JPS634727B2 - - Google Patents
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- JPS634727B2 JPS634727B2 JP18740880A JP18740880A JPS634727B2 JP S634727 B2 JPS634727 B2 JP S634727B2 JP 18740880 A JP18740880 A JP 18740880A JP 18740880 A JP18740880 A JP 18740880A JP S634727 B2 JPS634727 B2 JP S634727B2
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- tray
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は水晶振動子の周波数調整装置、特に、
水晶振動子の表面に微少量の金属物質を蒸着する
ことにより周波数を調整するようにした水晶振動
子の調整装置に関する。
水晶振動子の表面に微少量の金属物質を蒸着する
ことにより周波数を調整するようにした水晶振動
子の調整装置に関する。
一般に水晶振動子１は第１図に示すように適当
な形状にカツトとした水晶片２の両面に銀、アル
ミニユーム、金等の物質を真空蒸着により設ける
ことにより励振電極３，３（一方は図示せず）お
よび端子４，４と成し、この水晶片２を基台５に
植設した導出端子６，６と接続された保持部材
７，７に挾持させた後、保持部材７，７と端子
４，４とを導電性の接着剤により接着し、水晶片
２の周波数を端子４，４、保持部材７，７、導出
端子６，６を介して外部へ取出すものである。
な形状にカツトとした水晶片２の両面に銀、アル
ミニユーム、金等の物質を真空蒸着により設ける
ことにより励振電極３，３（一方は図示せず）お
よび端子４，４と成し、この水晶片２を基台５に
植設した導出端子６，６と接続された保持部材
７，７に挾持させた後、保持部材７，７と端子
４，４とを導電性の接着剤により接着し、水晶片
２の周波数を端子４，４、保持部材７，７、導出
端子６，６を介して外部へ取出すものである。
ところで、前記した水晶振動子１の周波数は水
晶片２の形状、大きさあるいは励振電極３，３、
端子４，４の質、量により決定するものである
が、単に所定形状の水晶片２に、所定の物質を所
定量蒸着しただけでは予め定められた基準周波数
0を備えた水晶振動子を得ることは困難なことで
あり、そのため、従来の水晶振動子１は以下に説
明するように、水晶振動子１の励振電極３，３上
に更に微少量の銀、アルミニユーム、金等の物質
を数回に分けて蒸着し続け、蒸着により変化して
いく周波数1が基準周波数0と等しくなる点を求
め、その蒸着を停止し、基準周波数0を備えた水
晶振動子１を得るものである。
晶片２の形状、大きさあるいは励振電極３，３、
端子４，４の質、量により決定するものである
が、単に所定形状の水晶片２に、所定の物質を所
定量蒸着しただけでは予め定められた基準周波数
0を備えた水晶振動子を得ることは困難なことで
あり、そのため、従来の水晶振動子１は以下に説
明するように、水晶振動子１の励振電極３，３上
に更に微少量の銀、アルミニユーム、金等の物質
を数回に分けて蒸着し続け、蒸着により変化して
いく周波数1が基準周波数0と等しくなる点を求
め、その蒸着を停止し、基準周波数0を備えた水
晶振動子１を得るものである。
以下、従来の周波数調整装置について、第２図
〜第６図を用いて説明する。前記した未調整の水
晶振動子１は第２図あるいは第３図に示すよう
に、保管の都合上トレー８，８′にその複数個
（10〜15個）が収納されている。第３図示では水
晶振動子１が個々の収納台９を介してトレー８′
に収納されている。
〜第６図を用いて説明する。前記した未調整の水
晶振動子１は第２図あるいは第３図に示すよう
に、保管の都合上トレー８，８′にその複数個
（10〜15個）が収納されている。第３図示では水
晶振動子１が個々の収納台９を介してトレー８′
に収納されている。
そして、周波数を調整する場合、トレー８，
８′上の水晶振動１を１つづつ真空収納室（図示
せず）に設けたターンテーブル１０，１０′に設
けた端子挿入部１１，１１あるいは収納台９の収
納孔１１′に入れ替え、その後、ターンテーブル
１０，１０′を間欠的に回転し、蒸発源１２，１
２′より銀、アルミニユーム、金等の物質を微少
量、対向する水晶振動子１の励振電極３上に蒸着
し、その水晶振動子１の周波数1が基準周波数0
になるまで、数回に分けて蒸着を行うものであ
る。数回に分けて蒸着を行うのは１度に蒸着を行
うと、その途中で基準周波数0を越えてしまうの
を防止するためで、一般には２回目の蒸着は前記
第１回目よりさらに微少量で、また、３回目はさ
らに微少量の蒸着を行うもので、この３回目の蒸
着中に基準周波数0に到達するものが多いもので
ある。
８′上の水晶振動１を１つづつ真空収納室（図示
せず）に設けたターンテーブル１０，１０′に設
けた端子挿入部１１，１１あるいは収納台９の収
納孔１１′に入れ替え、その後、ターンテーブル
１０，１０′を間欠的に回転し、蒸発源１２，１
２′より銀、アルミニユーム、金等の物質を微少
量、対向する水晶振動子１の励振電極３上に蒸着
し、その水晶振動子１の周波数1が基準周波数0
になるまで、数回に分けて蒸着を行うものであ
る。数回に分けて蒸着を行うのは１度に蒸着を行
うと、その途中で基準周波数0を越えてしまうの
を防止するためで、一般には２回目の蒸着は前記
第１回目よりさらに微少量で、また、３回目はさ
らに微少量の蒸着を行うもので、この３回目の蒸
着中に基準周波数0に到達するものが多いもので
ある。
また、基準周波数0に到達したか否かは調整し
ようとする水晶振動子１の導出端子６，６を発振
回路（図示せず）に接続し、該発振回路に基準周
波数0を流すことによりゼロビートを検出させれ
ばよいものである。
ようとする水晶振動子１の導出端子６，６を発振
回路（図示せず）に接続し、該発振回路に基準周
波数0を流すことによりゼロビートを検出させれ
ばよいものである。
そして、調整後、真空収納室の真空状態を解除
し、水晶振動子１を再びトレー８，８′に収納し、
再び、他のトレー８，８′から他の水晶振動子１
を取出し、同様の作業を行うものである。
し、水晶振動子１を再びトレー８，８′に収納し、
再び、他のトレー８，８′から他の水晶振動子１
を取出し、同様の作業を行うものである。
ところで、前記した調整装置の場合、トレー
８，８′に収納された水晶振動子１を１つづつ取
出し真空収納室内のターンテーブル１０，１０′
に装着し、調整後、再びトレー８，８′に収納す
るものであるため、作業効率が悪く、多量に調整
することが困難であるばかりか、水晶振動子１の
出入が多いため、その途中で水晶振動子１を破損
してしまう等の欠点があつた。
８，８′に収納された水晶振動子１を１つづつ取
出し真空収納室内のターンテーブル１０，１０′
に装着し、調整後、再びトレー８，８′に収納す
るものであるため、作業効率が悪く、多量に調整
することが困難であるばかりか、水晶振動子１の
出入が多いため、その途中で水晶振動子１を破損
してしまう等の欠点があつた。
本発明は叙上の点に鑑み、水晶振動子１をトレ
ーより取出すことなく、そのままの状態で、調整
を行うようにしたもので、作業能率の向上および
水晶振動子１の破損がないものを提供することを
目的とする。
ーより取出すことなく、そのままの状態で、調整
を行うようにしたもので、作業能率の向上および
水晶振動子１の破損がないものを提供することを
目的とする。
以下、本発明の１実施例を図面に基づき詳細に
説明する。なお、本発明における水晶振動子１も
前記従来例と同一であるため、同一の符号としそ
の詳細は省略する。
説明する。なお、本発明における水晶振動子１も
前記従来例と同一であるため、同一の符号としそ
の詳細は省略する。
第７図イ，ロは本発明に使用するトレー２０の
１実施例で、イ図は正面図、ロ図は側面図であ
る。同図から明らかなように、トレー２０上には
複数個（約10〜15個）の水晶振動子１が収納さ
れ、収納のため、特に図示してないがその上面に
は導出端子６，６の挿入孔が設けてあり、その両
側面下部には後述するギヤ２５，３１と噛合する
ためのラツクギヤ２１，２１が設けてある。
１実施例で、イ図は正面図、ロ図は側面図であ
る。同図から明らかなように、トレー２０上には
複数個（約10〜15個）の水晶振動子１が収納さ
れ、収納のため、特に図示してないがその上面に
は導出端子６，６の挿入孔が設けてあり、その両
側面下部には後述するギヤ２５，３１と噛合する
ためのラツクギヤ２１，２１が設けてある。
第８図は周波数調整装置を示す平面図、第９図
は同部分断側面図である。図において、２２は真
空収納室で、適宜手段により該室内は真空になつ
たり、解除されたりするものである。２３は真空
収納室２２内に配置されたターンテーブルで、タ
ーンテーブル２３はモータ２４に所定量（実施例
では1/16回転）間欠的に回転するものである。ま
た、ターンテーブル２３の円周付近には等間隔に
16個の孔２３ａ，２３ｂ……２３ｐが設けてあ
る。そして、該ターンテーブル２３上には前記し
たトレー２０が16個収納できるようになつてい
る。２５はターンテーブル２３上に収納されたト
レー２０の側面に設けたラツクギヤ２１と噛合す
る送りギヤで、該送りギヤ２５はターンテーブル
２３が所定の位置に定位した時、任意の手段によ
り孔、２３ａ〜２３ｐの１つから突出し、モータ
２６の回転により所定量づつ回転し、トレー２０
を間欠的に後述する調整部２９側へ移動させるも
のである。なお、２７はモータ２６に設けたギ
ヤ、２８は中間ギヤである。２９は水晶振動子１
の周波数を調整するための調整部で、該調整部２
９は前記トレー２０の１つが収納可能な大きさ
で、水晶振動子１の励振電極３面に銀、アルミニ
ユーム、金等の金属物質を微少量蒸着させるため
の蒸発源３０と、調整部２９に取出されたトレー
２０に元のターンテーブル２３上に復帰させるた
めの戻しギヤ３１が設けてある。３２はギヤ３１
を回転させるためのモータである。
は同部分断側面図である。図において、２２は真
空収納室で、適宜手段により該室内は真空になつ
たり、解除されたりするものである。２３は真空
収納室２２内に配置されたターンテーブルで、タ
ーンテーブル２３はモータ２４に所定量（実施例
では1/16回転）間欠的に回転するものである。ま
た、ターンテーブル２３の円周付近には等間隔に
16個の孔２３ａ，２３ｂ……２３ｐが設けてあ
る。そして、該ターンテーブル２３上には前記し
たトレー２０が16個収納できるようになつてい
る。２５はターンテーブル２３上に収納されたト
レー２０の側面に設けたラツクギヤ２１と噛合す
る送りギヤで、該送りギヤ２５はターンテーブル
２３が所定の位置に定位した時、任意の手段によ
り孔、２３ａ〜２３ｐの１つから突出し、モータ
２６の回転により所定量づつ回転し、トレー２０
を間欠的に後述する調整部２９側へ移動させるも
のである。なお、２７はモータ２６に設けたギ
ヤ、２８は中間ギヤである。２９は水晶振動子１
の周波数を調整するための調整部で、該調整部２
９は前記トレー２０の１つが収納可能な大きさ
で、水晶振動子１の励振電極３面に銀、アルミニ
ユーム、金等の金属物質を微少量蒸着させるため
の蒸発源３０と、調整部２９に取出されたトレー
２０に元のターンテーブル２３上に復帰させるた
めの戻しギヤ３１が設けてある。３２はギヤ３１
を回転させるためのモータである。
次に、前記調整装置における水晶振動子１の周
波数調整について説明する。先ず、真空収納室２
２の上部カバー（図示せず）を開放し、水晶振動
子１を複数個収納したトレー２０を所定位置の所
定量（実施例では16個まで可能）収納する。収納
後上部カバーを閉鎖し、収納室２２を真空状態に
変更する。その後、モータ２４を所定量回転させ
て、トレー２０の１つを調整部２９に対向させ
る。トレー２０が調整部２９と対向するとターン
テーブル２３の回転が停止すると共にターンテー
ブル２３の孔２３ａより送りギヤ２５が上昇し、
トレー２０のラツクギヤ２１と噛合する。そし
て、モータ２６を所定量づつ回転させることによ
り、水晶振動子１の最初の１つに対し、その励振
電極３面に蒸発源３０より金属物質を微少量蒸着
し、次に、次の水晶振動子１の順に行い、そのト
レー２０内の最後の１つの蒸着が終了すると、調
整部２９内の戻しギヤ３１および前記送りギヤ２
５が逆回転し、トレー２０を元の位置に復帰す
る。トレー２０が戻ると送りギヤ２５が降下し、
再び、ターンテーブル２３は所定量回転し、次の
トレー２０を調整部２９に対向させ、そのトレー
２０内の水晶振動子１を前記と同様の方法により
蒸着する。このように蒸着を繰り返しターンテー
ブル２３を１回転させると、各トレー２０内の水
晶振動子１の第１回目の前調整が終了する。な
お、前記動作において、ターンテーブル２３の回
転開始および停止、送りギヤ２５の上昇、下降お
よび回転開始、停止、蒸着の開始、終了、戻しギ
ヤ３１の回転開始、停止等は何れも特に図示して
ないがセンサー等によりマイクロコンピユータを
働かせることにより簡単に制御することができる
ものである。
波数調整について説明する。先ず、真空収納室２
２の上部カバー（図示せず）を開放し、水晶振動
子１を複数個収納したトレー２０を所定位置の所
定量（実施例では16個まで可能）収納する。収納
後上部カバーを閉鎖し、収納室２２を真空状態に
変更する。その後、モータ２４を所定量回転させ
て、トレー２０の１つを調整部２９に対向させ
る。トレー２０が調整部２９と対向するとターン
テーブル２３の回転が停止すると共にターンテー
ブル２３の孔２３ａより送りギヤ２５が上昇し、
トレー２０のラツクギヤ２１と噛合する。そし
て、モータ２６を所定量づつ回転させることによ
り、水晶振動子１の最初の１つに対し、その励振
電極３面に蒸発源３０より金属物質を微少量蒸着
し、次に、次の水晶振動子１の順に行い、そのト
レー２０内の最後の１つの蒸着が終了すると、調
整部２９内の戻しギヤ３１および前記送りギヤ２
５が逆回転し、トレー２０を元の位置に復帰す
る。トレー２０が戻ると送りギヤ２５が降下し、
再び、ターンテーブル２３は所定量回転し、次の
トレー２０を調整部２９に対向させ、そのトレー
２０内の水晶振動子１を前記と同様の方法により
蒸着する。このように蒸着を繰り返しターンテー
ブル２３を１回転させると、各トレー２０内の水
晶振動子１の第１回目の前調整が終了する。な
お、前記動作において、ターンテーブル２３の回
転開始および停止、送りギヤ２５の上昇、下降お
よび回転開始、停止、蒸着の開始、終了、戻しギ
ヤ３１の回転開始、停止等は何れも特に図示して
ないがセンサー等によりマイクロコンピユータを
働かせることにより簡単に制御することができる
ものである。
そして、第１回目が終了すると、蒸発源３０の
電圧を変更して、金属物質の蒸着量を前記より微
少量として、再び同一の動作を繰り返し中調整を
行う。勿論、第１回目もしくはこの２回目の調整
により基準周波数0を備える水晶振動子１が誕生
することもある。そして、最後に、蒸発源３０の
電圧をさらに変更して、金属物質の蒸着量をさら
に微少量にして、前記同様の動作を繰り返すこと
により最終調整を行うと、水晶振動子１は総て基
準周波数0を備えたものとなる。調整が終了した
ら、真空収納室２２の真空状態を解除し、上部カ
バーを開放して、トレー２０を取出せばよいもの
である。
電圧を変更して、金属物質の蒸着量を前記より微
少量として、再び同一の動作を繰り返し中調整を
行う。勿論、第１回目もしくはこの２回目の調整
により基準周波数0を備える水晶振動子１が誕生
することもある。そして、最後に、蒸発源３０の
電圧をさらに変更して、金属物質の蒸着量をさら
に微少量にして、前記同様の動作を繰り返すこと
により最終調整を行うと、水晶振動子１は総て基
準周波数0を備えたものとなる。調整が終了した
ら、真空収納室２２の真空状態を解除し、上部カ
バーを開放して、トレー２０を取出せばよいもの
である。
すなわち、上記方法によればターンテーブル２
３を２〜３回転することにより水晶振動子１の周
波数が調整できるものである。
３を２〜３回転することにより水晶振動子１の周
波数が調整できるものである。
第１０図は本発明の他の実施例を示したもの
で、この図から明らかなように、調整部を等間隔
に３個２９ａ，２９ｂ，２９ｃ設けたものであ
る。勿論各調整部２９ａ，２９ｂ，２９ｃには前
記第１の実施例と同様蒸発源３０ａ，３０ｂ，３
０ｃ、戻しギヤ３１ａ（他は図示せず）が設けて
あり、特に蒸発源３０ａ，３０ｂ，３０ｃの蒸着
量の関係は３０ａ＞３０ｂ＞３０ｃとなつてお
り、３０ａで前調整を、３０ｂで中調整を、３０
ｃで最終調整を行うようにしたもので、これによ
り、ターンテーブル２３の１回転で総ての調整が
行うことができ、しかも、ターンテーブル２３の
１回の停止で３個所同時に働かせることができ高
能率である。勿論、調整部２９ａ，２９ｂ，２９
ｃと対向する位置には送りギヤがあることは言う
までもなく、調整は前、中、最終と順番に行われ
るものである。
で、この図から明らかなように、調整部を等間隔
に３個２９ａ，２９ｂ，２９ｃ設けたものであ
る。勿論各調整部２９ａ，２９ｂ，２９ｃには前
記第１の実施例と同様蒸発源３０ａ，３０ｂ，３
０ｃ、戻しギヤ３１ａ（他は図示せず）が設けて
あり、特に蒸発源３０ａ，３０ｂ，３０ｃの蒸着
量の関係は３０ａ＞３０ｂ＞３０ｃとなつてお
り、３０ａで前調整を、３０ｂで中調整を、３０
ｃで最終調整を行うようにしたもので、これによ
り、ターンテーブル２３の１回転で総ての調整が
行うことができ、しかも、ターンテーブル２３の
１回の停止で３個所同時に働かせることができ高
能率である。勿論、調整部２９ａ，２９ｂ，２９
ｃと対向する位置には送りギヤがあることは言う
までもなく、調整は前、中、最終と順番に行われ
るものである。
なお、前記、第１、第２の実施例ではトレー２
０のターンテーブル２３への収納数を16個とした
が、必ずしも16個に限定されることなくいくつに
するかは設計、作業上の任意のことであり、ま
た、調整部２９の数を１つあるいは３としたが、
これも限定されることなく任意のことであり、さ
らに、ターンテーブル２３の回転、トレー２０の
移送をモータ２４，２６，３１を用いたがモータ
に限定されることなく、例えばソレノイドプラン
ジヤー等を使用してもよいものである。
０のターンテーブル２３への収納数を16個とした
が、必ずしも16個に限定されることなくいくつに
するかは設計、作業上の任意のことであり、ま
た、調整部２９の数を１つあるいは３としたが、
これも限定されることなく任意のことであり、さ
らに、ターンテーブル２３の回転、トレー２０の
移送をモータ２４，２６，３１を用いたがモータ
に限定されることなく、例えばソレノイドプラン
ジヤー等を使用してもよいものである。
以上説明したように、本発明によれば、水晶振
動子１の表面に微少量の金属物質を蒸着して周波
数を調整する水晶振動子の周波数調整装置におい
て、真空収納室２２、この真空収納室２２内で複
数個の水晶振動子１を収納した複数個のトレー２
０を間欠的に移送するターンテーブル２３、及び
このターンテーブル２３上のトレー２０を１つず
つ引き出す手段と、この引き出されたトレー２０
に収納された各水晶振動子１の表面に順次に微少
量の金属を蒸着する手段３０と、各水晶振動子１
の周波数変化を検出する手段からなる周波数調整
部２９を設けたので、水晶振動子１の基準周波数
0への調整は、従来のように水晶振動子１を１つ
１つトレー２０から取出す必要がなく、トレー２
０に収納されたまま行うことができ、作業能率が
著しく向上するばかりか、水晶振動子１にさわる
ことがないので、周波数の調整に際して振動子を
破損しない。また、真空収納室の真空状態を解除
せずに、確実に、かつ１度に多量の水晶振動子１
の調整ができる等の効果がある。
動子１の表面に微少量の金属物質を蒸着して周波
数を調整する水晶振動子の周波数調整装置におい
て、真空収納室２２、この真空収納室２２内で複
数個の水晶振動子１を収納した複数個のトレー２
０を間欠的に移送するターンテーブル２３、及び
このターンテーブル２３上のトレー２０を１つず
つ引き出す手段と、この引き出されたトレー２０
に収納された各水晶振動子１の表面に順次に微少
量の金属を蒸着する手段３０と、各水晶振動子１
の周波数変化を検出する手段からなる周波数調整
部２９を設けたので、水晶振動子１の基準周波数
0への調整は、従来のように水晶振動子１を１つ
１つトレー２０から取出す必要がなく、トレー２
０に収納されたまま行うことができ、作業能率が
著しく向上するばかりか、水晶振動子１にさわる
ことがないので、周波数の調整に際して振動子を
破損しない。また、真空収納室の真空状態を解除
せずに、確実に、かつ１度に多量の水晶振動子１
の調整ができる等の効果がある。
また、本発明の第２の実施例のように複数個の
調整部２９ａ，２９ｂ，２９ｃを設ければ、同時
に数個所で調整することができ、さらに高能率で
ある。
調整部２９ａ，２９ｂ，２９ｃを設ければ、同時
に数個所で調整することができ、さらに高能率で
ある。
第１図は水晶振動子１の構造を示す正面図、第
２図〜第６図は従来例を示し、第２図は第１のト
レー８を示し、イ図は正面図、ロ図は側面図、第
３図は第２のトレー８′を示し、イ図は正面図、
ロは側面図、第４図は調整装置の正面図、第５図
は同平面図、第６図は他形状の調整装置の平面
図、第７図〜第９図は本発明の第１の実施例を示
し、第７図はトレー２０を示し、イ図は正面図、
ロ図は側面図、第８図は調整装置の平面図、第９
図は同部分断側面図、第１０図は他の実施例を示
す平面図である。 １……水晶振動子、２０……トレー、２２……
真空収納室、２３……ターンテーブル、２５……
送りギヤ、２９……調整部、２９ａ，２９ｂ，２
９ｃ……調整部、３０……蒸発源、３０ａ，３０
ｂ，３０ｃ……蒸発源、３１……戻しギヤ、３１
ａ，３１ｂ，３１ｃ……戻しギヤ。
２図〜第６図は従来例を示し、第２図は第１のト
レー８を示し、イ図は正面図、ロ図は側面図、第
３図は第２のトレー８′を示し、イ図は正面図、
ロは側面図、第４図は調整装置の正面図、第５図
は同平面図、第６図は他形状の調整装置の平面
図、第７図〜第９図は本発明の第１の実施例を示
し、第７図はトレー２０を示し、イ図は正面図、
ロ図は側面図、第８図は調整装置の平面図、第９
図は同部分断側面図、第１０図は他の実施例を示
す平面図である。 １……水晶振動子、２０……トレー、２２……
真空収納室、２３……ターンテーブル、２５……
送りギヤ、２９……調整部、２９ａ，２９ｂ，２
９ｃ……調整部、３０……蒸発源、３０ａ，３０
ｂ，３０ｃ……蒸発源、３１……戻しギヤ、３１
ａ，３１ｂ，３１ｃ……戻しギヤ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 水晶振動子の表面に微少量の金属物質を蒸着
して周波数を調整する水晶振動子の周波数調整装
置において、真空収納室と、この真空収納室内で
複数個の水晶振動子を収納した複数個のトレーを
間欠的に移送するターンテーブルと、このターン
テーブル上のトレーを１つずつ引き出す手段と、
この引き出されたトレーに収納された各水晶振動
子の表面に順次に微少量の金属を蒸着する手段
と、各水晶振動子の周波数変化を検出する手段と
を具備してなることを特徴とする水晶振動子の周
波数調整装置。 ２ 前記真空収納室内に、トレーを引き出す手
段、金属を蒸着する手段を複数個設けたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の水晶振動
子の周波数調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18740880A JPS57113607A (en) | 1980-12-30 | 1980-12-30 | Frequency adjuster for quartz oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18740880A JPS57113607A (en) | 1980-12-30 | 1980-12-30 | Frequency adjuster for quartz oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57113607A JPS57113607A (en) | 1982-07-15 |
| JPS634727B2 true JPS634727B2 (ja) | 1988-01-30 |
Family
ID=16205504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18740880A Granted JPS57113607A (en) | 1980-12-30 | 1980-12-30 | Frequency adjuster for quartz oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57113607A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07507185A (ja) * | 1992-03-02 | 1995-08-03 | クォーツ、プロ、ライン、ハーベー | ピエゾ電気共振器製造のための方法およびプラント |
-
1980
- 1980-12-30 JP JP18740880A patent/JPS57113607A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07507185A (ja) * | 1992-03-02 | 1995-08-03 | クォーツ、プロ、ライン、ハーベー | ピエゾ電気共振器製造のための方法およびプラント |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57113607A (en) | 1982-07-15 |
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