JPS6310545U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6310545U JPS6310545U JP10582786U JP10582786U JPS6310545U JP S6310545 U JPS6310545 U JP S6310545U JP 10582786 U JP10582786 U JP 10582786U JP 10582786 U JP10582786 U JP 10582786U JP S6310545 U JPS6310545 U JP S6310545U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- solution
- liquid phase
- phase epitaxial
- epitaxial growth
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す液相エピタ
キシヤル成長装置の主要部分の断面図、第２図は
従来の液相エピタキシヤル成長装置を示す断面図
、第３図は第２図の従来の液相エピタキシヤル成
長装置を用いて成長した端成長による異常突起を
持つ成長層の断面図、第４図は他の従来例を示す
液相エピタキシヤル成長装置の主要部分の断面図
である。 図において、１は半導体基板、２は基板支持体
、３は溶液収容体、４は溶液溜め槽、４ａ′は間
隙、５は溶液、６は成長層である。なお、各図中
の同一符号は同一または相当部分を示す。
キシヤル成長装置の主要部分の断面図、第２図は
従来の液相エピタキシヤル成長装置を示す断面図
、第３図は第２図の従来の液相エピタキシヤル成
長装置を用いて成長した端成長による異常突起を
持つ成長層の断面図、第４図は他の従来例を示す
液相エピタキシヤル成長装置の主要部分の断面図
である。 図において、１は半導体基板、２は基板支持体
、３は溶液収容体、４は溶液溜め槽、４ａ′は間
隙、５は溶液、６は成長層である。なお、各図中
の同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 液相エピタキシヤル溶液を収容する複数の溶液
溜め槽を備えた溶液収容体と、この溶液収容体の
底部をなし基板が設置される凹部を有する基板支
持体とを備え、前記溶液収容体と基板支持体とを
相対的にスライドして、前記液相エピタキシヤル
溶液と基板とを接触させて前記基板上に液相エピ
タキシヤル成長層を形成する液相エピタキシヤル
成長装置において、前記溶液収容体に設けられた
各溶液溜め槽の開口部を前記基板より小さく形成
するとともに、前記各溶液溜め槽の前記基板側の
開口部周辺部に前記基板の周辺部に対向した階段
状の拡大開口部を形成したことを特徴とする液相
エピタキシヤル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10582786U JPS6310545U (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10582786U JPS6310545U (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310545U true JPS6310545U (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=30980622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10582786U Pending JPS6310545U (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6310545U (ja) |
-
1986
- 1986-07-08 JP JP10582786U patent/JPS6310545U/ja active Pending