JPS63200752U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63200752U JPS63200752U JP9293587U JP9293587U JPS63200752U JP S63200752 U JPS63200752 U JP S63200752U JP 9293587 U JP9293587 U JP 9293587U JP 9293587 U JP9293587 U JP 9293587U JP S63200752 U JPS63200752 U JP S63200752U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photodetector
- optical fiber
- light
- optical
- receiving device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成概念図、第２
図ａおよびｂは、それぞれ受光面および補正用拡
散板の横断面を示す図である。 図において、１……レーザ光源、２……ガルバ
ノミラー、３……被検物、４……補正用拡散板、
５，５―１，５―２……光フアイバー、６……光
検知器、７……光フアイバー受光部。
図ａおよびｂは、それぞれ受光面および補正用拡
散板の横断面を示す図である。 図において、１……レーザ光源、２……ガルバ
ノミラー、３……被検物、４……補正用拡散板、
５，５―１，５―２……光フアイバー、６……光
検知器、７……光フアイバー受光部。
Claims (1)
- レーザ光を用いて所定の被検物の表面および内
部の欠陥を検出するために用いられる一次元走査
用受光装置において、一次元走査されて前記被検
物を透過してくるレーザ光を受光するために、複
数の光フアイバーの端面を配列して形成される光
フアイバー受光部と、前記光フアイバー受光部に
おいて受光され前記複数の光フアイバーを経由し
て送られてくる光信号を集約的に検出する光検知
器と、前記光フアイバー受光部および光検知器等
を含む光検出系における光検出特性を補正するた
めに、前記光フアイバー受光部に到来するレーザ
光の通過径路に配置される補正用拡散板と、を備
えることを特徴とする一次元走査用受光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9293587U JPS63200752U (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9293587U JPS63200752U (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200752U true JPS63200752U (ja) | 1988-12-23 |
Family
ID=30955073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9293587U Pending JPS63200752U (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63200752U (ja) |
-
1987
- 1987-06-16 JP JP9293587U patent/JPS63200752U/ja active Pending
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