JPS63145106U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63145106U JPS63145106U JP3798887U JP3798887U JPS63145106U JP S63145106 U JPS63145106 U JP S63145106U JP 3798887 U JP3798887 U JP 3798887U JP 3798887 U JP3798887 U JP 3798887U JP S63145106 U JPS63145106 U JP S63145106U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- electrical signal
- pattern
- receiving
- test pattern
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の原理説明図、第２図は本考案
の実施例構成図、第３図は回転板の上面図、第４
図はラインセンサの配置図、第５図及び第６図は
動作説明図である。 １；光学手段、２；信号出力手段、２ａ，２ｂ
；ラインセンサ、３；ピツチ検出手段、４；被検
パターン、５；乳白色スクリーン、６；同期回路
、３１；Ａ／Ｄコンバータ、３２；フレームメモ
リ、３３；ピーク及びピツチ検出手段、３４；変
形度判定回路。
の実施例構成図、第３図は回転板の上面図、第４
図はラインセンサの配置図、第５図及び第６図は
動作説明図である。 １；光学手段、２；信号出力手段、２ａ，２ｂ
；ラインセンサ、３；ピツチ検出手段、４；被検
パターン、５；乳白色スクリーン、６；同期回路
、３１；Ａ／Ｄコンバータ、３２；フレームメモ
リ、３３；ピーク及びピツチ検出手段、３４；変
形度判定回路。
Claims (1)
- 第１の光路及び第２の光路を通る光ビームがそ
れぞれ被検パターンの異なる部位を照射すべく、
前記第１の光路及び第２の光路を形成する光学手
段１と、前記第１の光路及び第２の光路を通る光
ビームにより照射されて得られる被検パターンの
投影像を受け、該投影像に対応した電気信号を出
力する手段２と、前記電気信号出力手段２の出力
を受け、前記被検パターンのピツチを検出する手
段３とを備えたことを特徴とするパターン検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3798887U JPS63145106U (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3798887U JPS63145106U (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63145106U true JPS63145106U (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=30849812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3798887U Pending JPS63145106U (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63145106U (ja) |
-
1987
- 1987-03-16 JP JP3798887U patent/JPS63145106U/ja active Pending
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