JPS63285982A - セラミックアクチュエ−タの電極形成方法 - Google Patents
セラミックアクチュエ−タの電極形成方法Info
- Publication number
- JPS63285982A JPS63285982A JP62120913A JP12091387A JPS63285982A JP S63285982 A JPS63285982 A JP S63285982A JP 62120913 A JP62120913 A JP 62120913A JP 12091387 A JP12091387 A JP 12091387A JP S63285982 A JPS63285982 A JP S63285982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass layer
- laminate
- forming
- porous glass
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、微小位置決め素子、流体制御パルプ。
ロボット等に用いて好適な積層型セラミックアクチュエ
ータに関し、更に詳しくは内部電極の取出し方法に関す
るものである。
ータに関し、更に詳しくは内部電極の取出し方法に関す
るものである。
〈従来の技術〉
第１１図は従来用いられている積層型セラミックアクチ
ュエータを示すもので、（ａ）はセラミックシートの斜
視図、（ｂ）はセラミックシートを積層し電極リードを
形成した状態を示す断面図。
ュエータを示すもので、（ａ）はセラミックシートの斜
視図、（ｂ）はセラミックシートを積層し電極リードを
形成した状態を示す断面図。
（Ｃ）はセラミックアクチュエータに電源を接続した状
態を示す斜視図である。図（ａ）において。
態を示す斜視図である。図（ａ）において。
１は矩形状のセラミックシートであり、圧電セラミック
材料の仮焼粉末に適量のバインダー、可塑剤１分散剤を
添加し、有機溶剤中で混合し、簿膜状（厚さ０．１ｍｍ
程度）に乾燥したものである。
材料の仮焼粉末に適量のバインダー、可塑剤１分散剤を
添加し、有機溶剤中で混合し、簿膜状（厚さ０．１ｍｍ
程度）に乾燥したものである。
２はセラミックシート１の片面（または両面）に形成さ
れた厚さ数μｍ程度の内部電極である。図（ｂ）は上記
セラミックシートを積層し所望の枚数（例えば１００枚
）を重ねて加熱成型した後焼成して一体化し、側面に露
出した内部電極を両側面から絶縁部材１０．１０ａで交
互に覆い、この絶縁部材を含む積層体９の側面に例えば
銀ペースト等で外部電極３．４を形成している。図（Ｃ
）は上記の積層体９に電源６からリード線５を介して電
圧を印加した状態を示すもので、セラミックシートのそ
れぞれの表裏から電圧が印加され、積層体（アクチュエ
ータ）９が電源６から印加される電圧の強さに応じて伸
縮するようになっている。
れた厚さ数μｍ程度の内部電極である。図（ｂ）は上記
セラミックシートを積層し所望の枚数（例えば１００枚
）を重ねて加熱成型した後焼成して一体化し、側面に露
出した内部電極を両側面から絶縁部材１０．１０ａで交
互に覆い、この絶縁部材を含む積層体９の側面に例えば
銀ペースト等で外部電極３．４を形成している。図（Ｃ
）は上記の積層体９に電源６からリード線５を介して電
圧を印加した状態を示すもので、セラミックシートのそ
れぞれの表裏から電圧が印加され、積層体（アクチュエ
ータ）９が電源６から印加される電圧の強さに応じて伸
縮するようになっている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところで、上記従来技術において絶縁部材１０゜１０ａ
の形成に際しては、積層面に露出した内部電極に対して
一つおきに窓が開いたマスクを用いてスクリーン印刷等
で絶縁部材を塗布しているが。
の形成に際しては、積層面に露出した内部電極に対して
一つおきに窓が開いたマスクを用いてスクリーン印刷等
で絶縁部材を塗布しているが。
セラミックシートの一枚の厚さが薄いことと相俟って例
えば積層体を構成するセラミックシートのＯットに厚さ
のバラツキがあった場合、マスクの位置がずれ絶縁不良
になるという問題があり、また、大量に生産する場合に
は生産性が悪いという問題がある。
えば積層体を構成するセラミックシートのＯットに厚さ
のバラツキがあった場合、マスクの位置がずれ絶縁不良
になるという問題があり、また、大量に生産する場合に
は生産性が悪いという問題がある。
本発明は上記従来技術の問題点に鑑みて成されたもので
、六層生産に適したセラミックアクチュエータの電極形
成方法を提供することを目的とする。
、六層生産に適したセラミックアクチュエータの電極形
成方法を提供することを目的とする。
く問題点を解決するための手段〉
上記問題点を解決するための本発明の構成は。
シート状の圧電セラミックの少なくとも一方の面に内部
電極を形成し、このシートを複数枚積層し、外部電極を
介して前記内部電極のそれぞれに電界を印加して駆動さ
せるセラミックアクチュエータの電極形成方法において
。
電極を形成し、このシートを複数枚積層し、外部電極を
介して前記内部電極のそれぞれに電界を印加して駆動さ
せるセラミックアクチュエータの電極形成方法において
。
ａ）前記内部電極は矩形状に形成されたシートの一辺に
沿った小面積を除いて形成するとともに前記シートの電
極が形成されない小面積の部分を交互に１８０６回転さ
せた状態で積層する工程。
沿った小面積を除いて形成するとともに前記シートの電
極が形成されない小面積の部分を交互に１８０６回転さ
せた状態で積層する工程。
ｂ）前記８積層体のすべての内部電極が露出した一方の
側面にガラスペーストを形成した後、そのペーストが多
孔質ガラス層を形成するように焼成する工程。
側面にガラスペーストを形成した後、そのペーストが多
孔質ガラス層を形成するように焼成する工程。
Ｃ）前記小面積の内部電極を形成しない部分が交互に配
置された側面の少なくとも一方に帯状に導電体を形成し
、一方の導電体部分と前記多孔質ガラス層を形成した部
分を除いて絶縁体を形成する工程。
置された側面の少なくとも一方に帯状に導電体を形成し
、一方の導電体部分と前記多孔質ガラス層を形成した部
分を除いて絶縁体を形成する工程。
ｄ）前記積層体に電気めっきを行って前記多孔質ガラス
層を通してめっき材を前記内部電極に付着させ、前記多
孔質ガラス層の表面に露出するまで成長させる工程。
層を通してめっき材を前記内部電極に付着させ、前記多
孔質ガラス層の表面に露出するまで成長させる工程。
ｅ）前記積層体を加熱し、めっきを付着させた多孔質ガ
ラス層を緻密化ガラスにする工程。
ラス層を緻密化ガラスにする工程。
ｆ）前記積層体の他方の長辺側面に前記ｂ〜ｅの工程と
同様な工程でガラスペーストを形成し。
同様な工程でガラスペーストを形成し。
多孔質ガラス層に焼成し、めっき加工を行って緻密化ガ
ラス層にする工程。
ラス層にする工程。
ｇ）前記両長辺側面のほぼ全面に外部電極を形成する工
程。
程。
ｈ）前記積層体を複数個に切断する工程。
により電極を形成したことを特徴とするものである。
〈実施例〉
以下２本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。な
お、従来技術と同一要素には同一符号を付しである。
お、従来技術と同一要素には同一符号を付しである。
第１図〜第６図は本発明のセラミックアクチュエータの
製作工程の概略を示す図である。第１図は第１の工程で
１図（ａ＞はセラミックシートの形状と内部電極の形成
状態を示している。本例においては長方形状のセラミッ
クシートの一方の短辺の縁に沿った小面積２′部を残し
て内部電極２が形成されている。図（ｂ）は図（ａ）に
示すセラミックシートを一枚おきに１８０°回転させて
積層した積層体９の側面図である。長方形の長辺側面に
は電極がすべて露出しており、短辺は内部電極が交互に
露出した状態を示している。
製作工程の概略を示す図である。第１図は第１の工程で
１図（ａ＞はセラミックシートの形状と内部電極の形成
状態を示している。本例においては長方形状のセラミッ
クシートの一方の短辺の縁に沿った小面積２′部を残し
て内部電極２が形成されている。図（ｂ）は図（ａ）に
示すセラミックシートを一枚おきに１８０°回転させて
積層した積層体９の側面図である。長方形の長辺側面に
は電極がすべて露出しており、短辺は内部電極が交互に
露出した状態を示している。
第２図は第２の工程を示し、積層体９の長辺側面の一方
の側（図では前面）のほぼ全面にガラスペースト２０を
印刷した状態を示し、このガラスペースト２０を印刷し
た状態の積層体９を５００℃程度で加熱する。この加熱
によりガラス層は第７図に拡大断面図で示すような多孔
質ガラス層２０１となる。
の側（図では前面）のほぼ全面にガラスペースト２０を
印刷した状態を示し、このガラスペースト２０を印刷し
た状態の積層体９を５００℃程度で加熱する。この加熱
によりガラス層は第７図に拡大断面図で示すような多孔
質ガラス層２０１となる。
第３図は第３の工程を示し、積層体９の短辺側面に露出
した内部電極に接するように導電体２１゜２１８を形成
し、多孔質のガラス層２０１を形成しない（１１面の）
長辺側に絶縁体（図示せず）を形成する。なお、この絶
縁体は多孔質ガラス層２０１および一方の短辺側面（例
えば２１の導電体）のみを残して他の全面に形成しても
よい。
した内部電極に接するように導電体２１゜２１８を形成
し、多孔質のガラス層２０１を形成しない（１１面の）
長辺側に絶縁体（図示せず）を形成する。なお、この絶
縁体は多孔質ガラス層２０１および一方の短辺側面（例
えば２１の導電体）のみを残して他の全面に形成しても
よい。
第４図は第４の工程を示し、積層体９の内部電極にめっ
きを施している状態を示している。図において２２はめ
っき層、２３はめつき液、２４は電源である。このめつ
き工程では第８図に積層体の多孔質ガラス層２０１を拡
大した断面図で示すように、めっきが多孔質ガラス１！
２０１の外側に析出するまで行う。この場合内部電極２
は交互に導電体２１に接しているので、一枚おきにめっ
きされる。
きを施している状態を示している。図において２２はめ
っき層、２３はめつき液、２４は電源である。このめつ
き工程では第８図に積層体の多孔質ガラス層２０１を拡
大した断面図で示すように、めっきが多孔質ガラス１！
２０１の外側に析出するまで行う。この場合内部電極２
は交互に導電体２１に接しているので、一枚おきにめっ
きされる。
第５図は積層体９の多孔質ガラス層にめっきが一枚おき
に析出した状態を示している。第５の工程ではこの状態
の積層体を８５０℃程度に加熱する。その結果、第９図
に示すように多孔質ガラス層は凝縮して緻密化ガラス層
２０２となるので。
に析出した状態を示している。第５の工程ではこの状態
の積層体を８５０℃程度に加熱する。その結果、第９図
に示すように多孔質ガラス層は凝縮して緻密化ガラス層
２０２となるので。
めっき部分の結合度が良好になるとともに隣接する内部
電極との絶縁性も向上する。
電極との絶縁性も向上する。
次に第３の工程で形成した絶縁体を除去し、他方の長辺
側面（すなわち、めっきを流した部分の反対側）側に第
２の工程と同様にガラスペーストを印刷し、以下同様の
工程により第５の工程までを実施してめっきを行い多孔
質ガラス層を緻密化ガラス層にする。ただし、めっきの
際の絶縁体く図示せず）は導電体２１ａで示す側および
今回めっきを施す側を除いて形成する。
側面（すなわち、めっきを流した部分の反対側）側に第
２の工程と同様にガラスペーストを印刷し、以下同様の
工程により第５の工程までを実施してめっきを行い多孔
質ガラス層を緻密化ガラス層にする。ただし、めっきの
際の絶縁体く図示せず）は導電体２１ａで示す側および
今回めっきを施す側を除いて形成する。
上記工程により積層体９の両長辺側面に一枚おきに、か
つ、交互に電極を形成することが出来る。
つ、交互に電極を形成することが出来る。
第６図は第６の工程を示し、この積層体９の両長辺側面
に銀ペースト等で外部電極３，４を印刷し焼成後所定の
長さに切断し複数の積層体９ａを得る。第１０図は切断
後の積層体）９ａを示すもので、矢印イで示す箇所と口
で示す箇所の内部電極が一枚おきに外部電極３．４に接
続している状態を示している。
に銀ペースト等で外部電極３，４を印刷し焼成後所定の
長さに切断し複数の積層体９ａを得る。第１０図は切断
後の積層体）９ａを示すもので、矢印イで示す箇所と口
で示す箇所の内部電極が一枚おきに外部電極３．４に接
続している状態を示している。
なお１本実施例においては外部電極の材質を銀ペースト
としたがこの材料に限るものではなく他の同様な性質を
有するものであればよい。また。
としたがこの材料に限るものではなく他の同様な性質を
有するものであればよい。また。
積層体の形状も本実施例に限るものではない。また、第
３の工程で形成する導電体２１ａは他方の長辺側面にめ
っきを施す直前に形成してもよい。
３の工程で形成する導電体２１ａは他方の長辺側面にめ
っきを施す直前に形成してもよい。
〈発明の効果〉
以上、実施例とともに具体的に説明したように本発明に
よれば、マスクを用いてスクリーン印刷等により絶縁部
材を塗布しないので、セラミックシートのロフトに厚さ
のバラツキがあっても位置ずれによる絶縁不良がなく、
また、はじめに積層体を大きく形成しておいて、外部電
極形成後切断するので大量生産が可能である。さらに、
外部電極との接合部はめっきされた金属が内部電極より
広がっているので接続が確実になるという効果がある。
よれば、マスクを用いてスクリーン印刷等により絶縁部
材を塗布しないので、セラミックシートのロフトに厚さ
のバラツキがあっても位置ずれによる絶縁不良がなく、
また、はじめに積層体を大きく形成しておいて、外部電
極形成後切断するので大量生産が可能である。さらに、
外部電極との接合部はめっきされた金属が内部電極より
広がっているので接続が確実になるという効果がある。
第１図〜第１０図は本発明のセラミックアクチュエータ
の製作工程例を示す説明図、第１１図は従来例を示す説
明図である。 １・・・セラミックシート、２・・・内部電極、２１゜
２１ａ・・・導電体、９．９８・・・積層体、２０・・
・ガラスペースト、２０１・・・多孔質ガラス層、２０
２・・・緻密化ガラ環Ｌ ’１１７ （ａ ） （ｂ）
第 １ （ａ） ９２ 口 １ａ 図 （ｂ） 某 ３ し 導電 第 ４ 図 毫 ６ 口 第 ５ 図
の製作工程例を示す説明図、第１１図は従来例を示す説
明図である。 １・・・セラミックシート、２・・・内部電極、２１゜
２１ａ・・・導電体、９．９８・・・積層体、２０・・
・ガラスペースト、２０１・・・多孔質ガラス層、２０
２・・・緻密化ガラ環Ｌ ’１１７ （ａ ） （ｂ）
第 １ （ａ） ９２ 口 １ａ 図 （ｂ） 某 ３ し 導電 第 ４ 図 毫 ６ 口 第 ５ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 シート状の圧電セラミックの少なくとも一方の面に内部
電極を形成し、このシートを複数枚積層し、外部電極を
介して前記内部電極のそれぞれに電界を印加して駆動さ
せるセラミックアクチュエータの電極形成方法において
、 ａ）前記内部電極は矩形状に形成されたシートの一辺に
沿った小面積を除いて形成するとともに前記シートの内
部電極を形成しない少面積の部分を交互に１８０°回転
させた状態で積層する工程。 ｂ）前記積層体のすべての内部電極が露出した一方の側
面にガラスペーストを形成した後、そのペーストが多孔
質ガラス層を形成するように焼成する工程。 ｃ）前記小面積の内部電極を形成しない部分が交互に配
置された側面の少なくとも一方に帯状に導電体を形成し
、その一方の導電体と前記多孔質ガラス層を形成した部
分を除いて絶縁体を形成する工程。 ｄ）前記積層体に電気めっきを行つて前記多孔質ガラス
層を通してめつき材を前記内部電極に付着させ、前記多
孔質ガラス層の表面に露出するまで成長させる工程。 ｅ）前記積層体を加熱し、めっきを付着させた前記多孔
質ガラス層を緻密化ガラス層にする工程。 ｆ）前記積層体の他方の長辺側面に前記ｂ〜ｅの工程と
同様な工程でガラスペーストを形成し、多孔質ガラス層
に焼成し、めつき加工を行つて緻密化ガラス層にする工
程。 ｇ）前記両長辺側面のほぼ全面に外部電極を形成する工
程。 ｈ）前記積層体を複数個に切断する工程。 により電極を形成したことを特徴とするセラミックアク
チュエータの電極形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62120913A JPS63285982A (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | セラミックアクチュエ−タの電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62120913A JPS63285982A (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | セラミックアクチュエ−タの電極形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63285982A true JPS63285982A (ja) | 1988-11-22 |
| JPH0553312B2 JPH0553312B2 (ja) | 1993-08-09 |
Family
ID=14798093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62120913A Granted JPS63285982A (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | セラミックアクチュエ−タの電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63285982A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0423324U (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-26 | ||
| US7791256B2 (en) | 2003-09-24 | 2010-09-07 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
-
1987
- 1987-05-18 JP JP62120913A patent/JPS63285982A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0423324U (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-26 | ||
| US7791256B2 (en) | 2003-09-24 | 2010-09-07 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| US7936108B2 (en) | 2003-09-24 | 2011-05-03 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element with electrodes made of glass and conductive material |
| US8004155B2 (en) | 2003-09-24 | 2011-08-23 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0553312B2 (ja) | 1993-08-09 |
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