JPS6276536U - - Google Patents

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JPS6276536U
JPS6276536U JP16859185U JP16859185U JPS6276536U JP S6276536 U JPS6276536 U JP S6276536U JP 16859185 U JP16859185 U JP 16859185U JP 16859185 U JP16859185 U JP 16859185U JP S6276536 U JPS6276536 U JP S6276536U
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JP
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semiconductor wafer
optical system
electrical signal
onto
light
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JP16859185U
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る検査装置の概略側面図、
第２図は第１図の一部の部分拡大図を含む平面図
、第３図乃至第５図は第１図の装置によるウエー
ハ表面検査の動作原理を説明するためのもので、
第３図はウエーハ平面図、第４図はウエーハ拡大
断面図、第５図は光学系の出力波形図である。 １…半導体ウエーハ、２…半導体チツプ、３…
光学系、４…画像認識処理部、５…駆動制御部、
７…光線、１１，１３…ウエーハ表面の平坦部分
（スクライブライン、素子周縁部）。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハの表面に光を照射し、その反射
    光を受光して電気信号に変換する光学系と、 光学系からの電気信号に基づき半導体ウエーハ
    表面の画像を認識処理する画像認識処理部と、 光学系の半導体ウエーハへの照射光が半導体ウ
    エーハ表面の平坦部分を選択的に走査するように
    光学系と半導体ウエーハを相対移動させる駆動制
    御部とを具備したことを特徴とする半導体ウエー
    ハ表面検査装置。
JP16859185U 1985-10-31 1985-10-31 Pending JPS6276536U (ja)

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JP16859185U JPS6276536U (ja) 1985-10-31 1985-10-31

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JPS6276536U true JPS6276536U (ja) 1987-05-16

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ID=31101608

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JP16859185U Pending JPS6276536U (ja) 1985-10-31 1985-10-31

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