JPS6335988U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6335988U JPS6335988U JP12907786U JP12907786U JPS6335988U JP S6335988 U JPS6335988 U JP S6335988U JP 12907786 U JP12907786 U JP 12907786U JP 12907786 U JP12907786 U JP 12907786U JP S6335988 U JPS6335988 U JP S6335988U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- laser mirror
- variation
- laser
- mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は本考案に係る超精度処理装置の第１実
施例を示す概略的平面図、第２図はレーザミラー
の位置補正状態を示す説明図、第３図は本考案に
係る第２実施例を示す概略的平面図である。 １……ステージ、２，３……レーザミラー、Ｍ
１―１〜３……第１のマーク、Ｍ２―１〜３……
第２のマーク、Ｗ……被処理材。
施例を示す概略的平面図、第２図はレーザミラー
の位置補正状態を示す説明図、第３図は本考案に
係る第２実施例を示す概略的平面図である。 １……ステージ、２，３……レーザミラー、Ｍ
１―１〜３……第１のマーク、Ｍ２―１〜３……
第２のマーク、Ｗ……被処理材。
Claims (1)
- Ｘ―Ｙ軸方向に移動可能なステージ上に位置測
定用レーザミラーをほぼ直角に取付け、かつレー
ザシステムを使用して位置測定しながら前記ステ
ージ上に載置した被処理材への処理を行なう超精
密処理装置において、前記レーザミラー側に該レ
ーザミラーの位置測定が可能な第１のマークを設
置する一方、前記ステージ上にも、位置測定が可
能な第２のマークを設置し、これらマーク位置の
変動を測定して前記レーザミラーのステージに対
する位置変動を求め、かつその変動量で前記ステ
ージの位置測定情報に補正を加えながら被処理材
への処理を行なうことを特徴とする超精密処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12907786U JPS6335988U (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12907786U JPS6335988U (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6335988U true JPS6335988U (ja) | 1988-03-08 |
Family
ID=31025329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12907786U Pending JPS6335988U (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6335988U (ja) |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP12907786U patent/JPS6335988U/ja active Pending
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