JPS6261761A - 超急冷アモルファス合金薄帯の製造方法とその製造装置 - Google Patents
超急冷アモルファス合金薄帯の製造方法とその製造装置Info
- Publication number
- JPS6261761A JPS6261761A JP20067485A JP20067485A JPS6261761A JP S6261761 A JPS6261761 A JP S6261761A JP 20067485 A JP20067485 A JP 20067485A JP 20067485 A JP20067485 A JP 20067485A JP S6261761 A JPS6261761 A JP S6261761A
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- JP
- Japan
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- molten metal
- nozzle
- metal
- supply pipe
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22D—CASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
- B22D11/00—Continuous casting of metals, i.e. casting in indefinite lengths
- B22D11/06—Continuous casting of metals, i.e. casting in indefinite lengths into moulds with travelling walls, e.g. with rolls, plates, belts, caterpillars
- B22D11/0637—Accessories therefor
- B22D11/064—Accessories therefor for supplying molten metal
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Continuous Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）産業上の利用分野
本発明はアモルファス合金薄帯の製造方法盤にその製造
装置に関するものである。
装置に関するものである。
アモルファス合金薄帯装置の一つに回転冷却体と溶湯噴
出ノズルを備えた溶湯供給管と加熱炉とからなるものが
ある。該溶湯噴出ノズルは前記溶湯供給管と同軸的に配
置され溶湯供給管に装入される原料金属が溶解するまで
保持され、溶解後ガス圧により９回転冷却体に向けて安
定した溶融金属噴流を噴出させ、超急冷金属薄帯を作製
するために必要なものである。
出ノズルを備えた溶湯供給管と加熱炉とからなるものが
ある。該溶湯噴出ノズルは前記溶湯供給管と同軸的に配
置され溶湯供給管に装入される原料金属が溶解するまで
保持され、溶解後ガス圧により９回転冷却体に向けて安
定した溶融金属噴流を噴出させ、超急冷金属薄帯を作製
するために必要なものである。
（２）従来の技術
この種のアモルファス合金薄帯製造装置においては第１
図ならびに第２図の概略図に示すようにまず溶湯供給管
１に装入された原料金属２は溶湯噴出ノズル３の直上で
加熱炉４で加熱溶解された後エアピストンなど（図示せ
ず）により溶湯供給管ｌを回転冷却体５の表面直下まで
降下させ、溶湯供給管１内の溶融金属２′にアルゴン等
の不活性ガスを高圧で加え、溶融金属２′を回転冷却体
に向けて、噴出、凝固させ金属薄帯を作製する。溶湯供
給管ｌ内へは加熱による原料金属２の酸化を防ぐために
絶えず不活性ガス、例えばアルゴンガスなどを低圧で送
入している。ここで原料金属の溶解に際して下記の理由
で多孔を有する耐熱板８を配設する。そのだめに溶融金
属とノズルの先端までの距離が長くなり溶湯噴出時の溶
湯温度の低下をまねく。
図ならびに第２図の概略図に示すようにまず溶湯供給管
１に装入された原料金属２は溶湯噴出ノズル３の直上で
加熱炉４で加熱溶解された後エアピストンなど（図示せ
ず）により溶湯供給管ｌを回転冷却体５の表面直下まで
降下させ、溶湯供給管１内の溶融金属２′にアルゴン等
の不活性ガスを高圧で加え、溶融金属２′を回転冷却体
に向けて、噴出、凝固させ金属薄帯を作製する。溶湯供
給管ｌ内へは加熱による原料金属２の酸化を防ぐために
絶えず不活性ガス、例えばアルゴンガスなどを低圧で送
入している。ここで原料金属の溶解に際して下記の理由
で多孔を有する耐熱板８を配設する。そのだめに溶融金
属とノズルの先端までの距離が長くなり溶湯噴出時の溶
湯温度の低下をまねく。
また前記溶湯供給管１と同軸的に配置された溶湯噴出ノ
ズル３においては原料金属２が溶は始めるとその溶融金
属２′によってノズル３が塞がれる。
ズル３においては原料金属２が溶は始めるとその溶融金
属２′によってノズル３が塞がれる。
そのためにノズル３まで流れず先端部の溶融金属はノズ
ルより流入した空気と接触することになる。
ルより流入した空気と接触することになる。
従っテ鉄、アルミニューム、ジルコンなど酸化し易い原
料金属の溶湯はノズル先端部で酸化され。
料金属の溶湯はノズル先端部で酸化され。
溶湯の底部に酸化被膜６が形成される。前記の様な状態
でノズルから溶融金属が噴出される場合。
でノズルから溶融金属が噴出される場合。
該酸化被膜６はノズルスリット間に引っ掛かり。
目詰まりを生せしめる。その結果、溶融金属噴出流に先
割れが生じ、製造される金属薄帯に割れや穴が生じ広幅
のものは出来ない。この欠陥を除去する目的で本願出願
人は先に特公昭５７−５４２２７号「幅広非晶質金属テ
ープの製造方法及びその製造装置」に示す様な発明をし
た。即ち溶湯供給管と溶湯噴出ノズルの間に多数の孔を
有する耐熱板を配設し、これにｒ材の働きをもたせ前記
酸化被膜が耐熱板よりノズルへ流出しない様にした。
割れが生じ、製造される金属薄帯に割れや穴が生じ広幅
のものは出来ない。この欠陥を除去する目的で本願出願
人は先に特公昭５７−５４２２７号「幅広非晶質金属テ
ープの製造方法及びその製造装置」に示す様な発明をし
た。即ち溶湯供給管と溶湯噴出ノズルの間に多数の孔を
有する耐熱板を配設し、これにｒ材の働きをもたせ前記
酸化被膜が耐熱板よりノズルへ流出しない様にした。
これによって溶融金属のみ耐熱板（Ｐ材）を通過しノズ
ル先端より安定な溶融金属噴出流を噴出させることに一
部成功した。しかし溶融金属の中に酸化性の強い物質（
例えばＴｉ ＋ Ｚｒなど）が添加されている場合、上
記の空気接触面の酸化被膜の防止は困難となる。しかも
、これは積極的な酸化防止策とはならない。
ル先端より安定な溶融金属噴出流を噴出させることに一
部成功した。しかし溶融金属の中に酸化性の強い物質（
例えばＴｉ ＋ Ｚｒなど）が添加されている場合、上
記の空気接触面の酸化被膜の防止は困難となる。しかも
、これは積極的な酸化防止策とはならない。
（３）発明が解決しようとする問題点
本発明は液体超急冷法により、金属薄帯を製造するに際
し回転冷却体、噴出ノズルを備えた溶湯供給管および加
熱炉で構成される金属薄帯製造装置において多数の孔を
有する耐熱板（Ｐ材）を溶湯供給管内の溶湯噴出ノズル
の直上に配設し更に該耐熱板（Ｐ材）上で原料金属を溶
解する際の該耐熱板の配設によるノズル先端の温度低下
と空気流入による溶融金属の底辺部の酸化被膜の生成を
防ぐために炭素環を原料金属、および溶湯供給管に直接
触れない様にして上記耐熱板の下に配設しこれを原料金
属と同時に、アルゴンガス中で加熱することを特徴とす
る超急冷金属薄帯の製造方法に関するもので、噴出ノズ
ルから安定な溶融金属噴流を噴出させ、均質で良質な金
属広幅薄帯を提供する。
し回転冷却体、噴出ノズルを備えた溶湯供給管および加
熱炉で構成される金属薄帯製造装置において多数の孔を
有する耐熱板（Ｐ材）を溶湯供給管内の溶湯噴出ノズル
の直上に配設し更に該耐熱板（Ｐ材）上で原料金属を溶
解する際の該耐熱板の配設によるノズル先端の温度低下
と空気流入による溶融金属の底辺部の酸化被膜の生成を
防ぐために炭素環を原料金属、および溶湯供給管に直接
触れない様にして上記耐熱板の下に配設しこれを原料金
属と同時に、アルゴンガス中で加熱することを特徴とす
る超急冷金属薄帯の製造方法に関するもので、噴出ノズ
ルから安定な溶融金属噴流を噴出させ、均質で良質な金
属広幅薄帯を提供する。
（４）問題点を解決するための手段
本発明に用いる金属薄帯製造装置は第１図に示すように
溶湯供給管ｌ内の原料金属を溶解する際にノズル３の直
上に多数の孔を有する耐熱板８がＰ材の役目として配設
されている。また上記耐熱板の下からノズル先端までの
温度低下とノズル先端から流入する空気による溶融金属
の酸化被膜生成とを防ぐためのゲッター材として炭素環
が耐熱板下に配設される。
溶湯供給管ｌ内の原料金属を溶解する際にノズル３の直
上に多数の孔を有する耐熱板８がＰ材の役目として配設
されている。また上記耐熱板の下からノズル先端までの
温度低下とノズル先端から流入する空気による溶融金属
の酸化被膜生成とを防ぐためのゲッター材として炭素環
が耐熱板下に配設される。
該炭素環は溶融金属や炭素と反応する材質からなる溶融
供給管などに直接接触することを避けねばならない。
供給管などに直接接触することを避けねばならない。
耐熱板の孔は溶融金属がそれ自体の表面張力で保持され
る程度の大きさであればよい。
る程度の大きさであればよい。
原料金属とゲッタ材としての炭素環とがアルゴンガス中
で同時に加熱されるときノズル先端から流入する空気は
上部から流しているアルゴンガス熱され混入する空気中
の酸素７炭酸ガスとする。
で同時に加熱されるときノズル先端から流入する空気は
上部から流しているアルゴンガス熱され混入する空気中
の酸素７炭酸ガスとする。
その炭酸ガスは耐熱材（Ｐ材）とノズル先端までの空間
に充満する。更に余分に発生した炭酸ガスはノズルを通
して外部へ流出する。ノズル先端から流入する空気中の
酸素は溶融金属に接触する前にゲッター材と燃焼反応し
、炭酸ガスとなり溶融金属の酸化被膜生成を防ぐことが
出来る。
に充満する。更に余分に発生した炭酸ガスはノズルを通
して外部へ流出する。ノズル先端から流入する空気中の
酸素は溶融金属に接触する前にゲッター材と燃焼反応し
、炭酸ガスとなり溶融金属の酸化被膜生成を防ぐことが
出来る。
（５）作用
以上の様にゲッターとして炭素環を耐熱板（Ｆ材）の下
に配設することによってノズルが目づまりすることなく
溶融金属を円滑な渦流れの下に。
に配設することによってノズルが目づまりすることなく
溶融金属を円滑な渦流れの下に。
ノズルの先端から冷却回転に向けて噴出させることが出
来る。
来る。
（６）実施例
原料金属２としてＦｅ 、５１２Ｎ１１６ ＺｒＭｏ
２ｓ Ｉ ＢＢ １２を成分とする母合金５００．９を
前記供給管１の多数の孔を有する耐熱板８．４５φＸＩ
Ｏ■上に装入した。
２ｓ Ｉ ＢＢ １２を成分とする母合金５００．９を
前記供給管１の多数の孔を有する耐熱板８．４５φＸＩ
Ｏ■上に装入した。
なお、前記耐熱板８はアルミナ製で１．Ｏφ−の多前記
供給管内の原料金属２の酸化を防ぐためにアルゴンガス
を２０ ＣＯ／ ｍｉｎの速度で流しながら高周波加熱
炉４で１２００℃まで加熱して原料金属を溶解しそれと
同時に炭素環をも加熱した。
供給管内の原料金属２の酸化を防ぐためにアルゴンガス
を２０ ＣＯ／ ｍｉｎの速度で流しながら高周波加熱
炉４で１２００℃まで加熱して原料金属を溶解しそれと
同時に炭素環をも加熱した。
原料金属が完全に溶融した後に、供給管１が降下され前
記ノズル３を回転冷却体５に対抗させる所定の位置（回
転冷却体５の円周表面部とノズル先端部との間隙は約０
．１ ＋ｍ ）まで降下させ、供給管１内の溶融金属に
アルゴンガスで圧力を加えて溶融金属を耐熱板（Ｐ材）
８中を通過させ、ノズル３から高速回転（周速２０ｍ／
秒）している回転冷却体５上に向けて噴出させた。この
とき溶融金属の噴出状況は極めて滑らかであった。
記ノズル３を回転冷却体５に対抗させる所定の位置（回
転冷却体５の円周表面部とノズル先端部との間隙は約０
．１ ＋ｍ ）まで降下させ、供給管１内の溶融金属に
アルゴンガスで圧力を加えて溶融金属を耐熱板（Ｐ材）
８中を通過させ、ノズル３から高速回転（周速２０ｍ／
秒）している回転冷却体５上に向けて噴出させた。この
とき溶融金属の噴出状況は極めて滑らかであった。
以上の様にして作られたＦｅ ６２Ｎ１ 、ｂ （Ｚｒ
Ｍｏ ） ２Ｓ ’８Ｂ１２合金薄帯は幅５０閣厚さ０
．０２０■でその表面平坦度は±１．０μｍの均質で良
質の広幅アモルファス合金薄帯であった。
Ｍｏ ） ２Ｓ ’８Ｂ１２合金薄帯は幅５０閣厚さ０
．０２０■でその表面平坦度は±１．０μｍの均質で良
質の広幅アモルファス合金薄帯であった。
なお前記広幅アモルファス合金薄帯を製造した後で使用
した耐熱板（Ｐ材）に、ノロ（スラグ）６などは全て引
り掛かシノズルのノロによる汚れは殆んど認められなか
った。またゲッター用の炭素環の消耗は稀かであった。
した耐熱板（Ｐ材）に、ノロ（スラグ）６などは全て引
り掛かシノズルのノロによる汚れは殆んど認められなか
った。またゲッター用の炭素環の消耗は稀かであった。
耐熱板に引っ掛ったノロ（スラ・ゾ）７は原料金属が加
熱されたときに生じた酸化物などである。これは溶融状
態では溶湯の上部に浮くものであり広幅薄帯製造の際の
ノズルの目詰まりの直接原因とはならない。
熱されたときに生じた酸化物などである。これは溶融状
態では溶湯の上部に浮くものであり広幅薄帯製造の際の
ノズルの目詰まりの直接原因とはならない。
本実験に使用したノズルの材質と形状は石英ガラスで０
．３Ｘ５０＋ｍの長方形である。
．３Ｘ５０＋ｍの長方形である。
前記と同じ成分組成を有する原料金属で前記と同じ製造
方法を用いてノズルの使用可能な回数を調べた結果、同
一ノズルで酸化し易いＺｒ添加溶融金属を１０回吹出し
てもなお安定して良質の広幅アモルファス合金薄帯を作
ることが可能であった〇只し耐熱板（Ｐ材）はノロ（ス
ラグ）で汚れるので数回に一回位いの割合で、取りはづ
し洗浄しなければならない。炭素環は殆んど消耗せず十
回は十分使用できた。勿論ノズル先端部を酸化性雰囲気
から保護するためのケ゛ツター用炭素環を用いない場合
には、前記ノズルからの溶融金属特にＺｒなどの酸化し
易い金属が含まれる際の噴出流は安定せずノロ（スラグ
）４によるスリット目詰まりによる割れや孔が生じ殆ん
ど完全な広幅薄帯とはならなかった。
方法を用いてノズルの使用可能な回数を調べた結果、同
一ノズルで酸化し易いＺｒ添加溶融金属を１０回吹出し
てもなお安定して良質の広幅アモルファス合金薄帯を作
ることが可能であった〇只し耐熱板（Ｐ材）はノロ（ス
ラグ）で汚れるので数回に一回位いの割合で、取りはづ
し洗浄しなければならない。炭素環は殆んど消耗せず十
回は十分使用できた。勿論ノズル先端部を酸化性雰囲気
から保護するためのケ゛ツター用炭素環を用いない場合
には、前記ノズルからの溶融金属特にＺｒなどの酸化し
易い金属が含まれる際の噴出流は安定せずノロ（スラグ
）４によるスリット目詰まりによる割れや孔が生じ殆ん
ど完全な広幅薄帯とはならなかった。
第１図は従来のこの種金属薄帯の製造装置の断面を示し
、１は溶湯供給管で２はその中に投入された原料金属、
２′は溶融された金属、３は前記供給管の底部に突出し
たノズル、４は高周波Ｆ、５は前記ノズルの直下に且つ
これに近接して設けられた回転冷却体、６は酸化皮膜、
７は原料金属などの浮上ノロ（スラグ）、８は多数の孔
を有するｒ材としての耐熱板、１０は酸化皮膜ノロ生成
の原因となるノズルの先端から流入する空気、１１はデ
ノターとしての炭素環を示す。また第２図はノズルの先
端から流入する空気中の酸素が溶融金属と接触し酸化被
膜が生成され溶融金属が噴出する際にノズルの目づまり
９を生せしめる様子を示す。また第１図右方の線図は原
料金属が加熱溶融され溶湯となってノズルから回転冷却
体に噴出されるまでの位置と温度を示す。第３図は本発
明に図と同じである。
、１は溶湯供給管で２はその中に投入された原料金属、
２′は溶融された金属、３は前記供給管の底部に突出し
たノズル、４は高周波Ｆ、５は前記ノズルの直下に且つ
これに近接して設けられた回転冷却体、６は酸化皮膜、
７は原料金属などの浮上ノロ（スラグ）、８は多数の孔
を有するｒ材としての耐熱板、１０は酸化皮膜ノロ生成
の原因となるノズルの先端から流入する空気、１１はデ
ノターとしての炭素環を示す。また第２図はノズルの先
端から流入する空気中の酸素が溶融金属と接触し酸化被
膜が生成され溶融金属が噴出する際にノズルの目づまり
９を生せしめる様子を示す。また第１図右方の線図は原
料金属が加熱溶融され溶湯となってノズルから回転冷却
体に噴出されるまでの位置と温度を示す。第３図は本発
明に図と同じである。
（６）発明の効果
以上で述べた様に多孔を有する耐熱板（Ｐ材）と炭素環
をノズル直上に配置し、原料金属を該耐熱板（Ｐ材）上
で溶解することにより、溶融金属噴出ノズル形状を損う
ことなくまた安定した一定の溶融金属を大気中で噴出さ
せることを可能とした。これにより形状及び表面平坦度
の優れた良質の広幅金属テープ製造を容易に得ることが
出来る様になった。
をノズル直上に配置し、原料金属を該耐熱板（Ｐ材）上
で溶解することにより、溶融金属噴出ノズル形状を損う
ことなくまた安定した一定の溶融金属を大気中で噴出さ
せることを可能とした。これにより形状及び表面平坦度
の優れた良質の広幅金属テープ製造を容易に得ることが
出来る様になった。
本発明によればＺｒなどの酸化し易い材料についても大
気中での広幅のアモルファス合金薄帯の製造が容易とな
った。
気中での広幅のアモルファス合金薄帯の製造が容易とな
った。
第１図は従来用いられていた金属薄帯製造装置の一部の
概略断面図。 第２図はノズル先端よシ流入する空気中の酸素が溶融金
属と接触し酸化被膜が生成され、溶融金属の噴出の際に
、ノズルに目詰まりを生じせしめる様子を示す。 第３図は本発明によるアモルファス合金薄帯製造装置盤
にそのノズル周辺の概略断面図である。 図において １・・・溶湯供給管、２・・・原料金属、２′・・・溶
融金属。 ３・・・ノズル、４・・・高周波炉、５・・・回転冷却
体、６・・・酸化被膜、ノロ（スラグ）、７・・・原料
金属などの浮上ノロ（スラグ）、８・・・耐熱板（Ｐ材
）、９・・・耐熱板（Ｐ材）より通り抜けたノロ（スラ
グ）のノズル中の目詰まりの様子、１０・・・ノズル先
端より流入する空気（酸化被膜、ノロ生成の原因χ炭酸
ガスの充満する空間、１１・・・ゲッター用炭素環Ｏ 第３図
概略断面図。 第２図はノズル先端よシ流入する空気中の酸素が溶融金
属と接触し酸化被膜が生成され、溶融金属の噴出の際に
、ノズルに目詰まりを生じせしめる様子を示す。 第３図は本発明によるアモルファス合金薄帯製造装置盤
にそのノズル周辺の概略断面図である。 図において １・・・溶湯供給管、２・・・原料金属、２′・・・溶
融金属。 ３・・・ノズル、４・・・高周波炉、５・・・回転冷却
体、６・・・酸化被膜、ノロ（スラグ）、７・・・原料
金属などの浮上ノロ（スラグ）、８・・・耐熱板（Ｐ材
）、９・・・耐熱板（Ｐ材）より通り抜けたノロ（スラ
グ）のノズル中の目詰まりの様子、１０・・・ノズル先
端より流入する空気（酸化被膜、ノロ生成の原因χ炭酸
ガスの充満する空間、１１・・・ゲッター用炭素環Ｏ 第３図
Claims (2)
- （１）溶湯噴出ノズルを具備した溶湯供給管内で原料金
属を加熱溶解し、不活性ガスで加圧して前記噴出ノズル
より回転冷却体に溶湯を噴出させる液体急冷法によるア
モルファス合金薄帯の製造方法において、前記溶湯供給
管底部に設けた溶湯噴出ノズルの直上に多数の孔を有す
る耐熱板を配置し、更に該耐熱板の下に炭素環を溶湯お
よび溶湯供給管に直接触れないようにして挿入し、高周
波炉で前記炭素環を加熱することによってノズル先端の
温度低下を防止し、且つその一部を燃焼させることによ
ってゲッターの働をもたせ溶湯の酸化を防止させること
を特徴とする超急冷アモルファス合金薄帯の製造方法。 - （２）原料金属を溶解する溶湯供給管の底面に設けたノ
ズルと、該ノズルの先端に近接して配置された回転冷却
体よりなり、前記溶湯供給管内に且つ前記ノズルの直上
に多数の孔を有するろ材としての耐熱板を設けると共に
該耐熱板の下に溶融金属の酸化を防止するゲッターを溶
湯および溶湯供給管に直接触れない位置に配設すること
を特徴とする超急冷アモルファス合金薄帯の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20067485A JPS6261761A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 超急冷アモルファス合金薄帯の製造方法とその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20067485A JPS6261761A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 超急冷アモルファス合金薄帯の製造方法とその製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6261761A true JPS6261761A (ja) | 1987-03-18 |
| JPH0377025B2 JPH0377025B2 (ja) | 1991-12-09 |
Family
ID=16428351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20067485A Granted JPS6261761A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 超急冷アモルファス合金薄帯の製造方法とその製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6261761A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013058220A1 (ja) | 2011-10-20 | 2013-04-25 | 三菱重工業株式会社 | 動翼支持構造 |
| WO2017098667A1 (ja) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット生成装置、及び、極端紫外光生成装置 |
| CN119304139A (zh) * | 2024-12-19 | 2025-01-14 | 河北科技大学 | 用于生产非晶薄带的压力甩带装置及压力甩带的控制方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS563640A (en) * | 1979-06-25 | 1981-01-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of amorphous alloy |
-
1985
- 1985-09-12 JP JP20067485A patent/JPS6261761A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS563640A (en) * | 1979-06-25 | 1981-01-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of amorphous alloy |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013058220A1 (ja) | 2011-10-20 | 2013-04-25 | 三菱重工業株式会社 | 動翼支持構造 |
| KR20140068040A (ko) | 2011-10-20 | 2014-06-05 | 미츠비시 히타치 파워 시스템즈 가부시키가이샤 | 동익 지지 구조체 |
| WO2017098667A1 (ja) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット生成装置、及び、極端紫外光生成装置 |
| CN119304139A (zh) * | 2024-12-19 | 2025-01-14 | 河北科技大学 | 用于生产非晶薄带的压力甩带装置及压力甩带的控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0377025B2 (ja) | 1991-12-09 |
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