JPS6237942A - ペレツト位置決め装置 - Google Patents
ペレツト位置決め装置Info
- Publication number
- JPS6237942A JPS6237942A JP17796585A JP17796585A JPS6237942A JP S6237942 A JPS6237942 A JP S6237942A JP 17796585 A JP17796585 A JP 17796585A JP 17796585 A JP17796585 A JP 17796585A JP S6237942 A JPS6237942 A JP S6237942A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- positioning
- lead frame
- bonding
- pawls
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体装置組立のペレットボンディングにお
けるペレットの位置決め装置に関するものである。
けるペレットの位置決め装置に関するものである。
従来の技術
半導体装置の組立工程で、リードフレームのヘッダ一部
に半導体ペレットのボンディングを行う２ヘ−ノ゛ が、この半導体ペレットのリードフレームに対する位置
決め（配置）は、第３図ａのようなペレットボンダー上
のリードフレームの進行方向とペレットの辺が平行とな
るようにペレットボンディングする場合と、次工程のワ
イヤーボンディングの容易さのため、第３図すのような
ペレットボンダー上のリードフレームの進行方向とペレ
ットの辺とに所定角度を付してペレットボンディングを
する場合とがあり、通常、角度付けの場合は４５度の角
度とされる。
に半導体ペレットのボンディングを行う２ヘ−ノ゛ が、この半導体ペレットのリードフレームに対する位置
決め（配置）は、第３図ａのようなペレットボンダー上
のリードフレームの進行方向とペレットの辺が平行とな
るようにペレットボンディングする場合と、次工程のワ
イヤーボンディングの容易さのため、第３図すのような
ペレットボンダー上のリードフレームの進行方向とペレ
ットの辺とに所定角度を付してペレットボンディングを
する場合とがあり、通常、角度付けの場合は４５度の角
度とされる。
一般的に現在使用されているペレットボンダーは、ダイ
シング後粘着性シートに貼り付けられたペレット群をパ
ルスモータ−等によって駆動されるＸ−Ｙテーブル上に
載接し、ビジコン等の撮像手段によって、所定の電気的
特性検査によシネ良ペレットに付された不合格マークと
ペレットの形状等を撮像検出し、良品ペレットのみを真
空ノズルにより吸着し、ペレット位置決めステーション
上でペレットを位置決めし、リードフレームのペレット
固定部の所定の位置にボンディングする方３ ページ 法であり、第３図ａのよう外リードフレームの進行方向
とペレットの辺が平行なるペレットボンディングの場合
は、ペレット群を載積しているＸ −Ｙテーブルの移動
方向とペレットの辺、および撮像手段のビジコン等の走
査線方向とペレットの辺とが略同一方向であり、Ｘ−Ｙ
テーブルの移動および撮像手段による検出も容易である
が、第３図すのようなリードフレームの進行方向とペレ
ットの辺とに所定角度を付してペレットボンディングさ
れる半導体装置を、第３図ａのごとくリードフレームの
進行方向とペレットの辺が平行な半導体装置組立用と同
一のペレットボンダーでペレットボンディングを行う場
合には、粘着性シートに貼り付けられたペレット群を、
予め、Ｘ−Ｙテーブル上で所定の角度座標を傾けて載積
するため、Ｘ−Ｙテーブルの移動方向および撮像手段の
ビジコン等の走査線方向とペレットの辺とに角度が伺さ
れるため、Ｘ−Ｙテーブルの駆動方法およびビジコン等
によって撮像検出する検出方法とに複雑な手法を必要と
するとＸもに、第４図のような一定配置方向を選定する
ためのペレット位置決め装置もそのま＼では使用不可能
であった。
シング後粘着性シートに貼り付けられたペレット群をパ
ルスモータ−等によって駆動されるＸ−Ｙテーブル上に
載接し、ビジコン等の撮像手段によって、所定の電気的
特性検査によシネ良ペレットに付された不合格マークと
ペレットの形状等を撮像検出し、良品ペレットのみを真
空ノズルにより吸着し、ペレット位置決めステーション
上でペレットを位置決めし、リードフレームのペレット
固定部の所定の位置にボンディングする方３ ページ 法であり、第３図ａのよう外リードフレームの進行方向
とペレットの辺が平行なるペレットボンディングの場合
は、ペレット群を載積しているＸ −Ｙテーブルの移動
方向とペレットの辺、および撮像手段のビジコン等の走
査線方向とペレットの辺とが略同一方向であり、Ｘ−Ｙ
テーブルの移動および撮像手段による検出も容易である
が、第３図すのようなリードフレームの進行方向とペレ
ットの辺とに所定角度を付してペレットボンディングさ
れる半導体装置を、第３図ａのごとくリードフレームの
進行方向とペレットの辺が平行な半導体装置組立用と同
一のペレットボンダーでペレットボンディングを行う場
合には、粘着性シートに貼り付けられたペレット群を、
予め、Ｘ−Ｙテーブル上で所定の角度座標を傾けて載積
するため、Ｘ−Ｙテーブルの移動方向および撮像手段の
ビジコン等の走査線方向とペレットの辺とに角度が伺さ
れるため、Ｘ−Ｙテーブルの駆動方法およびビジコン等
によって撮像検出する検出方法とに複雑な手法を必要と
するとＸもに、第４図のような一定配置方向を選定する
ためのペレット位置決め装置もそのま＼では使用不可能
であった。
発明が解決しようとする問題点
従来のリードフレームの進行方向にペレットの辺を略平
行にボンディングするペレットボンダーで、リードフレ
ームの進行方向とペレットの辺に所定角度の付された状
態にペレットボンディングを行うには、ペレット群を載
積するＸ−Ｙテーブルの駆動方法と、ビジコン等によっ
て撮像検出する検出方法とに複雑な手法を必要とし、あ
わせて、ペレット位置決め装置の取り付は変更を精密に
実施し々ければいけない等の不都合があった。
行にボンディングするペレットボンダーで、リードフレ
ームの進行方向とペレットの辺に所定角度の付された状
態にペレットボンディングを行うには、ペレット群を載
積するＸ−Ｙテーブルの駆動方法と、ビジコン等によっ
て撮像検出する検出方法とに複雑な手法を必要とし、あ
わせて、ペレット位置決め装置の取り付は変更を精密に
実施し々ければいけない等の不都合があった。
問題点を解決するための手段
本発明は、前記不都合を解決するため、ペレットボンダ
ーに用いられるペレット位置決め装置のペレット載置台
を、同ペレットの中心を回転中心として所定角度回転さ
ぜる回転機構で制御できるようにしたものである。
ーに用いられるペレット位置決め装置のペレット載置台
を、同ペレットの中心を回転中心として所定角度回転さ
ぜる回転機構で制御できるようにしたものである。
作用
本発明の構成により、ペレット位置決め装置で５ ペー
ジ ペレットを位置決めした後、ペレット載置台を所定角度
回転させ、その状態でリードフレーム進行方向に対しペ
レットを配送すれば、リードフレーム上で正常位置に固
定できる。
ジ ペレットを位置決めした後、ペレット載置台を所定角度
回転させ、その状態でリードフレーム進行方向に対しペ
レットを配送すれば、リードフレーム上で正常位置に固
定できる。
実施例
第１図乃至第２図を参照して本発明の一実施例を説明す
る。
る。
第１図は実施例の概要を示す斜視図であり、第２図ａ
−ｄは第１図実施例のペレット位置決め装置によるペレ
ット位置決めと、その角度付けの動作を説明する図であ
る。
−ｄは第１図実施例のペレット位置決め装置によるペレ
ット位置決めと、その角度付けの動作を説明する図であ
る。
位置決め爪１はＶ字形に開いたＶ形爪部２を有し、位置
決め爪１の延長方向には、Ｖ形爪部２に対向しかつ離間
して、位置決め爪１と同様にＶ字形に開いたＶ形爪部４
を有する位置決め爪３が設けられ、一対の位置決め爪１
および３は、前記Ｖ形爪部２および４によって、ペレッ
ト載置台５の上面に載置されたペレット１６を挾みつけ
て位置決めすべく個々の延長線上に移動可能とされてい
る。
決め爪１の延長方向には、Ｖ形爪部２に対向しかつ離間
して、位置決め爪１と同様にＶ字形に開いたＶ形爪部４
を有する位置決め爪３が設けられ、一対の位置決め爪１
および３は、前記Ｖ形爪部２および４によって、ペレッ
ト載置台５の上面に載置されたペレット１６を挾みつけ
て位置決めすべく個々の延長線上に移動可能とされてい
る。
６ ページ
ペレット載置台５は、位置決め爪１および３の中央に位
置し、かつ上面は位置決め爪１および３の底面に接する
高さに設置されている。ペレット載置台５の上面の中央
にはペレット載置時に真空でペレットを吸着するための
吸着穴６が設けられており、所定のタイミングでペレッ
トを吸着する。
置し、かつ上面は位置決め爪１および３の底面に接する
高さに設置されている。ペレット載置台５の上面の中央
にはペレット載置時に真空でペレットを吸着するための
吸着穴６が設けられており、所定のタイミングでペレッ
トを吸着する。
壕だペレット載置台５は、回転軸受７および軸受ホルダ
ー８により回転自在に支持されており、かつ下部に軸芯
に直角に揺動レバー９が取り付けられ、駆動杆１１の動
作によりペレット載置台５が所定の角度回転するように
、ピン１０で前記駆動杆１１に係留されている。
ー８により回転自在に支持されており、かつ下部に軸芯
に直角に揺動レバー９が取り付けられ、駆動杆１１の動
作によりペレット載置台５が所定の角度回転するように
、ピン１０で前記駆動杆１１に係留されている。
第２図ａは、位置決め爪１および３が開放され、ペレッ
ト載置台５の上面にペレット１５が載置された状態であ
り、第２図すでは、位置決め爪１および３はそれぞれに
閉塞方向に動作し、ペレット１５を挾み正しく位置決め
する。ペレット１５を位置決めしたのち、位置決め爪１
および３は再び矢印１２ｂ方向にそれぞれ動作し、第２
図Ｃのように各位置決め爪１，３は開放される。第２図
Ｃ７ ヘ−ジ で、駆動杆１１が矢印１３ａ方向に動作し、ピン１０、
揺動レバー９を介してペレット載置台５は矢印１４ａ方
向に所定の角度回転し、ペレット載置台６上のペレット
１５も同一角度回転することにより、ペレットは所定の
角度の角度付けが行われる。
ト載置台５の上面にペレット１５が載置された状態であ
り、第２図すでは、位置決め爪１および３はそれぞれに
閉塞方向に動作し、ペレット１５を挾み正しく位置決め
する。ペレット１５を位置決めしたのち、位置決め爪１
および３は再び矢印１２ｂ方向にそれぞれ動作し、第２
図Ｃのように各位置決め爪１，３は開放される。第２図
Ｃ７ ヘ−ジ で、駆動杆１１が矢印１３ａ方向に動作し、ピン１０、
揺動レバー９を介してペレット載置台５は矢印１４ａ方
向に所定の角度回転し、ペレット載置台６上のペレット
１５も同一角度回転することにより、ペレットは所定の
角度の角度付けが行われる。
こうして角度付けが行われたペレット１５は、ペレット
吸着ノズル（図示せず）に吸着され、第３図すのような
リードフレームの所定の位置にボンディングされる。
吸着ノズル（図示せず）に吸着され、第３図すのような
リードフレームの所定の位置にボンディングされる。
一方第３図ａのようなペレットの辺をリードフレームの
進行方向と平行にペレットボンディングを行うときは、
駆動杆１１の矢印１３ａ方向の動作を停止させ、第２図
Ｃの状態から、その捷ま、前記ペレット吸着ノズルによ
り、リードフレームの所定の位置にボンディングすれば
よい。
進行方向と平行にペレットボンディングを行うときは、
駆動杆１１の矢印１３ａ方向の動作を停止させ、第２図
Ｃの状態から、その捷ま、前記ペレット吸着ノズルによ
り、リードフレームの所定の位置にボンディングすれば
よい。
発明の効果
本発明は、リードフレーム上へのペレットボンディング
に際し、リードフレームの進行方向に対しペレットの辺
を平行にボンディングするか、角度付けしてボンディン
グするかを同一のペレットボンダーにて容易に変更可能
とし、ペレットボンディングの経済性を向上させるもの
である。
に際し、リードフレームの進行方向に対しペレットの辺
を平行にボンディングするか、角度付けしてボンディン
グするかを同一のペレットボンダーにて容易に変更可能
とし、ペレットボンディングの経済性を向上させるもの
である。
第１図は本発明の一実施例装置の概要を示す斜視図、第
２図は、同実施例のベレット位置決め装置によるベレッ
ト位置決め過程と、角度付けの動作の説明図、第３図は
、リードフレームのペレット固定部にペレットをボンデ
ィングした平面図、第４図は、従来のベレット位置決め
装置の概要を示す斜視図である。 、１，３・・・・・位置決め爪、２，４・・・・・Ｖ型
爪部、５・・・・・ペレット載置部、６・・・・・・吸
着穴、７・・・・・・回転軸受、８・・・・・・軸受ホ
ルダー、９・・・・・揺動レバー、１ｏ・・・・・ピン
、１１・・・・・・駆動杆、１５・・・・・ペレット。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名４−
一一位１伏わ丸 ４−−−Ｖ ｖチし瞥Ｐ 第 ２ 図
ＩＰ−一−イＩＬ
ｔンらりメし節動）γｔｓ−−−、＠ｒｉｂＦｆｔ＄ 第３図 （ｃＬン （ｂ〕第４図
２図は、同実施例のベレット位置決め装置によるベレッ
ト位置決め過程と、角度付けの動作の説明図、第３図は
、リードフレームのペレット固定部にペレットをボンデ
ィングした平面図、第４図は、従来のベレット位置決め
装置の概要を示す斜視図である。 、１，３・・・・・位置決め爪、２，４・・・・・Ｖ型
爪部、５・・・・・ペレット載置部、６・・・・・・吸
着穴、７・・・・・・回転軸受、８・・・・・・軸受ホ
ルダー、９・・・・・揺動レバー、１ｏ・・・・・ピン
、１１・・・・・・駆動杆、１５・・・・・ペレット。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名４−
一一位１伏わ丸 ４−−−Ｖ ｖチし瞥Ｐ 第 ２ 図
ＩＰ−一−イＩＬ
ｔンらりメし節動）γｔｓ−−−、＠ｒｉｂＦｆｔ＄ 第３図 （ｃＬン （ｂ〕第４図
Claims (1)
- ペレット位置決めステーションで、予め、半導体ペレッ
トを位置決めし、ペレットボンディングを行うペレット
ボンダーに前記半導体ペレットを供給するにあたり、前
記ペレット位置決めステーションのペレット載置台を、
前記半導体ペレットの中心を回転中心として所定の角度
回転せしむる回転機構で制御する構造としたことを特徴
とするペレット位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17796585A JPS6237942A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | ペレツト位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17796585A JPS6237942A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | ペレツト位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237942A true JPS6237942A (ja) | 1987-02-18 |
Family
ID=16040171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17796585A Pending JPS6237942A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | ペレツト位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237942A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010232273A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Yamatake Corp | 部材同士の位置合わせ装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55165643A (en) * | 1979-06-12 | 1980-12-24 | Fujitsu Ltd | Device for bonding pellet |
| JPS5681940A (en) * | 1979-12-10 | 1981-07-04 | Hitachi Ltd | Pellet bonding device |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP17796585A patent/JPS6237942A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55165643A (en) * | 1979-06-12 | 1980-12-24 | Fujitsu Ltd | Device for bonding pellet |
| JPS5681940A (en) * | 1979-12-10 | 1981-07-04 | Hitachi Ltd | Pellet bonding device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010232273A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Yamatake Corp | 部材同士の位置合わせ装置 |
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