JPS6316276A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JPS6316276A
JPS6316276A JP61160261A JP16026186A JPS6316276A JP S6316276 A JPS6316276 A JP S6316276A JP 61160261 A JP61160261 A JP 61160261A JP 16026186 A JP16026186 A JP 16026186A JP S6316276 A JPS6316276 A JP S6316276A
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    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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    • G01R31/3181Functional testing
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (概要) 本発明は半導体集積回路であって、論理回路と発振回路
とパルス信号発生回路とレジスタ回路とを有することに
より、ダイナミックファンクションテストを可能とする
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体集積回路に関し、複数の組合せ回路及び
順序回路で構成された論理回路を有りる半導体集積回路
に関する。
従来より、アンド回路等の組合せ回路及びフリップ70
ツブ等の順序回路夫々を複数用いて構成した論理回路の
半導体集積回路がある。
上記の半導体集積回路は誤動作なく正常に動作するかど
うかテストする必要がある。
(従来の技術〕 従来、上記の半導体集積回路をその製造時にテスタに接
続してテスタの発生するテストデータを半導体集積回路
に供給し、半導体集積回路からテストデータに応じた値
の出力データが得られるかどうかを判定するファンクシ
ョンテストを行なっている。
上記の如きファンクションテストには、’rs体集積回
路にテストデータを供給して充分時間が経過した後出力
データを取り出し、半導体集積回路における論理演算が
正常に行なわれるかどうかを判定するスタティック・フ
ァンクションテストと、半導体集積回路にテストデータ
の各ビットを互いにタイミングを異ならしめて供給し、
半導体集積回路が実動作の動作速度で正常に動作するか
どうかを判定するダイナミック・ファンクションテスト
とがある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
半導体集積回路を設計する際にはその回路動作ができる
限り高速となるよう設計が行なわれる。
上記のファンクションテストを行なうテスタにも半導体
集積回路が用いられており、従ってテスタで発生可能な
パルスの繰り返し周波数には限界がある。このため、テ
スタが製造された後開発される半導体集積回路の動作速
度が更に高速であると、テスタでは新たに開発される半
導体集積回路のダイナミック・ファンクションテストで
必要とする高周波数のクロック信号を生成できず、また
、テストデータの各ビットのタイミングを異ならしめる
昂を充分に小さくすることができず、このため実質的に
ダイナミック・ファンクションテストを行なうことがで
きないという問題点があった。
従って従来の半導体集積回路ではシミュレーションによ
ってしか高速動作の確認が得られなかった。
本発明はこのような点にかんがみてなされたもので、ダ
イナミックファンクションテストが可能な半導体集積回
路を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明になる半導体集積回路は、複数の組合せ回路及び
順序回路で構成された論理回路(10)と、 論理回路(10)を構成する回路素子と同一の回路素子
を用いて構成され、テスト時に外部よりf[l信号を供
給されて所定繰り返し周波数のクロック信号を発生する
発振回路(17)と、論理回路(10)を構成する回路
素子と同一の回路素子を用いて構成され、クロック信号
を供給されて互いにタイミングの異なる複数のテストパ
ルス信号及びストローブ信号を所定時間間隔毎に生成す
るパルス信号発生回路(14)と、ストローブ信号に同
期して外部より入来するテストパターンデータに応じて
複数のテストパルス信号を取り出し論理回路(10)に
供給するゲート回路(11)と、 テストパルス信号が供給された論理回路(10)の複数
の出力信号をストローブ信号が供給されたとき保持し出
力データとして外部に出力するレジスタ回路(15)と
を有する。
(作用〕 本発明においては、発振回路及びパルス信号発生回路夫
々は論理回路と同一の回路素子を用いているため、クロ
ック信号の繰り返し周波数を論理回路の動作速度に応じ
て大とすることができ、かつ、複数のテストパルス信号
のタイミングを論理回路の実動作と同程度に異ならしめ
ることができる。
(実施例〕 第1図は本発明になる半導体集積回路の一実施例のブロ
ック系統図を示す。
同図中、10は論理回路であり、アンド回路。
オア回路等の組合せ回路及びフリップフロップ。
・  カウンタ等の順序回路で構成されており、この論
理回路10がテスト対象である。
この論理回路10はゲート回路11のアンド回路121
〜121夫々よりデータを供給される。
アンド回路121〜12TI夫々には端子131〜13
1夫々よりの入力データが供給されると共に、後述する
パルス信号発生回路14よりテストパルス信号が供給さ
れており、アンド回路121〜12Tl夫々はゲート信
号がHレベルのとき入力データを論理回路10に供給す
る。
論理回路10の出力するデータはm個のフリップ70ツ
ブで構成されたレジスタ回路15に供給され、ストロー
ブ信号の入来時に各7リツプ70ツブに保持され、端子
161〜16m夫々より出力される。なお、レジスタ回
路15の各7リツプフロツプは通常動作時に論理回路1
0の一部をなし、テスト時に接続を切換えられてレジス
タを構成するものであっても良い。
発振回路17は、第2図に示す如き、リング発振回路で
ある。同図中、奇数個のナンド回路181〜18.はル
ープを構成しており、端子19より■ 1ルベルのル制御信号を供給されたとぎ、発振して端子
20より所定周波数のクロック信号を出力する。このク
ロック信号はパルス信号発生回路14に供給される。
ナンド回路181〜181は論理回路10を構成するナ
ンド回路と同一構成であるため、ナンド回路181〜1
81の動作速IF!(遅延時間)に応じたクロック信号
の繰り返し周波数tよ、論理回路10の動作速度が高速
である程高周波数となる。
これによって、後述のテストパルス信号のパルス幅はダ
イナミック・ファンクションテストを充分に行なえる程
度に小さくすることができる。
パルス信号発生回路14はfe!回路17よりのクロッ
ク信号と、端子19よりの制御信号を供給されて、所定
時間間隔毎にテストパルス信号及びストローブ信号を生
成するものであり、その一部は例えば第3図に承り如き
構成である。
第3図において、端子25に入来する第4図(A)に示
す如きクロック信号は1i1vc接続されたD形フリッ
プ70ツブ26+ 、26z e’ 263 。
264夫々で順次172分周され、フリップフロップ2
6+ 、262.26s 、26a夫々は第4図<8)
、(C)、(D)、(E)夫々に示す信号を出力する。
また、端子27にはテスト時にのみHレベルのt、11
111信号が入来する。
tjJlll信号がHレベルであるとき、アンド回路2
8はクロック信号、制御信号及びフリップ70ツブ26
2.26g 、26a夫々の出力より16クロツクサイ
クル毎に第4図(F)に示す如きテストパルス信号を生
成し、オア回路29を介して端子3oより出力する。ま
た、アンド回路31は&11御信3及びフリップフロッ
プ26+ 、262 、 .263.264夫々の出力
より16クロツクサイクル毎に第4図(G)に示す如き
テストパルス信号を生成し、オア回路32を介して端子
33より出力する。アンド回路34はクロック信Q、&
’1lll信号及びフリップ70ツブ26+ 、 26
2 、263 。
264夫々の反転出力より16クロツクサイクル毎に第
4図(H)に示すストローブ信号を生成し、端子35よ
り出力する。更に、アンド回路37は制御信号及びフリ
ップ70ツブ264の出ツノより16クロツクサイクル
毎に第4図(E)に示すテストパルス信号を得、オア回
路38を介して端子39より出力する。
v制御信号がLレベルの場合つまり通常動作時には、オ
ア回路29.32.35.38夫々はHレベル出力とな
る。第4図(E)、(F)、(G)夫々に示す如きテス
トパルス信号はゲート回路群11のアンド回路121〜
121に供給され、第4図(H)に示す如きストローブ
信号はレジスタ回路15に供給されると共に、端子40
から出力される。
また、例えばオア回路29の出力信号を入力端子が共通
接続されたアンド回路を通して端子30より出力するこ
とにより第4図(F)に示すテストパルス信号をアンド
回路の遅延時間分だけ遅延さゼることができ、このよう
にして各テストパルス信号のタイミングを論理回路の実
動作に対応して任意に可変することができる。
上記の論理回路10.ゲート回路11.パルス信号発生
回路14.レジスタ回路151発振回路17夫々は全て
単一の半導体集積回路41として形成されている。
上記の半導体集積回路41のテストを行なう場合にはテ
スタ50が接続される。
テスタ50のコントローラ51はHレベルの制御信号を
発生し、端子19より発振回路17.パルス信号発生回
路14夫々に供給する。これによってパルス信号発生回
路14が発生したストローブ信号が端子40よりコント
ローラ51に供給される。
コントローラ51は上記ストローブ信号に同期してテス
タ・メモリ52をアクセスし、テスタ・メモ・す52よ
りnビットのテストパターンデータが順次読み出される
。このテストパターンデータはアドレス毎にビットパタ
ーンが異なっている。
テストパターンデータはドライバ53で所定レベルに増
幅されて半導体集積回路41の端子131〜131に夫
々供給される。このテストパターンデータはゲート回路
群11内のアン下回路121〜12TI夫々のゲーティ
ングを行なうものであり、アンド回路121〜12T+
のうちテストパターンデータに応じてHレベルの信号を
供給されたアンド回路のみがパルス信号発生回路14よ
りのテストパルス信号を取り出して論理回路10に供給
する。
ここで、論理回路10に、一部が例えば第5図に示す如
く、フリップ70ツブ60.61と、その間に接続され
たアンド回路62.ナンド回路63゜64とで構成され
、これらの回路素子夫々の遅延時間が例えば1nSeC
として設計されているものとする。また光振回路17の
出力するクロック信号の周期は1Q n secである
ものとする。
所定のテストパターンデータにより、グー1−回路11
から端子65に第4図(E)に示すテストパルスが入来
し、端子66に第4図(G)に示づ。
テストパルスが入来し、端子67に第4図(F)に示す
テストパルスが入来する。この場合、15図示の回路素
子の遅延時間が1nSeC程度であればフリップ70ツ
ブ61が端子68より出力する信号はHレベルとなり、
第4図(H)に示すストローブ信号によりレジスタ回路
15に保持される。
しかし、回路素子の遅延時間が設計値の2倍以上に大き
ければフリップ70ツブ61の出力信号はLレベルとな
る。このようにして第5図示の回路が設計通りの高速動
作を行なうかどうかが判定され、論理回路10の実動作
と同様のダイナミックファンクションテストが行なわれ
る。
論理回路10の出力する信号はレジスタ回路15でスト
ローブ信号入来時にラッチされ、出力データとして端子
161〜16mよりテスタ5゜のコンパレータ54に供
給され、ここで、コントローラ51によってテスタ・メ
モリ52より読み出された期待値データとビット毎に比
較される。
この期待値データはテストパターンデータに対応したも
のである。コントローラ51はストローブ信号に同期し
て生成した出力1111m信号をコンパレータ54に供
給し、コンパレータ54はこの出力制御信号の入来によ
り、例えば出力データと期待値データの排他的論理和演
算結果であるテスト結果データを端子55より出力する
。従って、テストパターンデータのビットパターンが異
なる毎に端子55よりテスト結果データが出力され、論
理回路10の各部のダイナミック・ファンクションテス
トが行なわれる。
(発明の効果) 上述の如く、本発明によれば、被テスト回路である論理
回路の動作速度に応じた高周波数のクロック信号を発生
でき、かつ論理回路の動作速度に応じて複数のテストパ
ルス信号のタイミングを任意に可変設定でき、論理回路
を実動作に近い高速で動作させるダイナミック・ファン
クションテストが可能で論理回路の高速動作を確実に確
認できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明になる半導体集積回路の一実施例のブロ
ック系統図、 第2図は第1図示の発振回路の一実施例の回路図、 第3図は第1図示のパルス信号発生回路の一部の一実施
例の回路図、 第4図は第3図示の回路の一実施例の信号波形図、 第5図は第1図示の論理回路の一部の一実施例の回路図
である。 図中において、 10は論理回路、 11はゲート回路、 121〜12TIはアンド回路、 14はパルス信号発生回路、 15はレジスタ回路、 17は発振回路、 50はテスタ、 51はコントローラ、 52はテスタ・メモリ、4 53はドライバ、 54はコンパレータ。 、、、41 ′NI!wI回鴇→ブロック系党! 第1図 第2図 第3図 峯:s@ホリ司捲り惨号夜形輿 第4図 隅 第5ス 手続補正書 昭和62年 9月14日 昭和61年 特許願 第160261号2 発明の名称 半導体集積回路 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住所 〒211  神奈川県用崎市中原区上小田中10
15番地名称(522)富士通株式会社 代表考 山本卓眞 4、代理人 住所 〒102  東京都千代田区麹町5丁目7番地6
、 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明及び図面の簡単な説明の欄、
及び図面。 7、補正の内容 (1)明m書中、第12頁第8行乃至第14行の[ここ
で・・・する。」を次の通り補正する。 「ここで、論理回路10に一部が例えば第5図に示す如
く、フリップ70ツブ60.61と、その間に接続され
たアンド回路62.ナンド回路63゜64とで構成され
、これらの回路素f夫々の遅延時間が例えば1nscc
として設計されているものとする。また発振回路17の
出力するクロック信号の周期は例えば1.5nSeCで
あるものとする。 第5図の論理回路の通常動作を第6図の波形図を参照し
て説明する。まず初段の7リツプフロツプ60へのデー
タ人力りに第6図(A)に示す如き信号が入って、その
直後に第6図(B)に示すクロック信号CKがパルス■
の如く立上がると、そこで初段フリップ70ツブ60は
データ人力りの状態をピックアップして、所定の遅延の
後その出力Qを第6図(C)に示す如く立上げる。この
出力Qのパルスは遅延段であるアンド回路62、ナンド
回路63.64の遅延DL1の後次段のフリップフロッ
プ61のデータ人力りを第6図(D)に示す如く立上げ
る。つまり例えば遅延DL2が1nSeCである。そし
て次のクロック信号GKのパルス■が立上ると、フリッ
プフロップ61はそのデータ人力りのHレベルをピック
アップして、その出力Qを第6図(E)に示す如(立上
げる。 ところが、アンド回路62、ナンド回路63゜64の論
理回路に欠陥があり、クロック信号GKの最初のパルス
■の立上りから次段のフリップフロップのデータ人力り
の立上りまでの遅延時間DL2が異常に長くなると、破
線に示す如く、次のクロック信号GKのパルス■の立上
りではフリップフロップ61のデータ人力りのLレベル
をピックアップしてしまうのである。つまり遅延時間D
L2とクロック周期とのタイミング余裕Mが非常に厳し
い場合は、上記の如き欠陥は、第6図(B)に示す非常
に短い内部クロック信号CKを使用しないと検出できな
い。 従って、従来の如きタイミングの遅い第6図(F)に示
す如きテスタからのクロック信号を使用すると、2番目
のパルス■が入来するまで非常に長い時間を要するので
、欠陥のある遅延DL2に伴う破線の如き遅れを検出す
ることができない。 そこで、本発明では第4図に示した如き信号を内部で形
成し、第4図(F)の如きテストパルスを端子67へ供
給するクロック信号として利用しようとするものである
。」 ■ 同、第15頁第7行の「の回路図である。」を次の
通り補正する。 「回路図、 第6図は第5図の波形図である。」 ■ 図面中、第6図を追加する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 複数の組合せ回路及び順序回路で構成された論理回路(
    10)と、 該論理回路(10)を構成する回路素子と同一の回路素
    子を用いて構成され、テスト時に外部より制御信号を供
    給されて所定繰り返し周波数のクロック信号を発生する
    発振回路(17)と、該論理回路(10)を構成する回
    路素子と同一の回路素子を用いて構成され、該クロック
    信号を供給されて互いにタイミングの異なる複数のテス
    トパルス信号及びストローブ信号を所定時間間隔毎に生
    成するパルス信号発生回路(14)と、該ストローブ信
    号に同期して外部より入来するテストパターンデータに
    応じて該複数のテストパルス信号を取り出し該論理回路
    (10)に供給するゲート回路(11)と、 該テストパルス信号が供給された論理回路 (10)の複数の出力信号を該ストローブ信号が供給さ
    れたとき保持し出力データとして外部に出力するレジス
    タ回路(15)とを有し、 該レジスタ回路(15)よりの出力データを該テストパ
    ターンデータに対応する期待値データと比較してテスト
    を行なうことを特徴とする半導体集積回路。
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