/Pcとすると、V□ /
Vni−G/(1+GPC/zC)となる。コノヨウニ
Gは所望の閉ループの利得の大きさの目安であるばかり
でなく閉ループのレスポンスについてのPcの効果を促
進する、。閉ループの極点の位置はGの関数である。こ
のように、Gを大きくすれば帯域幅はGに逆比例する。
実際には高側。
波レスポンスは多数の極点および零点の存在のために限
られており、そして最良のレスポンスを得るには夫々の
Gの値において増幅器を補償する必要がある。多くの場
合、安定性および振動からの自由度を得ようとすれば増
幅器の性能が著しく制限される。
られており、そして最良のレスポンスを得るには夫々の
Gの値において増幅器を補償する必要がある。多くの場
合、安定性および振動からの自由度を得ようとすれば増
幅器の性能が著しく制限される。
増幅器において電圧帰還の代わりに電流帰還を用いるこ
との効果は米国特許第4358739号および同第4’
502020号に示されており、これについても第3図
面の簡単な説明する。演算増幅器Acの非反転入力のみ
が高入力インピーダンスを有し反転入力が抵抗R2から
の帰還の効果には無関係に非反転入力に対し実質的に接
地されているとすれば、Vo/Vni −G/(1+R
2PC/ZC)となる。抵抗R2はここで前記の式の分
母のGと置き換えられている。
との効果は米国特許第4358739号および同第4’
502020号に示されており、これについても第3図
面の簡単な説明する。演算増幅器Acの非反転入力のみ
が高入力インピーダンスを有し反転入力が抵抗R2から
の帰還の効果には無関係に非反転入力に対し実質的に接
地されているとすれば、Vo/Vni −G/(1+R
2PC/ZC)となる。抵抗R2はここで前記の式の分
母のGと置き換えられている。
抵抗R2は抵抗R1が所望のGの値を与えるべく変わる
間に、一定に維持されるから、周波数レスポンスと他の
特性は一定に維持される。このようにこの増幅器は前述
のように補償を行う必要なしに任意の利得において最適
性能をもつように設計出来る。
間に、一定に維持されるから、周波数レスポンスと他の
特性は一定に維持される。このようにこの増幅器は前述
のように補償を行う必要なしに任意の利得において最適
性能をもつように設計出来る。
発明が解決しようとする問題点
これまで述べた電圧帰還形増幅器および電流帰還形増幅
器のいずれにおいてもGは反転利得の場合、−R2/R
1に等しい。
器のいずれにおいてもGは反転利得の場合、−R2/R
1に等しい。
問題点を解決するための手段
従って、本発明は第1および第2入力、1個の出力およ
び第1増幅手段を有し、上記第1増幅手段の入力が上記
第1入力に接続するごとくなっており、更に上記、第1
増幅手段の出力に接続する非反転入力と反転入力と出力
とを有する差動増幅手段、この差動増幅手段の非反転入
力と反転入力との間に接続する第1抵抗手段、上記差動
増幅手段の反転入力と上記第2入力との間に接続する第
2抵抗手段、及び上記差動増幅手段の反転入力と上記1
個の出力との間に接続する第3抵抗手段とを有すること
を特徴とする広帯域帰還増幅器を提供する。
び第1増幅手段を有し、上記第1増幅手段の入力が上記
第1入力に接続するごとくなっており、更に上記、第1
増幅手段の出力に接続する非反転入力と反転入力と出力
とを有する差動増幅手段、この差動増幅手段の非反転入
力と反転入力との間に接続する第1抵抗手段、上記差動
増幅手段の反転入力と上記第2入力との間に接続する第
2抵抗手段、及び上記差動増幅手段の反転入力と上記1
個の出力との間に接続する第3抵抗手段とを有すること
を特徴とする広帯域帰還増幅器を提供する。
作用
そのような広帯域増幅器はその2個の増幅手段が電圧帰
還ではなく閉ループ電流帰還により広帯域増幅器の閉ル
ープ利得を制御するように接続されるとい、う点で有利
である。そのような増幅器は3dBの帯域幅という極め
て広帯域の特性および広範囲にわたシ閉ループの利得設
定には無関係となり−うる他のパラメータを実現するも
のである。
還ではなく閉ループ電流帰還により広帯域増幅器の閉ル
ープ利得を制御するように接続されるとい、う点で有利
である。そのような増幅器は3dBの帯域幅という極め
て広帯域の特性および広範囲にわたシ閉ループの利得設
定には無関係となり−うる他のパラメータを実現するも
のである。
なお、本発明の好適な実施例では第1の増幅手段は差動
増幅手段となっており、との差動増幅手段は後段の差動
増幅手段の反転入力に接続する反転入力を有しており、
第1の増幅器入力はこの前段の差動増幅手段の非反転入
力に接続するようになっている。
増幅手段となっており、との差動増幅手段は後段の差動
増幅手段の反転入力に接続する反転入力を有しており、
第1の増幅器入力はこの前段の差動増幅手段の非反転入
力に接続するようになっている。
実施例
第1図は本発明の一実施例を示しており、同図において
増幅器Aaは、周波数の関数である零点および極点の複
素多項式をZa 、 PaとしてVd−(Vni −V
e)Za/Paf定義されるレスポンスを有する。同様
に増幅器AbはVo=(Vd−Ve)Zb/Pbで寓義
されるレスポンスを有スる。
増幅器Aaは、周波数の関数である零点および極点の複
素多項式をZa 、 PaとしてVd−(Vni −V
e)Za/Paf定義されるレスポンスを有する。同様
に増幅器AbはVo=(Vd−Ve)Zb/Pbで寓義
されるレスポンスを有スる。
これら2個の増幅器が第1図のように接続されると、総
合入力−出力伝達関数は次のように導かれる。すなわち
、非反転利得(AaとAbの入力インピーダンスを無限
大と仮定する)についての解を求めるためにVin =
Oとすると、Vni = VdX + Ve
。
合入力−出力伝達関数は次のように導かれる。すなわち
、非反転利得(AaとAbの入力インピーダンスを無限
大と仮定する)についての解を求めるためにVin =
Oとすると、Vni = VdX + Ve
。
0 =−VoY + V、d −VeO= V
oG21 VdG −Ve(G+G1+G2)(但[、
X=Pa/Za、Y=Pb/Zb、G=1/R。
oG21 VdG −Ve(G+G1+G2)(但[、
X=Pa/Za、Y=Pb/Zb、G=1/R。
G1=1/R1,G2=1/R2)
を解けば
Vo/Vn i=(1+R2/R1)/(1+Y((1
+X)R2/R+X(1+R2/R1))+X)となる
。反転利得についてはこの式の分子のみが−R2/ R
1となる。周波レスポンスについての分母の効果を知る
ためにX=oと仮定する。その場合分母は(1+R2P
b/RZb )となる。この周波数に関係する項は、従
来の演算増幅器におけるようなR1の関数とはなってい
ない。それ故−3dS幅および他の関連パラメータは閉
ループ利得設定には影響されない。実際に増幅器Aaは
VeがR1とR2に無関係となるような低い反転入力イ
ンピーダンスをつくり出す。これによりVeに誤差電圧
が生じるのが防止されるが、抵抗Rを流れる電流に誤差
電流1inv−(Vo−Ve)/R2−(Ve −Vi
n)/Riが生じる。
+X)R2/R+X(1+R2/R1))+X)となる
。反転利得についてはこの式の分子のみが−R2/ R
1となる。周波レスポンスについての分母の効果を知る
ためにX=oと仮定する。その場合分母は(1+R2P
b/RZb )となる。この周波数に関係する項は、従
来の演算増幅器におけるようなR1の関数とはなってい
ない。それ故−3dS幅および他の関連パラメータは閉
ループ利得設定には影響されない。実際に増幅器Aaは
VeがR1とR2に無関係となるような低い反転入力イ
ンピーダンスをつくり出す。これによりVeに誤差電圧
が生じるのが防止されるが、抵抗Rを流れる電流に誤差
電流1inv−(Vo−Ve)/R2−(Ve −Vi
n)/Riが生じる。
これが電流帰還となる。電圧1invRが増幅器Abの
入力に与えられ、そして増幅器Abと抵抗RとR2が、
閉ループの利得を設定する抵抗R1とは無関係に、増幅
器全体の周波数レスポンスを決定することに瀝る。Xが
Oでない場合(すなわち増幅器Aaが理想的増幅器でな
い場□合)、帰還は電流と電圧の両方の帰還の合成とな
る。
入力に与えられ、そして増幅器Abと抵抗RとR2が、
閉ループの利得を設定する抵抗R1とは無関係に、増幅
器全体の周波数レスポンスを決定することに瀝る。Xが
Oでない場合(すなわち増幅器Aaが理想的増幅器でな
い場□合)、帰還は電流と電圧の両方の帰還の合成とな
る。
分母のYX(1+R2/R1)の項からの電圧帰還によ
り理想的レスポンスからのずれが生じる。
り理想的レスポンスからのずれが生じる。
iY/Rの値を適正に選ぶことにより、周波数レスポン
スはXの特性によりきまる限界内で制御出来る。
スはXの特性によりきまる限界内で制御出来る。
第2図に示す実施例では増幅器AdはZdとPdを周波
数の関数である零点と極点の複素多項式としてVd−(
Vni)Zd/Pdで定義されるレスポンスを有する。
数の関数である零点と極点の複素多項式としてVd−(
Vni)Zd/Pdで定義されるレスポンスを有する。
同様に増幅器AeはVo=(Vd−Ve)Ze/Pe
で定義されるレスポンスを有する。これら2個の増幅器
が第2図のように接続すると全体としての入力−出力伝
達関数は次のようにして導かれる。非反転利得について
の解を求めるためにVin=Oとする(AdとAeの入
力インピーダンスを無限大と仮定する)と、 Vni = VdLl (1’3) 0 −−VoW + Vd −Veo =
VOG2 + VdG −Ve(G+Gi+G2)(
但LU=Pd/Zd、W=Pe/Ze。
で定義されるレスポンスを有する。これら2個の増幅器
が第2図のように接続すると全体としての入力−出力伝
達関数は次のようにして導かれる。非反転利得について
の解を求めるためにVin=Oとする(AdとAeの入
力インピーダンスを無限大と仮定する)と、 Vni = VdLl (1’3) 0 −−VoW + Vd −Veo =
VOG2 + VdG −Ve(G+Gi+G2)(
但LU=Pd/Zd、W=Pe/Ze。
G=1/R、G1=1/Rt 、 G2=1/R2であ
る) を解くと Vo/Vni=(1+R2/R1)/〔U(1+’W(
1+R2(G +G 1 ) ))’] となる。反転利得についてはこの式の分子が−R2/R
1となる。周波数リスポンスについての分母の効果をみ
るためにRがR1より充分小さいとする。その場合、分
母はU (1+W、(1,+R2G))となる。この周
波数に関係する項は従来の演算増幅器におけるようにR
1の関数とはなっていない。従って一3dBの帯域幅お
よび他の関連ノ々ラメータは閉ループの利得設定に影響
されないことがわかる。実際に増幅器AdはVeがR1
とR2に無関係となるような低い反転入力インピーダン
スを与える。これによりVeに誤差電圧が生じないよう
になるが、抵抗Rの電流に誤差電流1inv = (V
o−Ve)/R2−(Ve−Vin)/Rzが生じる。
る) を解くと Vo/Vni=(1+R2/R1)/〔U(1+’W(
1+R2(G +G 1 ) ))’] となる。反転利得についてはこの式の分子が−R2/R
1となる。周波数リスポンスについての分母の効果をみ
るためにRがR1より充分小さいとする。その場合、分
母はU (1+W、(1,+R2G))となる。この周
波数に関係する項は従来の演算増幅器におけるようにR
1の関数とはなっていない。従って一3dBの帯域幅お
よび他の関連ノ々ラメータは閉ループの利得設定に影響
されないことがわかる。実際に増幅器AdはVeがR1
とR2に無関係となるような低い反転入力インピーダン
スを与える。これによりVeに誤差電圧が生じないよう
になるが、抵抗Rの電流に誤差電流1inv = (V
o−Ve)/R2−(Ve−Vin)/Rzが生じる。
これが電流帰還となる。電圧1invRが増幅器Aeの
入力に与えられ、そして増幅器Aeと抵抗RとR2が閉
ループの利得を設定する抵抗R1とは無関係に増幅器全
体の周波数レスポンスを決定する。抵抗Rが抵抗R1よ
り充分小さくない場合には大きな電圧帰還成分も存在す
ることになる。
入力に与えられ、そして増幅器Aeと抵抗RとR2が閉
ループの利得を設定する抵抗R1とは無関係に増幅器全
体の周波数レスポンスを決定する。抵抗Rが抵抗R1よ
り充分小さくない場合には大きな電圧帰還成分も存在す
ることになる。
発明の効果
電流帰還を用いる2個の増幅器の相互接続と関連す゛る
抵抗により3dBという極めて広い帯域特性が得られ、
この帯域幅および他のパラメータは広い範囲にわたり閉
ループの利得設定とは無関係となる。
抵抗により3dBという極めて広い帯域特性が得られ、
この帯域幅および他のパラメータは広い範囲にわたり閉
ループの利得設定とは無関係となる。
第1図は本発明の一実施例を示す回路図、第2図は本発
明の他の実施例を示す回路図、第3図は差動入力増幅器
の回路図である。 図面の浄書(内容に変更なし) FIG、I FIG、2 FIG、3 手続補正書(方式) %式% 1・ 事件の表示 昭和61年特許願第140446
号2、発明の名称 広帯域帰還増幅器 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 カムリニーア・コーポレイション4、代理人 昭和61年8月26日 (発送日) 6・補正の対象
明の他の実施例を示す回路図、第3図は差動入力増幅器
の回路図である。 図面の浄書(内容に変更なし) FIG、I FIG、2 FIG、3 手続補正書(方式) %式% 1・ 事件の表示 昭和61年特許願第140446
号2、発明の名称 広帯域帰還増幅器 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 カムリニーア・コーポレイション4、代理人 昭和61年8月26日 (発送日) 6・補正の対象
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、第1および第2入力、1個の出力および第1増幅手
段(Aa、Ac、Ad)を有し、上記第1増幅手段の入
力が上記第1入力に接続するごとくになつており、更に
上記第1増幅手段(Aa、Ad)の出力に接続する非反
転入力と反転入力と出力を有する差動増幅手段(Ab、
Ae)、この差動増幅手段(Ab、Ae)の上記非反転
入力と反転入力との間に接続する第1抵抗手段(R)、
上記差動増幅手段(Ab、Ae)の反転入力と上記第2
入力との間に接続する第2抵抗手段(R1)及び上記差
動増幅手段(Ab、Ae)の上記反転入力と上記1個の
出力との間に接続する第3抵抗手段(R2)とを有する
ことを特徴とする広帯域帰還増幅器。 2、第1増幅手段は差動増幅手段(Ab)の反転入力に
接続する反転入力を有する他の差動増幅手段(Aa)を
有し、第1入力が上記他の差動増幅手段(Aa)の非反
転入力に接続することを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の増幅器。 3、第1入力信号を受ける第1入力端子を形成する基準
入力と、出力と、電流検出手段と、を有し、上記第1入
力端子に加えられる第1入力信号に従つて電流加算端子
における電圧を制御するように動作する基準増幅手段で
あつて上記電流検出手段が上記電流加算端子に流れる合
計電流に比例し且つ同相となつた差電流検出電圧を発生
するようになつた上記基準増幅手段、正の差動入力と負
の差動入力と出力端子を形成する出力とを有し、上記正
および負の差動入力が上記電流検出手段に接続して上記
電流検出手段により発生される差動電流検出電圧に応じ
て上記出力端子の電圧を制御するようになつた差動増幅
手段、上記出力端子と上記電流加算端子との間に接続し
て上記出力端子の電圧に比例する帰還電流が上記電流加
算端子に流れて上記差動増幅手段によりきまる利得限界
内で上記電流加算端子に流れる合計電流を零とするよう
になつた電流帰還手段、第2入力端子と上記電流加算端
子との間に接続して上記電流加算端子に、それによる電
圧降下に比例する電流を流す抵抗手段、から成る帰還増
幅器。 4、基準増幅手段は差動増幅器であり、基準入力は正の
基準入力であり、上記差動増幅器は電流加算端子に接続
する高インピーダンスの負の基準入力を含むごとくなつ
ており、電流検出手段は前記増幅手段の出力と前記電流
加算端子との間に接続する電流検出抵抗である特許請求
の範囲第3項記載の帰還増幅器。 5、電流帰還手段は電流帰還抵抗であり、正および負の
差動入力は、電流加算端子への電流が出力端子の電圧に
負の変化を生じさせるように電流検出手段に接続するご
とくなつた特許請求の範囲第3項記載の帰還増幅器。 6、基準増幅手段は差動増幅器であり、基準入力は正の
基準入力であり、上記差動増幅器は電流加算端子に接続
する高インピーダンスの負の基準入力を含むごとくなつ
ており、電流検出手段は上記基準増幅手段の出力と上記
電流加算端子との間に接続する電流検出抵抗である特許
請求の範囲第5項記載の帰還増幅器。 7、電流検出手段は基準増幅手段の出力と電流加算端子
との間に接続される電流検出抵抗である特許請求の範囲
第3項記載の帰還増幅器。 8、電流帰還手段は電流帰還抵抗であり、正および負の
差動入力は、電流加算端子への電流が出力端子の電圧に
負の変化を生じさせるように電流検出抵抗にまたがり接
続する特許請求の範囲第7項記載の帰還増幅器。 9、基準増幅手段は電流加算端子への電流のないときに
その帯域特性の限界内で第1入力端子の電圧から加算端
子の電圧まで同相の単位利得を有する、特許請求の範囲
第3項記載の帰還増幅器。 10、基準増幅手段は差動増幅器であり、基準入力は正
の基準入力であり、上記差動増幅器は電流加算端子に接
続する高インピーダンスの負の基準入力を含み、電流検
出手段は上記基準増幅手段の出力と上記電流加算端子と
の間に接続される電流検出抵抗である、特許請求の範囲
第9項記載の帰還増幅器。 11、電流帰還手段は電流帰還抵抗であり、正および負
の差動入力は、電流加算端子への電流が出力端子の電圧
に負の変化を生じさせるように電流検出手段に接続する
ごとくなつた特許請求の範囲第9項記載の帰還増幅器。 12、基準増幅手段は差動増幅器であり基準入力は正の
基準入力であり、上記差動増幅器は電流加算端子に接続
する高インピーダンスの負の基準入力を含み、電流検出
手段は上記基準増幅手段の出力と上記電流加算端子との
間に接続する電流検出抵抗である特許請求の範囲第11
項記載の帰還増幅器。 13、電流検出手段は基準増幅手段の出力と電流加算端
子の間に接続する電流検出抵抗である、特許請求の範囲
第9項記載の帰還増幅器。 14、電流帰還手段は電流帰還抵抗であり、正および負
の差動入力は電流加算端子への電流が出力端子の電圧に
負の変化を生じさせるように電流検出抵抗に、またがり
接続するごとくなつた特許請求の範囲第13項記載の帰
還増幅器。 15、第1入力信号を受ける第1入力端子を形成する入
力と電圧出力である第1出力と第2出力とを有する第1
増幅手段、上記第1出力に接続する反転入力と上記第2
出力に接続する非反転入力と出力端子を形成する出力と
を有する差動入力増幅器から成る第2増幅手段、上記第
1増幅手段の上記第1出力と上記出力端子との間に接続
する分流帰還抵抗、第2入力信号を受ける第2入力端子
と上記第1増幅手段の第1出力との間に接続する直列帰
還抵抗、上記第1増幅手段の第1および第2出力間に接
続する電流検出抵抗、から成り、上記第1増幅手段が上
記入力に対し同相の単位利得を示す電圧を上記第1出力
に発生するように動作すると共に、上記入力に加えられ
る電圧に等しく、上記電流検出抵抗の値と上記第1出力
における電流の積より小さい電圧を上記第2出力に生じ
させるように動作するごとくなつた帰還増幅器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US74623485A | 1985-06-18 | 1985-06-18 | |
| US746234 | 1985-06-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236909A true JPS6236909A (ja) | 1987-02-17 |
Family
ID=24999978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14044686A Pending JPS6236909A (ja) | 1985-06-18 | 1986-06-18 | 広帯域帰還増幅器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0206607A3 (ja) |
| JP (1) | JPS6236909A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4859961A (en) * | 1988-12-19 | 1989-08-22 | Triouint Semiconductor, Inc. | Wide bandwidth push-pull parallel amplifier |
| US7528929B2 (en) | 2003-11-14 | 2009-05-05 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
1986
- 1986-06-09 EP EP86304366A patent/EP0206607A3/en not_active Withdrawn
- 1986-06-18 JP JP14044686A patent/JPS6236909A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0206607A2 (en) | 1986-12-30 |
| EP0206607A3 (en) | 1987-09-02 |
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