JPS6288600A - 超高圧水加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超高圧水をノズルから非金属材料の被加工面
に噴射して、切断、切削、穿孔または樹脂成形時に生ず
るばつの取除き等の加工を行う超高圧水加工装置に関す
るものである。

〔従来の技術〕

従来、特公昭５７−２２６９２号公報に示されるように
、超高圧水を被加工面に噴射して加工を行う超高圧水加
工装置として、ノズルを偏心回転させて、超高圧水によ
る加工範囲の拡大を図るようにしたものがある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、この従来の装置は、ノズル自体を偏心回転する
のみであるから、その加工範囲は円形に拡大するだけで
あり、したがって、この装置を長尺の被加工面に対して
使用した場合は、ノズルから集中噴射される超高圧水を
被加工面の全面にむらなく噴射することができない。

本発明は、このような点に鑑みなされたもので、被加工
物の全面にむらなく超高圧水を噴射できる超高圧水加工
装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するｌζめの手段〕

本発明は、超高圧水をノズル６３から被加工面に噴射し
て加工を行う超高圧水加工装置に関するもので、第１案
内体１２に進退駆動機構１５にて被加工面に対し平行に
活動される第１摺動体１３を摺動自在に嵌着し、この第
１摺動体１３にこの第１摺動体の鷹動方向に対し直交す
る方向の第２案内体４２を設け、この第２案内休４２に
第２摺動体４３を活動自在に嵌着し、この第２摺動体４
３に対し第２案内体方向の振動を付与する加振機構５１
を設け、前記第２摺動体４３にノズル取付部６２を介し
てノズル６３を設けたものである。

〔作用〕

本発明は、前記ノズル６３を、前記進退駆動機構１５に
より往復移動しながら、前記加振機構５１により直交方
向に振動させることにより、前記ノズル６３から噴出さ
れる超高圧水を被加工面の全面にわたって噴射させる。

〔実施例］ 以下、本発明を図面に示す一実施例を参照して詳細に説
明する。

第１図に示すように、上段部と下段部とに相互に支持フ
レーム１０により固定されたベース１１をそれぞれ設け
、この上下のベース１１上にそれぞれ次の超高圧水加工
Ｓｌ！ｉ置を設ける。

ベース１１上に第１案内体１２を固定し、この第１案内
体１２に第１１！！！動体１３を摺動自在に嵌着する。

この第１摺動体１３は、前記ベース１１上に取付板１４
を介して取付けた進退駆動機構としての流体圧シリンダ
１５のビス１−ンロッド１６に、ナックルジヨイント１
７を介して接続し、前記−シリンダ１５により前記第１
案内休１２に沿って摺動する。

この第１摺動体１３にＬ形成付部材２１を介しベアリン
グケース２２を取付け、さらにこのケース２２内にベア
リング２３を介して回転軸２４を回転自在に設ける。そ
して、前記回転軸２４にユニバーサルジヨイント２５を
介して回転駆動機構３１を接続する。

この回転駆動機構３１は、前記ベース１１上に取付板３
２を介してベアリングケース３３を取付け、さらにこの
ケース３３内にベアリング３４を介して中空軸３５を回
転自在に設け、この中空軸３５に固定したスプライン嵌
合体３６にスプラインｌＮ１３７をスプライン゛嵌合し
、このスプライン軸３７を前記ユニバーサルジヨイント
２５を介して前記回転軸２４に接続する。

さらに前記中空軸３５にタイミングプーリ３８を一体的
に嵌着し、そして上段のタイミングプーリ３８と下段の
タイミングプーリ３８とにタイミングベルト３９を巻掛
け、このタイミングベルト３９を図示しないセータによ
り回動される図示しない駆動タイミングプーリに巻掛け
、前記上下のタイミングプーリ３８を同時に駆動する。

また前記第１摺動体１３に、取付板４１を介して、第１
摺動体１３の摺動方向に対し直交する方向の２木のロッ
ドからなる第２案内体４２を設け、この第２案内休４２
に第２摺動体４３を摺動自在に嵌着する。

そして、前記回転軸２４とこの第２摺動体４３との間に
、偏心回転による振動を第２摺ＶＪＪ体に付与する加振
ｌｊ！構５１を設ける。この加振機構５１は、前記回転
軸２４の径大部５２の偏心位置にボルト５３によりベア
リング５４を取付け、また前記第２摺動体４３に取付板
５５を介してスライダ５Ｇを一体的に設け、このスライ
ダ５６の上下方向の長孔５７に１１４記ベアリング５４
を摺動自在に嵌合したものである。前記ベアリング５４
は、前記長孔５７内を上下方向には偏心取付量の２倍の
ストロークで摺動できるが、このベアリング５４の一側
部が長孔５１の垂直−側面に常に接触しているため、前
記第２案内休４２の方向にはベアリング５４の偏心取付
によるベアリング周面の変化が前記スライダ５６に対し
てそのまま伝えられ、前記第２活動体４３は第２案内体
４２に沿って往ｉ！！動する。

前記第２摺動体４３に取付板６１を介してブロック状の
ノズル取付部６２を設け、さらにこのノズル取付部６２
に第２図に示すように？！２数のノズル６３を設ける。

上側のノズル取付部６２ではノズル６３を下側に設け、
また下側のノズル取付部６２ではノズル６３を上側に設
け、そしてこの上側および下側のノズル６３の間に被加
工物Ｗを位置さ往る。各ノズル６３は、ノズル取付部６
２の表面部に螺着し、超高圧水供給ホースに接続する。

第３図に示すように、前記被加工物Ｗは、フラゾ１〜・
パッケージ・クイブ・集積回路の製造工程で、１枚の銅
板等のリードフレームａにおいて複数のＩＣパッケージ
ｂがモールディング（樹脂封入）された直後のもので、
そのＩＣパッケージｂの外周部には必要のない過剰モー
ルド（斜線部分で示す）Ｃが付着しているので、この過
剰モールドＣを、この超高圧水加工装置により除去する
。

次に、この実施例の作用を説明する。

被加工物Ｗの上側および下側において、前記流体圧シリ
ンダ１５により、第１案内体１２に沿って第１摺動体１
３を往復動するとともに、図示し４ｒいモータで前記タ
イミングベル１−３９を駆動することにＪ：す、タイミ
ングプーリ３８、中空軸３５、スプライン嵌合部３６を
回動し、この嵌合部３６に対し前記シリンダ１５により
軸方向に摺動されるスプライン＋ｌ４ｈ３７を回動し、
さらにユニバーサルジョイン１〜２５を喝介して回転軸
２４を回動し、加振機溝５１のベアリング５４を偏心回
動じ、スライダ５６を介し第２Ｍ動体４３を第２案内体
４２に沿って振動させる。

これにより、第４図に示すように、平面的に見て、前記
ノズル取付部６２は、前記流体圧シリンダ１５により被
加工物Ｗの幅方向（Ｘ方向）に往復移動じながら、前記
加振機構５１により被加工物Ｗの長手方向（Ｙ方向）に
振動する。したがって、前記多数のノズル６３から４出
される超高圧水は、被加工物Ｗの上面および下面の全面
にわたって噴射され、ぞの超高圧水の水圧により前記Ｉ
Ｃリードフレームａの過剰モールドＣが除去される。

なお、前記実施例では、被加工物Ｗの上側および下側に
超高圧水を噴射するようにしたが、本発明は、これに限
定され、るものではなく、被加工物Ｗの一側のみに超高
圧水を噴射するものでしよい。

また、前記実施例では、加振機構５１として、偏心回転
ベアリング５４により第２摺動体４３を振動させるよう
にしているが、本発明は、これに限定されるものではな
く、例えばサーボバルブによる加振■をこの加】辰１構
として使用してもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ノズルを、進退駆動機構により往復動
しながら、加振機構により直交する方向に振動させるよ
うにしたから、その振動するノズルから被加工面の全面
にむらなく超高圧水を噴射でき、例えば樹脂成形時に生
ずるばつの除去等を効果的に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の超高圧水加工装置の一実施例を示す一
部切欠の正面図、第２図はそのノズル取付部の正面図、
第３図は被加工物の平面図、第４図はノズルの移動軌跡
を示ス説明図である。 １２・・第１案内体、１３・・第１摺動体、１５・・進
退駆動機構、４２・・第２案内体、４３・・第２Ｆｙ！
ｉ動体、５１・・加ｆｆＪ！構、６２・・ノズル取付部
、６３・・ノズル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）超高圧水をノズルから被加工面に噴射して加工を
   行う超高圧水加工装置において、第１案内体に進退駆動
   機構にて被加工面に対し平行に摺動される第１摺動体を
   摺動自在に嵌着し、この第１摺動体にこの第１摺動体の
   摺動方向に対し直交する方向の第２案内体を設け、この
   第２案内体に第２摺動体を摺動自在に嵌着し、この第２
   摺動体に対し第２案内体方向の振動を付与する加振機構
   を設け、前記第２摺動体にノズル取付部を介してノズル
   を設けたことを特徴とする超高圧水加工装置。