JPS6319907A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS6319907A JPS6319907A JP16495686A JP16495686A JPS6319907A JP S6319907 A JPS6319907 A JP S6319907A JP 16495686 A JP16495686 A JP 16495686A JP 16495686 A JP16495686 A JP 16495686A JP S6319907 A JPS6319907 A JP S6319907A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric vibrator
- electrode extraction
- piezoelectric
- electrode
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
セラミック基板に設けた電極に導電性樹脂を用いて接着
固定する圧電振動子において、導電性樹脂による導通を
確実に行う方法として振動板の端面を弯曲して形成する
と共に電極取り出し位置に金属膜を設けた圧電振動子。
固定する圧電振動子において、導電性樹脂による導通を
確実に行う方法として振動板の端面を弯曲して形成する
と共に電極取り出し位置に金属膜を設けた圧電振動子。
本発明は電極取り出し部と搭載基板との電気接続を確実
にし、信頼性を向上した圧電振動子に関する。
にし、信頼性を向上した圧電振動子に関する。
圧電振動子はニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｚ） 、タ
ンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯｚ） ＋水晶などの圧電
結晶或いはチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電
Ｅｎ ＢＢなど電気機械結合係数の大きな誘電材料から
なる薄板の両面に真空蒸着法やスパッタ法などにより金
属電極を設けたもので、この電極間に交流電界を加える
と圧電効果により、これに等しい周波数の応力を生じ、
電界の周波数が振動子の固有周波数と一敗する場合には
強い共振を起こす。
ンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯｚ） ＋水晶などの圧電
結晶或いはチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電
Ｅｎ ＢＢなど電気機械結合係数の大きな誘電材料から
なる薄板の両面に真空蒸着法やスパッタ法などにより金
属電極を設けたもので、この電極間に交流電界を加える
と圧電効果により、これに等しい周波数の応力を生じ、
電界の周波数が振動子の固有周波数と一敗する場合には
強い共振を起こす。
かかる圧電振動子はマイクロコンピュータ用のクロック
信号用や電圧制御発振器の振動子として使用されている
。
信号用や電圧制御発振器の振動子として使用されている
。
第４図は圧電振動子の装着構造を示す斜視図であり、圧
電振動子は先に記したように圧電結晶或いは圧電磁器か
らなる基板１の両面に厚さが５００人程度のニクロム（
Ｎｉ −Ｃｒ）膜を下地層として厚さが１０００〜５
０００人の金（Ａｕ）膜からなる電極２がそれぞれ反対
方向に電極取り出し部３を備えてパターン形成されてい
る。
電振動子は先に記したように圧電結晶或いは圧電磁器か
らなる基板１の両面に厚さが５００人程度のニクロム（
Ｎｉ −Ｃｒ）膜を下地層として厚さが１０００〜５
０００人の金（Ａｕ）膜からなる電極２がそれぞれ反対
方向に電極取り出し部３を備えてパターン形成されてい
る。
かかる圧電振動子の装着法としてはアルミナなどからな
る磁器基板４の上にパラジウム・１１（Ｐｄ・Ａｇ）な
どの導体ペーストをスクリーン印刷して形成した導体パ
ターン５の上に導電性樹脂６を用いて接着し導通をとる
方法がとられている。
る磁器基板４の上にパラジウム・１１（Ｐｄ・Ａｇ）な
どの導体ペーストをスクリーン印刷して形成した導体パ
ターン５の上に導電性樹脂６を用いて接着し導通をとる
方法がとられている。
ここで、電極取り出し部３は斜め蒸着法を用いて基板ｌ
の端面７にも設けている場合もある。
の端面７にも設けている場合もある。
然し、基板１の端面７は直角に切り出されているために
導通が不完全で断線状態になり易く、導電性樹脂６を用
いて導体パターン５と接着しても、樹脂の流れ出しやエ
ツジ部の表面張力により電気抵抗が増大すると云う問題
があり、損失増加の原因となっていた。
導通が不完全で断線状態になり易く、導電性樹脂６を用
いて導体パターン５と接着しても、樹脂の流れ出しやエ
ツジ部の表面張力により電気抵抗が増大すると云う問題
があり、損失増加の原因となっていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
以上記したように圧電振動子は対向して設けられている
電極２からそれぞれ反対方向に設けられている電極取り
出し部３を導電性樹脂６により磁器基板４の導体パター
ン５と導通させる方法がとられているが、エツジ部での
電気抵抗の上昇が起こり易いことが問題である。
電極２からそれぞれ反対方向に設けられている電極取り
出し部３を導電性樹脂６により磁器基板４の導体パター
ン５と導通させる方法がとられているが、エツジ部での
電気抵抗の上昇が起こり易いことが問題である。
上記の問題は電極取り出し部を備えた少なくとも一方の
端部が弯曲した端面を備えて形成されると共に、この電
極取り出し位置に金属膜を設けた構造をとる圧電振動子
により解決することができる。
端部が弯曲した端面を備えて形成されると共に、この電
極取り出し位置に金属膜を設けた構造をとる圧電振動子
により解決することができる。
本発明は上記の問題を解決する方法として電極取り出し
部３を設ける少なくとも一方の端面７を研磨して弯曲し
た端面を形成し、この弯曲部にまで電極取り出し用の電
極膜を設けるもので、第１図はかかる圧電振動子の構造
を示している。
部３を設ける少なくとも一方の端面７を研磨して弯曲し
た端面を形成し、この弯曲部にまで電極取り出し用の電
極膜を設けるもので、第１図はかかる圧電振動子の構造
を示している。
すなわち、基板１の少なくとも一方を研磨して丸みをも
たせた弯曲端面８の上にまで蒸着膜をパターン形成する
ことにより上記の問題を無くするものである。
たせた弯曲端面８の上にまで蒸着膜をパターン形成する
ことにより上記の問題を無くするものである。
ここで弯曲端面８の形成は電極取り出し部３が設けられ
る表裏面に必ずしも形成する必要はなく、上部電極の取
り出し部３が設けられている端面だけで足りる。
る表裏面に必ずしも形成する必要はなく、上部電極の取
り出し部３が設けられている端面だけで足りる。
この理由は第４図において、下部電極の電極取り出し部
は導電性樹脂を用いて磁器基板４の導体パターン５に接
着固定を兼ねて導通させる構成をとっていることによる
。
は導電性樹脂を用いて磁器基板４の導体パターン５に接
着固定を兼ねて導通させる構成をとっていることによる
。
圧電基板としてＬｉＮｂＯ５を用い、多数枚の形成が可
能な寸法に切り出した後、圧電振動子の電極取り出し部
が形成される予定の端面を一括して研磨し、端面を弯曲
させた。
能な寸法に切り出した後、圧電振動子の電極取り出し部
が形成される予定の端面を一括して研磨し、端面を弯曲
させた。
ここで弯曲端面の形成にはテープ研磨法とグラインダー
法の両者を使用した。
法の両者を使用した。
第２図はテープ研磨法の説明図であって、砥粒を塗布し
たテープ９が二個のローラ１０を用いて交互に巻き取ら
れながら往復運動するよう構成されている。
たテープ９が二個のローラ１０を用いて交互に巻き取ら
れながら往復運動するよう構成されている。
また、二個のローラ１０を結ぶ中間部には基板１の保持
具があり、点線で示すように首振り運動をするようにな
っている。
具があり、点線で示すように首振り運動をするようにな
っている。
このような装置を用いてＬｉＮｂ０ｚ基板の端面研磨を
行った。
行った。
また、第３図はグラインダ法を説明するもので、グライ
ンダ１１の中央部が一定の曲率をもって窪んで形成され
ており、この凹部に基板１を接触させて研磨を行った。
ンダ１１の中央部が一定の曲率をもって窪んで形成され
ており、この凹部に基板１を接触させて研磨を行った。
このようにして弯曲端面８をもつ基板を作り、これを切
り出して複数個の個片を作り、以後従来と同様にマスク
蒸着法により約５００人の厚さのＮｉ・Ｃｒ膜と約３０
００人のＡｕ膜とを形成てして電極２と取り出し電極３
を形成した。
り出して複数個の個片を作り、以後従来と同様にマスク
蒸着法により約５００人の厚さのＮｉ・Ｃｒ膜と約３０
００人のＡｕ膜とを形成てして電極２と取り出し電極３
を形成した。
そして導電性樹脂を用いて電極取り出し部３を磁器基板
４の導体パターン５に接着した。
４の導体パターン５に接着した。
このようにして形成した圧電振動子の導通は完全であり
、従来のような損失の増加は認められない。
、従来のような損失の増加は認められない。
以上記したように本発明の実施により断線や特性の変動
の少ない圧電振動子を形成することができ、これにより
信頼性の向上が可能となる。
の少ない圧電振動子を形成することができ、これにより
信頼性の向上が可能となる。
第１図は本発明に係る圧電振動子の斜視図、第２図はテ
ープ研磨法の説明図、 第３図はグラインダ法の説明図、 第４図は圧電振動子の従来の装着構造を示す斜視図、 である。 図において、 １は基板、 ２は電極、３は電極取り出
し部、 ４は磁器基板、６は導電性樹脂、 ７
は端面、 ８は弯曲端面、 である。
ープ研磨法の説明図、 第３図はグラインダ法の説明図、 第４図は圧電振動子の従来の装着構造を示す斜視図、 である。 図において、 １は基板、 ２は電極、３は電極取り出
し部、 ４は磁器基板、６は導電性樹脂、 ７
は端面、 ８は弯曲端面、 である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 圧電結晶或いは圧電磁器からなる振動板の両面上に対
向して金属膜電極があり、該電極より互いに反対方向に
電極取り出し部を設けてなる振動子において、 電極取り出し部を備えた少なくとも一方の端部が弯曲し
た端面を備えて形成されると共に、該端面の電極取り出
し位置に金属膜を設けてなることを特徴とする圧電振動
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16495686A JPS6319907A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16495686A JPS6319907A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6319907A true JPS6319907A (ja) | 1988-01-27 |
Family
ID=15803058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16495686A Pending JPS6319907A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6319907A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02285706A (ja) * | 1989-04-26 | 1990-11-26 | Fujitsu Ltd | 振動子応用デバイス |
| EP0620048A3 (en) * | 1993-04-12 | 1995-11-29 | Acuson | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof. |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP16495686A patent/JPS6319907A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02285706A (ja) * | 1989-04-26 | 1990-11-26 | Fujitsu Ltd | 振動子応用デバイス |
| EP0620048A3 (en) * | 1993-04-12 | 1995-11-29 | Acuson | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof. |
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