JPS6310545U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6310545U JPS6310545U JP10582786U JP10582786U JPS6310545U JP S6310545 U JPS6310545 U JP S6310545U JP 10582786 U JP10582786 U JP 10582786U JP 10582786 U JP10582786 U JP 10582786U JP S6310545 U JPS6310545 U JP S6310545U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- solution
- liquid phase
- phase epitaxial
- epitaxial growth
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す液相エピタ
キシヤル成長装置の主要部分の断面図、第２図は
従来の液相エピタキシヤル成長装置を示す断面図
、第３図は第２図の従来の液相エピタキシヤル成
長装置を用いて成長した端成長による異常突起を
持つ成長層の断面図、第４図は他の従来例を示す
液相エピタキシヤル成長装置の主要部分の断面図
である。 図において、１は半導体基板、２は基板支持体
、３は溶液収容体、４は溶液溜め槽、４ａ′は間
隙、５は溶液、６は成長層である。なお、各図中
の同一符号は同一または相当部分を示す。
キシヤル成長装置の主要部分の断面図、第２図は
従来の液相エピタキシヤル成長装置を示す断面図
、第３図は第２図の従来の液相エピタキシヤル成
長装置を用いて成長した端成長による異常突起を
持つ成長層の断面図、第４図は他の従来例を示す
液相エピタキシヤル成長装置の主要部分の断面図
である。 図において、１は半導体基板、２は基板支持体
、３は溶液収容体、４は溶液溜め槽、４ａ′は間
隙、５は溶液、６は成長層である。なお、各図中
の同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 液相エピタキシヤル溶液を収容する複数の溶液
溜め槽を備えた溶液収容体と、この溶液収容体の
底部をなし基板が設置される凹部を有する基板支
持体とを備え、前記溶液収容体と基板支持体とを
相対的にスライドして、前記液相エピタキシヤル
溶液と基板とを接触させて前記基板上に液相エピ
タキシヤル成長層を形成する液相エピタキシヤル
成長装置において、前記溶液収容体に設けられた
各溶液溜め槽の開口部を前記基板より小さく形成
するとともに、前記各溶液溜め槽の前記基板側の
開口部周辺部に前記基板の周辺部に対向した階段
状の拡大開口部を形成したことを特徴とする液相
エピタキシヤル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10582786U JPS6310545U (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10582786U JPS6310545U (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310545U true JPS6310545U (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=30980622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10582786U Pending JPS6310545U (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6310545U (ja) |
-
1986
- 1986-07-08 JP JP10582786U patent/JPS6310545U/ja active Pending