JPS6286515A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6286515A JPS6286515A JP22674885A JP22674885A JPS6286515A JP S6286515 A JPS6286515 A JP S6286515A JP 22674885 A JP22674885 A JP 22674885A JP 22674885 A JP22674885 A JP 22674885A JP S6286515 A JPS6286515 A JP S6286515A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- thin film
- magnetic head
- gap
- film magnetic
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- Pending
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3143—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、 Ｖ’ｒＲ等に使用される磁気ヘッドに係り
、特に、長寿命でかつ高信頼の記録再生特性の実現に好
適な薄膜磁気ヘッドに関する。
、特に、長寿命でかつ高信頼の記録再生特性の実現に好
適な薄膜磁気ヘッドに関する。
従来の薄膜磁気ヘッドは、特開昭５５−８７５２ｉ％号
公報和記載の構造が一゛般的である。つまり、磁気コア
となる磁性層が高々５μ罵以下であり、との膜厚で記録
再生を行うためには、記録能力の低下を防ぐ為ギヤツブ
深さが５μ痛以下の値となるのが一般的である。上記の
従来薄膜磁気ヘッドを、ハードディスク等の７０−ティ
ング方式（記録媒体とヘッド間にスペース有）で使用す
る場合にはさほど問題とならないが、ＶＴＲ等の様にコ
ンタクト方式（記録媒体とヘッドが接触）に使用する場
合には、ギャップ深さが５μ島以下と小さいためにヘッ
ドの摩耗寿命が短いという問題が生ずる。
公報和記載の構造が一゛般的である。つまり、磁気コア
となる磁性層が高々５μ罵以下であり、との膜厚で記録
再生を行うためには、記録能力の低下を防ぐ為ギヤツブ
深さが５μ痛以下の値となるのが一般的である。上記の
従来薄膜磁気ヘッドを、ハードディスク等の７０−ティ
ング方式（記録媒体とヘッド間にスペース有）で使用す
る場合にはさほど問題とならないが、ＶＴＲ等の様にコ
ンタクト方式（記録媒体とヘッドが接触）に使用する場
合には、ギャップ深さが５μ島以下と小さいためにヘッ
ドの摩耗寿命が短いという問題が生ずる。
また、一方では、上記ギャップ深さを大きくする目的で
、磁束の絞り効率を高めるために、特開昭５５−８７５
２５号公報の第２図Ｐ、、Ｐ、に示される如く、巻線１
４部の領域で、ｐ、、ｐ、のコアを広げる試みがなされ
ているが、ギャップ深さを決定するギャップ近傍のコア
では充分な磁束絞りが計れておらず（磁束絞りコア形状
とするとヘッド摩耗によりトラック幅が変化する）、大
きなギャップ深さを実現するに至りてぃない。
、磁束の絞り効率を高めるために、特開昭５５−８７５
２５号公報の第２図Ｐ、、Ｐ、に示される如く、巻線１
４部の領域で、ｐ、、ｐ、のコアを広げる試みがなされ
ているが、ギャップ深さを決定するギャップ近傍のコア
では充分な磁束絞りが計れておらず（磁束絞りコア形状
とするとヘッド摩耗によりトラック幅が変化する）、大
きなギャップ深さを実現するに至りてぃない。
本発明の目的は、ギャップ近傍において磁束絞りを効果
的に行い、長寿命でかつ高信頼のζ碌再生特性を実現す
る薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
的に行い、長寿命でかつ高信頼のζ碌再生特性を実現す
る薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明の特徴は、コアのヘッド摺動面形状を下部コアは
ギャップ面より離れるに従い広り鷺る略（の字状コア、
上部コアは同じくギャップ面より離れるに従い広くなる
扇状コアとし、ギャップ近傍において薄膜コアの膜厚方
向に磁束の絞り効果を持たせ、さらに磁性基板を用いる
事により上記の効果をさらに改善し、該コアを多層構造
とじ該層間材面及び下部コアと磁性基板の境界面をギャ
ップ面と非平行となる様に構成し、渦電流損失及びコン
タ−効果を低減したことにある。
ギャップ面より離れるに従い広り鷺る略（の字状コア、
上部コアは同じくギャップ面より離れるに従い広くなる
扇状コアとし、ギャップ近傍において薄膜コアの膜厚方
向に磁束の絞り効果を持たせ、さらに磁性基板を用いる
事により上記の効果をさらに改善し、該コアを多層構造
とじ該層間材面及び下部コアと磁性基板の境界面をギャ
ップ面と非平行となる様に構成し、渦電流損失及びコン
タ−効果を低減したことにある。
以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
第１図は本発明の第１の実施例である薄膜磁気ヘッドの
摺動面を示す図、第２図は第１図のＡ −Ａ＝断面図で
ある。同図に於て１はくの字状突起を有する磁性基板、
２，２α、２４，２ａは多層の軟磁性膜による下部コア
、５α、５ｂは層間材層、４は非磁性の埋込み材、５は
ギャップ長を規制するだめのギャップ材、８は非磁性の
層間材、６６ａ、６ｈ、ｂｅ は多層の軟磁性膜によ
る上部コア、７ａ、７には層間材、９は保護膜、１０は
保護板、１１は薄膜コイルである。
摺動面を示す図、第２図は第１図のＡ −Ａ＝断面図で
ある。同図に於て１はくの字状突起を有する磁性基板、
２，２α、２４，２ａは多層の軟磁性膜による下部コア
、５α、５ｂは層間材層、４は非磁性の埋込み材、５は
ギャップ長を規制するだめのギャップ材、８は非磁性の
層間材、６６ａ、６ｈ、ｂｅ は多層の軟磁性膜によ
る上部コア、７ａ、７には層間材、９は保護膜、１０は
保護板、１１は薄膜コイルである。
この様に、上部コア６をギヤ′ツブ材５より離れるに従
いコア幅が広がる扇状とし、膜厚方向に磁束の絞り効果
を持たせたこと、また、下部コア２をくの字状コアとし
磁性基板１の突起の両＠面より磁束が絞られる様に構成
したことにより、ギャップ５におけるギャップ磁界を高
め記録能力を向上させることができる。従来薄膜磁気ヘ
ッドに於ては、ギャップ近傍に於て有鵜に磁束の絞り効
果を持たせることができず、結果としてギャップ深さが
高々５μ隅となりヘッド摩耗寿命が短いという問題があ
ったが、本発明の実施例では、記録能力が向上したこと
により、ギャップ深さを太き（とれることになり、ヘッ
ド摩耗寿命が格段と向上する。
いコア幅が広がる扇状とし、膜厚方向に磁束の絞り効果
を持たせたこと、また、下部コア２をくの字状コアとし
磁性基板１の突起の両＠面より磁束が絞られる様に構成
したことにより、ギャップ５におけるギャップ磁界を高
め記録能力を向上させることができる。従来薄膜磁気ヘ
ッドに於ては、ギャップ近傍に於て有鵜に磁束の絞り効
果を持たせることができず、結果としてギャップ深さが
高々５μ隅となりヘッド摩耗寿命が短いという問題があ
ったが、本発明の実施例では、記録能力が向上したこと
により、ギャップ深さを太き（とれることになり、ヘッ
ド摩耗寿命が格段と向上する。
また、下部コア２および上部コア６を多層構造とし、か
つ、層間材５α、５ｂをくの字状、層間材７ａ、７４を
上部コア６の上端面と平行に扇状とすること罠より、高
周波領域に使用する場合の渦電流損失を低減することが
できるとともに、各層間材５ａ、５ｂ、７ａ、７ｈ及び
下部コアと磁性基板の境界面がギャップ５面に対して非
平行となるので、各層間材及び境界面が擬似磁気ギャッ
プとなり擬似信号を再生するいわゆるコンタ−効果をア
ジマス損失により低減することができる。
つ、層間材５α、５ｂをくの字状、層間材７ａ、７４を
上部コア６の上端面と平行に扇状とすること罠より、高
周波領域に使用する場合の渦電流損失を低減することが
できるとともに、各層間材５ａ、５ｂ、７ａ、７ｈ及び
下部コアと磁性基板の境界面がギャップ５面に対して非
平行となるので、各層間材及び境界面が擬似磁気ギャッ
プとなり擬似信号を再生するいわゆるコンタ−効果をア
ジマス損失により低減することができる。
更には、比較的摩耗しやすいコア材２，６を、記録媒体
の走行方向に対して、摩耗しにくい材質の１．１０で補
強してコア材と磁性基板間の偏摩耗が少なくかつ摩耗寿
命を長くすることができる。
の走行方向に対して、摩耗しにくい材質の１．１０で補
強してコア材と磁性基板間の偏摩耗が少なくかつ摩耗寿
命を長くすることができる。
第５図、第４図、第５図及び第６図は、本発明の第２．
第５ 、＠４及び第５の実施例である薄膜磁気ヘッドの
摺動面を示す面である。第５図の第２の実施例では、下
部コア２がヘッド瑠動面の全幅りより小さいコア幅とな
る様構成し、第４図の第５の実施例では、下部コア２が
下に凸で曲面となる両端面の突起を有する磁性基返１上
に形成しており、第５図の第４の実施例では、下部コア
２が上に凸で曲面となる両端面の突起を有する磁性基板
１上に形成している。
第５ 、＠４及び第５の実施例である薄膜磁気ヘッドの
摺動面を示す面である。第５図の第２の実施例では、下
部コア２がヘッド瑠動面の全幅りより小さいコア幅とな
る様構成し、第４図の第５の実施例では、下部コア２が
下に凸で曲面となる両端面の突起を有する磁性基返１上
に形成しており、第５図の第４の実施例では、下部コア
２が上に凸で曲面となる両端面の突起を有する磁性基板
１上に形成している。
この様にＩＩＩ成した各実施例に於ても、第１の実施例
で示したと同等の効果が得られる。
で示したと同等の効果が得られる。
以下、本発明の第１の実施例について具体的な製造法に
ついて第６図を用いて説明する。第６図（α）において
、フェライト等の磁性基板１上に機械加工、あるいはエ
ツチング等により略くの字状の突起を形成する。図では
、突起形状が直線的になっているが、第４図、第５図に
示す様に上下に曲線状であってもかまわない。
ついて第６図を用いて説明する。第６図（α）において
、フェライト等の磁性基板１上に機械加工、あるいはエ
ツチング等により略くの字状の突起を形成する。図では
、突起形状が直線的になっているが、第４図、第５図に
示す様に上下に曲線状であってもかまわない。
次に（ｈ）では、センダスト、またはアモルファス合金
等の軟磁性１ｆ４２を、層間材とＳｉｎ、。
等の軟磁性１ｆ４２を、層間材とＳｉｎ、。
Ａｌ２Ｏ２等とともに積層する。合計の膜厚としては、
約３０μｍであり、層数は本実施例では５層となってい
るが、使用周波数帯域によって層数な変えてもかまわな
い。（Ｃ）では非ｍ＠体４として薄膜を形成するかある
いは低融点ガラス等をぽかし込んだ後に、ラップ等の手
法により平担化する。この時、下部コア２の基板１に露
出するコア幅がトラック幅程度となる様にラップ亀を制
御する。（ｄ）では、ギャップ長を規制するためのギャ
ップ材５で形成し、図では省略したが、第２図に示す様
に薄膜コイル１１及び層間絶縁膜８を形成し、更に、（
ｄ） Ｋ示す様に層間絶縁ｇ８のギャップ部を角度α１
でテーバエツチングする。テーバ角α１は大きくなり過
ぎると上に形成する上部コア６ａの膜特性を劣化させ、
また小さくなり過ぎると、上部、下部コア間のフリンジ
ング磁界が増大し記録再生特性を阻害することから α、くα、かつ α、＋α、≧６０度 の条件を満たす角度α１．偽が選ばれる。（り及びＣｆ
）では、上部コア６αを形成した後、マスク材１２を略
円弧状にバターニングし、イオンミリング等の手法によ
り上記マスク材１２の円弧状を上部コア６ａに転写させ
る。（！Ｉ）では、層間材７ａ７ｂ及び上部コア６ｂ、
６ｃを順次積層する。（Ａ）では、層間材Ｂ上の余分の
上部＝７６ｂ、ｅｓｃを、エツチングにより取り除く。
約３０μｍであり、層数は本実施例では５層となってい
るが、使用周波数帯域によって層数な変えてもかまわな
い。（Ｃ）では非ｍ＠体４として薄膜を形成するかある
いは低融点ガラス等をぽかし込んだ後に、ラップ等の手
法により平担化する。この時、下部コア２の基板１に露
出するコア幅がトラック幅程度となる様にラップ亀を制
御する。（ｄ）では、ギャップ長を規制するためのギャ
ップ材５で形成し、図では省略したが、第２図に示す様
に薄膜コイル１１及び層間絶縁膜８を形成し、更に、（
ｄ） Ｋ示す様に層間絶縁ｇ８のギャップ部を角度α１
でテーバエツチングする。テーバ角α１は大きくなり過
ぎると上に形成する上部コア６ａの膜特性を劣化させ、
また小さくなり過ぎると、上部、下部コア間のフリンジ
ング磁界が増大し記録再生特性を阻害することから α、くα、かつ α、＋α、≧６０度 の条件を満たす角度α１．偽が選ばれる。（り及びＣｆ
）では、上部コア６αを形成した後、マスク材１２を略
円弧状にバターニングし、イオンミリング等の手法によ
り上記マスク材１２の円弧状を上部コア６ａに転写させ
る。（！Ｉ）では、層間材７ａ７ｂ及び上部コア６ｂ、
６ｃを順次積層する。（Ａ）では、層間材Ｂ上の余分の
上部＝７６ｂ、ｅｓｃを、エツチングにより取り除く。
（ｉ）では、保護！ＩＩ＆９を形成した後平坦化し、更
に、保護板１ｏを接攬し、ヘッド摺動面を機械加工等に
より整形すれば第１図、第２図に示した本発明の第１の
実施例である薄ａｍ気ヘッドが得られる。他の実施例も
、はぼ同様の製造法で作製できる。
に、保護板１ｏを接攬し、ヘッド摺動面を機械加工等に
より整形すれば第１図、第２図に示した本発明の第１の
実施例である薄ａｍ気ヘッドが得られる。他の実施例も
、はぼ同様の製造法で作製できる。
本発明によれば、コアのヘッド摺動面形状を下部コアは
ギャップ面より離れるに従い広くなる略（の字状コア、
上部コアは同じ（ギャップ面より離れるに従い広（なる
扇状コアとし、ギャップ近傍において薄膜コアの膜厚方
向に出来の絞り効果を持たせ、さらに磁性基板を用いる
事により上記の絞り効果を一層改善し、該コアを多層構
造とし該層間材面及び下部コアと磁性基板の境界面をギ
ャップ面と非平行となる様に構成し、渦電流損失及びコ
ンタ−効果を低減したことにより、長寿命でかつ高信頼
の記録特性を実現する薄膜磁気ヘッドが得られる。
ギャップ面より離れるに従い広くなる略（の字状コア、
上部コアは同じ（ギャップ面より離れるに従い広（なる
扇状コアとし、ギャップ近傍において薄膜コアの膜厚方
向に出来の絞り効果を持たせ、さらに磁性基板を用いる
事により上記の絞り効果を一層改善し、該コアを多層構
造とし該層間材面及び下部コアと磁性基板の境界面をギ
ャップ面と非平行となる様に構成し、渦電流損失及びコ
ンタ−効果を低減したことにより、長寿命でかつ高信頼
の記録特性を実現する薄膜磁気ヘッドが得られる。
第１図は本発明の第１の実施例である薄膜磁気ヘッドの
摺動面を示す図、第２図は第１図のＡ −Ａ＝断面図、
第５図、第４図、第５図は本発明の第２．第５．第４の
実施例である、薄膜磁気ヘッドの摺動面をなす図、第６
図（α）〜（＆）は本発明の製造方法を示す工程図であ
る。 １・・・磁性基板 ２ｅ２ａ＊２ｈｍ２ｃｍＴ 部コア ６．６α、６ｈ、６ｅ・・・上部コア ５ａ、５に、７ａ、７４ ・・・層間材１１・・・薄膜
コイル 第１ 図 「Ａ 第３図 葛生図
摺動面を示す図、第２図は第１図のＡ −Ａ＝断面図、
第５図、第４図、第５図は本発明の第２．第５．第４の
実施例である、薄膜磁気ヘッドの摺動面をなす図、第６
図（α）〜（＆）は本発明の製造方法を示す工程図であ
る。 １・・・磁性基板 ２ｅ２ａ＊２ｈｍ２ｃｍＴ 部コア ６．６α、６ｈ、６ｅ・・・上部コア ５ａ、５に、７ａ、７４ ・・・層間材１１・・・薄膜
コイル 第１ 図 「Ａ 第３図 葛生図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁性基板上に、下部コア、ギャップ材、コイル、上
部コア等の薄膜を積層してなる磁気ヘッドに於て、該下
部コアの少なくもヘッド摺動面形状が該ギャップ材面か
ら離れるに従い広がる略くの字状コアで、該上部コアの
ヘッド摺動面形状を該ギャップ材面より離れるに従い広
くなる扇状コアとしたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド
。 ２、前記下部コアおよび上部コアが多層構造であり、該
下部コアの層間材が、くの字状下部コアと磁性基板境界
面と平行で、該上部コアの層間材面が扇状上部コア上端
面と平行でかつ上記の層間材面及び境界面のいずれも、
ギャップ材面と非平行となる様構成したことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド。 ３、前記上部コア側面端とギャップ材面のなす角度をα
＿１、該下部コア側面端とギャップ材面のなす角度をα
＿２とした時 α＿２＞α＿１、かつ、α＿２＋α＿１≧６０度の関係
式を満たすα＿１、α＿２としたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22674885A JPS6286515A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 薄膜磁気ヘツド |
| DE86114142T DE3689534T2 (de) | 1985-10-14 | 1986-10-13 | Dünnschichtmagnetkopf. |
| EP86114142A EP0222183B1 (en) | 1985-10-14 | 1986-10-13 | Thin film magnetic head |
| US06/918,338 US4799118A (en) | 1985-10-14 | 1986-10-14 | Thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22674885A JPS6286515A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6286515A true JPS6286515A (ja) | 1987-04-21 |
Family
ID=16849990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22674885A Pending JPS6286515A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6286515A (ja) |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP22674885A patent/JPS6286515A/ja active Pending
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