JPH0472680B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、超高圧水をノズルから非金属材料の
被加工面に噴射して、切断、切削、穿孔または樹
脂成形時に生ずるばりの取除き等の加工を行う超
高圧水加工装置に関するものである。

（従来の技術） 従来、特公昭57−22692号公報に示されるよう
に、超高圧水を被加工面に噴射して加工を行う超
高圧水加工装置として、ノズルを偏心回転させ
て、超高圧水による加工範囲の拡大を図るように
したものがある。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、この従来の装置は、ノズル自体を偏心
回転するのみであるから、その加工範囲は円形に
拡大するだけであり、したがつて、この装置を長
尺の被加工面に対して使用した場合は、ノズルか
ら集中噴射される超高圧水を被加工面の全面にむ
らなく噴射することができない。

本発明は、このような点に鑑みなされたもの
で、被加工面の全面にむらなく超高圧水を噴射で
きる超高圧水加工装置を提供することを目的とす
る。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 本発明は、被加工面に平行に対向するノズル取
付部６２の対向面に配置された多数のノズル６３
から、被加工面に対し超高圧水を噴射して被加工
面の不要物を除去する超高圧水加工装置におい
て、前記被加工面を含む平面に対し平行に設けら
れた第１案内体１２に進退駆動機構１５にて摺動
される第１摺動体１３を摺動自在に嵌着し、この
第１摺動体１３に、前記被加工面を含む平面に対
し平行であつて第１摺動体１３の摺動方向に対し
直交する方向の第２案内体４２を設け、この第２
案内体４２に第２摺動体４３を摺動自在に嵌着
し、この第２摺動体４３に対し第２案内体方向の
振動を付与する加振機構５１を設け、前記第２摺
動体４３に前記ノズル取付部６２を介して前記多
数のノズル６３を設けた超高圧水加工装置であ
る。

（作 用） 本発明は、ノズル取付部６２に配置された多数
のノズル６３から噴出される超高圧水を被加工面
の全面に万遍なく噴射するために、進退駆動機構
１５により第１摺動体１３をＸ方向に必要なスト
ロークおよびサイクルで往復動させて、各ノズル
６３をＸ方向に一定ストロークおよびサイクルで
往復動させながら、加振機構５１により第２摺動
体４３をＹ方向に必要な振幅および振動数で振動
（高速往復動）させて、各ノズル６３をＹ方向に
一定振幅および振動数で振動させることにより、
被加工面にある樹脂成形ばりの除去等を全面にわ
たつて確実に行う。

（実施例） 以下、本発明を図面に示す一実施例を参照して
詳細に説明する。

第１図および第２図に示すように、上段部と下
段部とに支持フレーム１０を介して一体に支持さ
れたベース１１をそれぞれ設け、この上下のベー
ス１１上に被加工面Ｗの上側面および下側面に対
応する一対の超高圧水加工装置をそれぞれ設け
る。なお、第２図に示されるように、上段の超高
圧水加工装置Ａは、下段の超高圧水加工装置Ｂに
対し、被加工物Ｗの搬送方向にずらして設置され
ている。超高圧水の相互干渉を防止するためであ
る。

ベース１１上に第１案内体１２を固定し、この
第１案内体１２に第１摺動体１３を摺動自在に嵌
着する。この第１摺動体１３は、前記ベース１１
上に取付板１４を介して取付けた進退駆動機構と
しての流体圧シリンダ１５のピストンロツド１６
に、ナツクルジヨイント１７を介して接続し、前
記シリンダ１５により前記第１案内体１２沿つて
摺動する。

この第１摺動体１３にＬ形取付部材２１を介し
ベアリグケース２２を取付け、さらにこのケース
２２内にベアリグ２３を介して回転軸２４を回転
自在に設ける。そして、前記回転軸２４にユニバ
ーサルジヨイント２５を介して回転駆動機構３１
を接続する。

この回転駆動機構３１は、前記ベース１１上に
取付板３２を介してベアリグケース３３を取付
け、さらにこのケース３３内にベアリング３４を
介して中空軸３５を回転自在に設け、この中空軸
３５に固定したスプライン嵌合体３６にスプライ
ン軸３７をスプライン嵌合し、このスプライン軸
３７を前記ユニバーサルジヨイント２５を介して
前記回転軸２４に接続する。さらに前記中空軸３
５にタイミングプーリ３８を一体的に嵌着し、そ
して上段のタイミングプーリ３８と下段のタイミ
ングプーリ３８とにタイミングベルト３９を巻掛
け、さらに、このタイミングベルト３９を第２図
に図示したモータ４０により回動される駆動タイ
ミングプーリ３８ａにも巻掛け、前記上下のタイ
ミングプーリ３８を同時に駆動する。

また前記第１摺動体１３に、取付板４１を介し
て、第１摺動体１３の摺動方向に対し直交する方
向の２本のロツドからなる第２案内体４２を設
け、この第２案内体４２に第２摺動体４３を摺動
自在に嵌着する。

そして、前記回転軸２４とこの第２摺動体４３
との間に、偏心回転による振動を第２摺動体に付
与する加振機構５１に設ける。この加振機構５１
は、前記回転軸２４の径大部５２の偏心位置にボ
ルト５３によりベアリング５４を取付け、また前
記第２摺動体４３に取付板５５を介してスライダ
５６を一体的に設け、このスライダ５６の上下方
向の長孔５７に前記ベアリング５４を摺動自在に
嵌合したものである。前記ベアリング５４は、前
記長孔５７内を上下方向には偏心取付量の２倍の
ストロークで摺動できるが、このベアリング５４
の一側部が長孔５７の垂直一側面に常に接触して
いるため、前記第２案内体４２の方向にはベアリ
ング５４の偏心取付けによるベアリング周面の変
化が前記スライダ５６に対してそのまま伝えら
れ、前記第２摺動体４３は第２案内体４２に沿つ
て往復動する。

前記第２摺動体４３に取付板６１を介してブロ
ツク状のノズル取付部６２を設け、さらにこのノ
ズル取付部６２に第３図に示すように複数のノズ
ル６３を設ける。上側のノズル取付部６２ではノ
ズル６３を下側面に設け、また下側のノズル取付
部６２ではノズル６３を上側面に設け、そしてこ
の上側および下側のノズル６３の間に被加工物Ｗ
を位置させる。各ノズル６３は、ノズル取付部６
２の表面部に螺着し、超高圧水供給ホースに接続
する。

第４図に示すように、前記被加工物Ｗは、フラ
ツト・パツケージ・タイプ・集積回路の製造工程
で、１枚の銅板等のリードフレームａにおいて複
数のICパツケージｂがモールデイング（樹脂封
入）された直後のもので、そのICパツケージｂ
の外周部には必要のない過剰モールド（斜線部分
で示す）ｃが付着しているので、この過剰モール
ドｃを、この超高圧水加工装置により除去する。

この被加工物Ｗを支持して搬送するコンベヤ
は、第５図に示されるように、スプロケツト７１
によりガイド７２に沿つて回行されるエンドレス
チエン７３に所定ピツチで受け部７４が取付けら
れ、この受け部７４によつて被加工物Ｗを支持す
るとともに、ガイド７２上のフレーム７５に固定
された押え板７６により被加工物の浮き上りを防
止する。前記エンドレスチエン７３等は被加工物
Ｗの左右両側に一対設けられているが、左側は省
略する。

次に、この実施例の作用を説明する。

被加工物Ｗの上側および下側において、前記流
体圧シリンダ１５により、第１案内体１２に沿つ
て第１摺動体１３を往復動するとともに、モータ
４０で前記タイミングベルト３９を駆動すること
により、タイミングプーリ３８、中空軸３５、ス
プライン嵌合部３６を回動し、この嵌合部３６に
対し前記シリンダ１５により軸方向に摺動される
スプライン軸３７を回動し、さらにユニバーサル
ジヨイント２５を介して回転軸２４を回動し、加
振機構５１のベアリング５４を偏心回動し、スラ
イダ５６を介し第２摺動体４３を第２案内体４２
に沿つて振動させる。

これにより、第６図に示すように、平面的に見
て、前記ノズル取付部６２は、前記流体圧シリン
ダ１５により被加工物Ｗの幅方向（Ｘ方向）に往
復移動しながら、前記加振機構５１により被加工
物Ｗの長手方向（Ｙ方向）に振動する。したがつ
て、前記多数のノズル６３から噴出される超高圧
水は、被加工物Ｗの上面および下面の全面にわた
つて噴射され、その超高圧水の水圧により前記
ICリードフレームａの過剰モールドｃが除去さ
れる。

なお、前記実施例では、２組の超高圧水加工装
置を設けることにより、被加工物Ｗの上側および
下側に超高圧水を噴射し、両面の過剰モールドｃ
を一度に除去するようにしたが、本発明は、これ
に限定されるものではなく、１組の超高圧水加工
装置により被加工物Ｗの一側面のみに超高圧水を
噴射するものでもよい。その場合、被加工物Ｗの
一側面を処理した後、必要があれば、この被加工
物Ｗを反転して他側面を処理すればよい。また、
前記実施例では、加振機構５１として、偏心回転
ベアリング５４により第２摺動体４３を振動させ
るようにしているが、本発明は、これに限定され
るものではなく、例えばサーボバルブによる加振
機をこの加振機構として使用してもよい。

また、前記実施例では、使用の一例として被加
工物Ｗを搬送しているが、定位置に固定された被
加工物に対しても本発明の超高圧水加工装置を使
用できることは言うまでもない。

〔発明の効果〕

本発明によれば、被加工面を含む平面に対し平
行に設けられた第１案内体に進退駆動機構にて摺
動される第１摺動体を摺動自在に嵌着し、この第
１摺動体に、前記被加工面を含む平面に対し平行
であつて第１摺動体の摺動方向に対し直交する方
向の第２案内体を設け、この第２案内体に第２摺
動体を摺動自在に嵌着し、この第２摺動体に対し
第２案内体方向の振動を付与する加振機構を設
け、前記第２摺動体に、被加工面に平行に対向す
るノズル取付部を介してその対向面に配置された
多数のノズルを設けたから、進退駆動機構により
第１摺動体を必要なストロークおよびサイクルで
往復動させて、各ノズルを被加工面に平行に一定
ストロークおよびサイクルで往復動させながら、
加振機構により第２摺動体を必要な振幅および振
動数で振動させて、各ノズルを被加工面に平行に
かつ前記往復動方向と直交する方向に一定振幅お
よび振動数で振動（高速往復動）させることがで
きる。このように、ノズルの往復動におけるスト
ロークおよびサイクルと、振動における振幅およ
び振動数とを安定的に制御できるから、ノズル取
付部に配置された多数のノズルから噴出される超
高圧水を被加工面の全面に万遍なく噴射すること
ができ、例えば被加工面にある樹脂成形ばりの除
去等を全面にわたつて確実に行うことができる。

また、前記進退駆動機構および加振機構により
超高圧水による加工域（Ｘ方向，Ｙ方向）を正確
に制御できるから、超高圧水による加工域を必要
な部分のみに限定することもできる。例えばモー
ルド成形品においてＸ−Ｙ平面の余剰モールド部
分のみに超高圧水を選択的に噴射して余剰部分の
みを効率良く除去することも可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の超高圧水加工装置の一実施例
を示す一部切欠の正面図、第２図はその側面図、
第３図はノズル取付部の斜視図、第４図は被加工
物の平面図、第５図は被加工物Ｗを支持して搬送
するコンベヤの断面図、第６図はノズルの移動軌
跡を示す説明図である。 １２…第１案内体、１３…第１摺動体、１５…
進退駆動機構、４２…第２案内体、４３…第２摺
動体、５１…加振機構、６２…ノズル取付部、６
３…ノズル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 被加工面に平行に対向するノズル取付部の対
   向面に配置された多数のノズルから、被加工面に
   対し超高圧水を噴射して被加工面の不要物を除去
   する超高圧水加工装置において、前記被加工面を
   含む平面に対し平行に設けられた第１案内体に進
   退駆動機構にて摺動される第１摺動体を摺動自在
   に嵌着し、この第１摺動体に、前記被加工面を含
   む平面に対し平行であつて第１摺動体の摺動方向
   に対し直交する方向の第２案内体を設け、この第
   ２案内体に第２摺動体を摺動自在に嵌着し、この
   第２摺動体に対し第２案内体方向の振動を付与す
   る加振機構を設け、前記第２摺動体に前記ノズル
   取付部を介して前記多数のノズルを設けたことを
   特徴とする超高圧水加工装置。