JPS63282943A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPS63282943A
JPS63282943A JP11864687A JP11864687A JPS63282943A JP S63282943 A JPS63282943 A JP S63282943A JP 11864687 A JP11864687 A JP 11864687A JP 11864687 A JP11864687 A JP 11864687A JP S63282943 A JPS63282943 A JP S63282943A
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magnetic
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 艮権宏駅 本発明は磁性層を再生用及び記録用の2つの異なる機能
に分離した光磁気記録媒体に関する。
従来技術 本発明者は先に特開昭59−45644号及び同60−
164302号においてマグネトプラムバイトヘキサゴ
ナルフェライト磁性体を光磁気記録媒体に用いることを
提案した。ここで使用される磁性体は光磁気記録媒体に
おける記録、再生又は消去特性を改良するため結晶内の
Feの一部を他の金属で置換したものである。しかし記
録特性(記録感度)を改良するためにFeの一部をIn
Sc、Zn等で置換してキュリ一温度を下げると、記録
保持に寄与する保磁力Hcが著しく低下するし、また消
去特性を改良するためにFeの一部をA氾、Ga、Rh
、Cr等で置換して飽和磁化Msを小さくし、適正値に
すると、再生特性に寄与する磁気光学効果(この場合は
ファラデー回転角θF)が著しく減少する。
従って前記提案の光磁気記録媒体では記録、再生及び消
去特性を全て満足することは困難であった。しかもこれ
らの記録媒体は磁性膜を作製する際、基板温度を550
°C以上と高くする必要があり、このため特殊な耐熱基
板しか使用できず、基板を高温に維持して均一に加熱す
ることは困難であり、量産化も困難であった。
目     的 本発明の目的は記録、再生及び消去特性を全て満足する
と共に、基板の使用範囲を拡大し、且つ量産化も可能な
光磁気記録媒体を提供することである。
構   成 本発明の光磁気記録媒体は耐熱基板上に磁性層を有する
光磁気記録媒体において、磁性層を再生用及び記録用の
2つの機能の異なる層に分割し、再生用磁性層はBi含
有鉄ガーネット及びCo含有フェライトの少くとも1種
の磁性体で構成し、記録用磁性層はHeが大きく、且つ
適正なMsを有するマグネトプラムバイトヘキサゴナル
フェライト磁性体とこの磁性体に対し融点降下作用のあ
る金属、金属の合金、又は化合物を含有して構成したこ
とを特徴とするものである。
このように本発明の光磁気記録媒体は従来の磁性層を、
再生専用としてθ、の大きい磁性層、及び記録(記録保
持及び消去)専用としてHeが大きく、且つ適正なMs
を有する磁性層の2つの機能の異なる層に分離したもの
である。なおこれらの2つの層は基板に対しいずれが上
にあっても下にあってもよい。
本発明の再生用磁性層はBi含有ガーネット及びCo含
有フェライトの少くとも1種の磁性体で構成される。こ
れら磁性体の具体例をθ、値と共に下記に示す。
【    糺−栽       方傳蚤劉虱(A−1)
 1.2Bi203−0.3Y20.−0.6Ga20
3−1.9F82032.0(λ=633nm)(A−
2) Bi2O3・0.5Gd203−0.6A&03
・1.9Fe2031.5(λ=6330m)(A−3
) Bi、03・0.5DY203−COO−GeO□
−1,5Fe20.  1.0(λ=633nm)(A
−4) Bi2O3・0.5DY203−0.4In2
03・2.3Fe2031.5(λ=633nm)(A
−5)Co0・0.4A馬03・0.6Fe2032.
0(127800m)(A−6) CoO・O−6Mn
0 ・O−2GeO□+ o、5Fe、o31.5 (
λ=7800m)(A−7) Co0・0.6Zn0・
0−2T102 ・O−5Fe2o31 、O(127
800m)(F8) Coo・O−6Rh203 ・0
.4Fe203      2.5 (127800m
)(A−9)CoO・0.6Cr203・0.4Fe2
032.0(127800m)なお再生用磁性層はこれ
ら組成のターゲット又は焼結物を基板等の表面上にスパ
ッタリング又は蒸着法により成膜することにより形成さ
れる。
厚さは通常、0.1〜1μm程度である。
一方、本発明の記録用磁性層はHcが大きく、且つ適正
なMsを有するマグネトプラムバイトヘキサゴナルフェ
ライト磁性体とこの磁性体に対し融点降下作用のある金
属、金属の合金又は酸化物、炭酸塩等の化合物を含む系
で構成される。ここで前記フェラト磁性体のHeは0.
5〜5KOeが好ましく、またMsは5−50emu/
gが好ましい。このような特性を有するマグネトプラム
バイトヘキサゴナルフェライト組成の具体例をHc値及
びMs値と共に下記に示す。
換  組成   □Ms(esu/g)(1)S■・A
馬03・0.調03・4(Fも03)       2
  15(2)BaO−A馬へ・0.5In203・4
〔Fe2O3〕215(3)BaO・1.5A馬03・
SnO2・ZnO・4〔Fe2O3〕415(4) S
rO・1.5Ga20.・0.5Sc20.・3.5[
Fe2O,)     2  25(5) BaO−1
,5Cr203・0.5In203・3.5[Fe2O
,)    1.0  30Hα覗→融(esu/g) (6)SrO・1.5A馬03・0.5Tモ0・0.5
Zn20・3.5〔Fe2O3〕4.020(7)Ba
O・1.5Rh203・0.5Sb203−4.0[F
e2O,]      4.0   25(8) Ba
O・ALO,・0.5Ti02・0.5Zn03.5(
Fe20.)    2.0   20またこれらフェ
ライト磁性体に対し融点降下作用のある金属、金属の合
金又は化合物の具体例としてはSn、 Pb、 Si、
 In2Te2. Sb2Te3゜Bi2Te3.Ga
Sb、InSb、PbO,PbF2゜Na2CO3,B
i2O3,P2O,、H3BO3,NaCO3等及びそ
れらの混合物が挙げられる。更に記録用磁性層に用いら
れる焼結物及びターゲットの具体例としては下記のもの
が挙げられる。
刈採      組  成 (B−1)SrO・ALO3−0,5SC203−4(
Fe20.)−PbO(B−2)BaO−A%03・0
.5In203・4(Fe20.)・PbO・PbF2
(B−3)Ba04.5A403・SnO□・Zn0・
4(Fe203:l ・Na2Co3(B−4)Srf
)1.5Ga203・0.5Sc203・3.5(Fe
203)・Bi203(B−5) Ba0・1.5Cr
203−0.5In203−3.5(Fe203) −
p2o、 −H3BO3(B−6)SrO−1,51,
03−0,5Te20−0.5Zn20−3.5(Fe
203)・Bi203(B−7)BaO−1,5Rh2
03・0.5Sb203−4.0(Fe203:l−B
i203(B−8)BaO・A鳥03・0.5Ti20
3・0.5Sc203・3.5〔Fe2O3〕・P2O
5・NaCO3記録用磁性層は基板上にこれら組成の焼
結物又はターゲットをスパッタリング、蒸着等の方法で
成膜することにより形成される。厚さは通常、0.1〜
1μm程度である。
基板としては通常のガラス、例えばソーダガラス、鉛ガ
ラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、アルミノケイ酸
ガラス、結晶化ガラス(商品名ミラクロンPH−3、ミ
ラクロンPC−1、ミラクロンPP−1、ミラクロンP
H−1);セラミック、例えばアルミナ、MgO,Ba
O。
AQN、PLZT;単結晶、例えばシリコン、GGG、
リチウムタンタレート、サファイア、MgO;金属板(
例えばアルマイト、アルミニウム、ステンレス、ジュラ
ルミン;プラスチック板、例えばポリアミドイミド、ポ
リイミド、アラミド、ポリケトンイミド、ポリビフェニ
ルイミド、ポリピロメリット酸イミド等が挙げられる。
本発明の光磁気記録媒体には再生用及び記録用の各磁性
層の結晶配向性を改良するために、基板と磁性層との間
に下地層を設けたり、記録媒体の表面保護のため磁性層
上に保護層を設けたり、磁性層のファラデー効果を利用
して再生を行なうために磁性層上に反射層を設けたり(
但しこの場合基板としては透光性のものを使用する)、
ファラデー回転角を増大させて再生出力を向上するため
に磁性層と反射層との間に誘電層を設けたり、或いは記
録、消去時の熱伝導によるレーザー出力の損失を低減す
るために基板と磁性層或いは反射層との間に断熱層を設
けることができる。また光磁気記録媒体の記録、再生及
び消去を誤りなく行なうために、基板、下地層、磁性層
、反射層、断熱層、誘導層又は保護層自体に、或いは基
板又は前記層上に別途にガイドトラックを設けることが
できる。
以上のような光磁気記録媒体の構成例を第1〜3図に示
す。即ち第1図の光磁気記録媒体は基板1上に、下地層
2、再生用磁性層3、記録用磁性層4及び反射層5を順
次設けたものであ=7= る。第2図の光磁気記録媒体は基板1上に下地層2、記
録用磁性層4、再生用磁性層3、帯状ガイドトラック6
及び保護層7を順次設けたものである。また第3図の記
録媒体は基板1上に下地M2、再生用磁性層3、溝状ガ
イドトラック6′付き記録用磁性層4、反射層5及び保
護層7を順次設けたものである。
ここで下地層の材料としては軟磁性体、例えばNi−Z
nフェライト、Co−Znフェライト、M n −Z 
nフェライト、M g −Z nフェラ  −イト;誘
電体、例えばS i O、S j02 + S 13 
N4 +MgO,Tie2.ZnO,Af1203.T
he2等が挙げられる。厚さは0.1〜1μm程度が適
当である。
保護層の材料としては前述のような誘導体;基板に用い
られるようなイミド系樹脂やアクリル樹脂、スチレン樹
脂、エポキシ樹脂、フェーノール樹脂、ポリウレタン樹
脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエー
テルスルホン樹脂等の樹脂等が挙げられる。厚さは0.
1〜10μm程度が適当である。
反射層の材料としては金属、例えばCr、Ni。
Au、AQ、Ag、Rh、Pt、Cu、Pd。
Nd、Cot Fe ;金属窒化物、例えばT a N
 。
TsN、CrN等が挙げられる。厚さは0.1〜0.5
μm程度が適当である。
断熱層の材料としては前述のような誘導体が挙げられる
。厚さは0.1〜1μm程度が適当である。
以上のような各層の形成法としては無機材料の場合は通
常、蒸着、スパッタリング等の方法が、また有機材料の
場合は通常、塗布法(スピンコード法)が採用される。
以下に本発明を実施例によって説明する。
実施例1 ソーダガラス基板上にN i −Z nフェライトを基
板温度200℃でスパッタリングして0.2μm厚の下
地層を形成し、その上に前記A−1の焼結体、及び前記
B−1の焼結体を基板温度450℃で順次スパッタリン
グして夫々0.5μm厚の再牛用磁性層及び0.2μm
厚の記録用磁性層を形成した後、更にその上にptを基
板温度400℃でスパッタリングして0.1μm厚の反
射層を形成することにより第1図のタイプの光磁気ディ
スクを作った。
実施例2 パイレックス(ホウケイ酸)ガラス基板上にZn○を基
板温度300℃でスパッタリングして0.1μm厚の下
地層を形成し、その上に前記B−2の焼結体及び前記A
−2の焼結体を基板温度450℃で順次スパッタリング
して夫々0.2μm厚の記録用磁性層及び0.5μm厚
の再生用磁性層を形成した。次にこの再生用磁性層上に
蒸着法で0.1μm厚のCr膜を形成し、更にその上に
スピンコード法により紫外線硬化性樹脂膜を形成した後
、これに、ガラス板上に巾1.0μm、トラックピッチ
1.8μmの帯状(溝状ガイド)Crパターンを有する
マスクを密着し、その上から全面露光し、樹脂膜を溶剤
で部分的に除去し、露出したCr膜にスパッタエツチン
グを行なって再生用磁性層上に帯状Crパターンからな
るガイドトラックを形成し、更にその上にシリコン樹脂
をスピンコードして5μm厚の保護層を形成することに
より第2図のタイプの光磁気ディスクを作った。
実施例3 ポリビフェニルイミド基板上にCo−Znフェライトを
基板温度300℃で蒸着して下地層を形成後、その上に
前記A−6の焼結体及び前記B−3の焼結体を基板温度
400°Cで順次蒸着して夫々0.5μm厚の再生用磁
性層及び0.2μm厚の記録用磁性層を形成した。次に
この記録用磁性層上に紫外線硬化性樹脂をスピンコード
して樹脂膜を形成し、これに実施例2で用いた帯状Cr
パターンを有するマスクを密着し、その上から全面露光
し、樹脂膜を溶剤で部分的に除去し、露出した記録用磁
性層にエツチングを行なってこの磁性層自体に溝状ガイ
ドトラックを形成した後、その上にAu及びS i O
2を基板温度400℃で順次蒸着して夫々0.1μm厚
の反射層及び1μm厚の保護層を形成することにより第
3図のタイプの光磁気ディスクを作った。
実施例4 A−1の代りにA−3を用い、且つB−1の代りにB−
4を用いた他は実施例1と同じ方法で第1図のタイプの
光磁気ディスクを作った。
実施例5 B−2の代りにB−5を用い、且つA−2の代りにA−
4を用いた他は実施例2と同じ方法で第2図のタイプの
光磁気ディスクを作った。
実施例6 A−6の代りにA−5を用い、且つB−3の代りにB−
6を用いた他は実施例3と同じ方法で第3図のタイプの
光磁気ディスクを作った。
実施例7 A−1の代りにA−7を用い、且つB−1の代りにB−
7を用いた他は実施例1と同じ方法で第1図のタイプの
光磁気ディスクを作った。
実施例8 A−1の代りにA−8を用い、且つB−1の代り13B
−8を用いた他は実施例1と同じ方法で第1図のタイプ
の光磁気ディスクを作った。
実施例9 B−2の代りにB−1を用い、A−2の代りにA−9を
用い、且つ下地層をNi−Znフェライトで0.2μm
厚に形成した他は実施例2と同じ方法で第2図のタイプ
の光磁気ディスクを作った。
次に以上の9種の光磁気ディスクについて下記条件で記
録、再生及び消去を行なった。
記録条件 光源二波長780nm、ディスク面での出力15mWの
半導体レーザー光 線速:5m/秒 デユーティ:50% 記録磁界:2000e 再生条件 光源:波長780止、ディスク面での出力4mWの半導
体レーザー光 線速:記録条件と同じ 消去条件 光源:記録条件と同じ 線速:記録条件と同じ デユーティ:記録条件と同じ 消去磁界: 10000e(但し磁界方向は記録時とは
逆) その結果、記録時はビット約2μmで記録され、C/N
=40〜45dBの信号が得られた。また消去時は記録
は完全に消去された。
効   果 以上の如く本発明の光磁気記録媒体は従来の磁性層を再
生専用の磁性層及び記録専用の磁性層に分離したので、
記録、再生及び、消去特性を全て満足する上、いかなる
耐熱基板も使用でき、しかも量産化が容易である等の利
点がある。
【図面の簡単な説明】
第1〜3図は夫々本発明光磁気記録媒体の一例の構成図
である。 1・・・耐熱基板   2・・・下地層3・・再生用磁
性層 4・・・記録用磁性層5・・・反射層    6
・・・帯状ガイドトラック6′・・・溝状ガイドトラッ
ク 7・・・保護層

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、基板上に磁性層を有する光磁気記録媒体において、
    磁性層を再生用及び記録用の2つの機能の異なる層に分
    割し、再生用磁性層はBi含有鉄ガーネット及びCo含
    有フェライトの少くとも1種の磁性体で構成し、記録用
    磁性層は保磁力が大きく、且つ適正な飽和磁化を有する
    マグネトプラムバイトヘキサゴナルフェライト磁性体と
    この磁性体に対し融点降下作用のある金属、金属の合金
    、又は化合物を含有して構成したことを特徴とする光磁
    気記録媒体。
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