JPS6349380B2 - - Google Patents

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JPS6349380B2
JPS6349380B2 JP58112813A JP11281383A JPS6349380B2 JP S6349380 B2 JPS6349380 B2 JP S6349380B2 JP 58112813 A JP58112813 A JP 58112813A JP 11281383 A JP11281383 A JP 11281383A JP S6349380 B2 JPS6349380 B2 JP S6349380B2
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JP
Japan
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solder
weight
layer
lead frame
alloy
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Expired
Application number
JP58112813A
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English (en)
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JPS605550A (ja
Inventor
Michihiko Inaba
Koichi Tejima
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority to JP58112813A priority Critical patent/JPS605550A/ja
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Publication of JPS6349380B2 publication Critical patent/JPS6349380B2/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/40—Leadframes
    • H10W70/456—Materials

Landscapes

  • Die Bonding (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
[発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は電子部品に関し、さらに詳しくは、民
生用製品に用いられて好適な電子部品に関する。 (従来の技術) 民生用製品、例えば半導体素子は高出力、多機
能化が要求されており、しかもこれらは生産性が
よく低価格であることが条件とされている。 このような条件を充分満足させるために種々の
開発が進められている。この中では樹脂モールド
等が上記を満たす有力なものであるが、これらに
おいても次のような問題点があつてその解決が要
望されている。 すなわち、製造工程では避けて通れないマウン
ト工程、半導体素子とリード線とのボンデイグ工
程等があり、これに用いられるリード素子である
リードフレームは重要な部品である。このリード
フレームは、次のような過酷な条件を満足すれば
製造工程、価格及び特性等に極めて有利である。
すなわち、電気抵抗が小さいこと、表面酸化が少
ないこと、引張り強度が強いこと、延性が充分で
曲げ加工に対し強いこと、高温特性、例えば250
℃以上における機械的強度が充分であること、半
田とのぬれ性、耐候性が充分であること等であ
る。 このように種々の条件を全て満足するものはな
かなか得難いが、電気抵抗の小さい銅(Cu)基
合金がその中でも上記条件に近い特性を有するこ
とが知られている。このCuは導電率が高いこと、
加工が容易であること等上記条件には有利な金属
であるが、耐熱強度、耐酸化性、機械的強度等に
おいて不充分である。したがつて、上記条件を全
て満足する金属はないので、できるだけ多くの特
性を発揮する金属を主成分として選定し、これに
いくつかの添加成分を混合した合金を用いてい
る。しかしながら、例えばCuを主成分とし、こ
れにSn及びPを添加した合金は、強度的に不充
分であり、また、Snの代わりにFeを添加した合
金は、上記の要件を満足するまでに至つていな
い。 さらに、従来のCu基合金にあつては、これを
用いたIC用リードフレームにリード線等を固着
する際にSn半田を用いた場合、特に次の如き不
都合な現象が生じた。第1図は、リードフレーム
1をSn−Pb半田2で接合した場合における接合
部の走査型電子顕微鏡による拡大断面図である。
該図は、150℃における300時間経過後の組織図で
あり、IC作動中の熱等の付加による過酷な条件
が揃うことにより組織変化を生じ、半田を構成す
るSnがリードフレームのCuと結合していくつか
の層を形成する。第1層は、ε−Cu3Snからなる
a層、第2層はη−Cu6Sn5からなるb層、第3
層はPbのみ又は極めて高密度のPbからなるc層
である。この現象が著しい場合は、IC素子の半
田付けの信頼性を維持する上で好ましいものでは
ない。 諸現象を防止するには、金ボンデイグ性低下の
原因となるSnの添加量を下げ、かつこれに伴う
リードフレームの強度低下を防ぐため、Ni又は
Feを添加することが考えられる。しかしながら、
第2図に示したように、Ni又はFeを添加すると、
Ni及びFeとSnとが結合て、リードフレーム1と
半田2との接合面に約0.5μm厚以下のNi(Fe)−
Snからなる金属間化合物層3が形成される(使
用条件は前記と同様)。この金属間化合物層は、
ミクロ的に見て、Ni(Fe)とSnとの蜂巣状態を
呈している、該層3の形成は、リードフレーム1
と半田との接合強度を極度に低下せしめて両者の
剥離原因となるものであり、IC素子の信頼性を
低下させるため、致命的欠点となり得る。この現
象は、Snを含まない場合と比べ、Sn及びNi又は
Feが合金中に共存する場合に、上記金属記化合
物層の成長が著しく促進され、容易に剥離が起こ
つてしまう。 上記の如き剥離の原因は、次のように推定され
る。すなわち、リードフレームと半田との接合を
強固にするCu−Snの固溶状態部分が、Ni(Fe)−
Snの金属間化合物のバリア形成により低下し、
CuとSnの相互拡散が不充分となることにより剥
離が起こるものと考えられる。 以上のことから、Ni、Fe及びSnの添加量を下
げて、剥離を防止しなければならないが、Ni又
はFeを添加しない強度が向上せず、この場合に
Ni−Sn−Cu合金と同等の強度を得るためにはSn
を0.3%以上添加する必要がある。しかし、Snの
増量は、前記のように金ボンデイング性等に悪影
響を及ぼす。一方、Ni又はFeの増量は剥離を容
易に引き起こす原因となる。 (発明が解決しようとする問題点) 本発明は、上記の問題点を解決し、電子部品と
して要求される特性を充分に有し、かつ半田との
接合に伴う接合力の弱い金属間化合物の生成が極
めて少なく、接合力の優れた特性を有する電子部
品を提供することを目的とする。 [発明の構成] (問題点を解決するための手段及び作用) 本発明の電子部品は、主成分が銅で、第1添加
成分としてNi又はNi及びFeを0.05〜5重量%含
有し、第2添加成分としてSnを0.05〜4重量%含
有し、第3添加成分としてZnを0.1〜3重量%含
有する合金から形成されていることを特徴とす
る。 以下、本発明をさらに詳細に説明する。 本発明の電子部品としては、例えば、リードフ
レーム及びリード線が挙げられる。 該電子部品に用いられる合金の組成は、Ni又
はNi及びFeが0.05〜5重量%の範囲であ6、Sn
が0.05〜4重量%の範囲であり、Znが0.1〜3重
量%の範囲であり、残部がCuからなる。なお、
Niの一部をFeで置換する場合のFeの含有量は、
Ni及びFeの合計量中3重量%以下が好ましく、
2重量%以下がさらに好ましい。 合金の添加成分として用いるNi、Sn及びZn
は、上記条件に加えて、各成分に対するZnの重
量比が、次式; Zn1/20(Ni、Sn) で示される関係を満たすことが好ましい。Niの
一部をFeで置換する場合、次式; Zn1/20(Ni、Fe、Sn) で示される関係を満たすことが好ましい。 本発明の合成組成において、Ni又はNi及びFe
並びにSnの添加量がそれぞれ0.05重量%未満の場
合には、電子部品の強度が不充分となり、リード
フレーム等にあつてはソケツトへの挿入困難及び
変形という不都合な事態を招来し、Ni又はNi及
びFeの混合物の添加量が5重量%を超え、又は
Snの添加量が4重量%を超えると導電率の低下
を招来し、熱伝導効果も不充分となる。また、
Znの添加量が0.1重量%未満の場合は、後述する
Ni(Ni及びFe)集中拡散軽減層がわずかしか形
成されず、Ni(Ni及びFe)−Snの拡散結合による
金属間化合物を生成してしまい、3重量%を超え
ると、金ボンデイング性を低下せしめてIC素子
の信頼性を損ない、歩留りが悪くなる。さらに
Znの添加量が多い場合は、半田付けの際にZnが
瞬時に半田内に拡散し、半田の表面が荒れたり、
接合力が低下する等の種々の問題が発生する。 本発明の電子部品は前記合金から次のようにし
て製造される。例えば、リードフレームの場合
は、常法にしたがい、前記合金からなるインゴツ
トを製造し、これを圧延後、コイル化し、プレス
又はエツチング加工を施すことにより得られる。 本発明の合金を用いた場合に前記問題点が解消
される理由を第3図に基づいて説明する。第3図
は、Cu−Ni−Sn−Zn合金のリードフレームを製
造し、該フレームの一部にSn−Pb半田を溶着後、
これを約150℃で300時間強制加熱した場合におけ
る接合部の拡大断面図であり、図中、4はNi集
中拡散軽減層である。すなわち、Sn−Pb半田で
接合した場合は、Ni−Snの金属間化合物層の形
成がほとんど起こらず、これに代わつてZn−Cu
固溶体のZn濃縮に伴なうNi集中拡散軽減層4が
形成されている。該層4は、Cuに分散している
Niと半田内のSnとの拡散結合を能率よく軽減も
しくは抑制する作用を有しているため、Cu内に
おけるNiの移動が制限され、Niの安定した分散
状態が長期にわたつて維持されることになる。し
たがつて、Ni−Sn金属間化合物の生成がほとん
ど起こらないため、界面における剥離現象が生じ
ることはない。なお、Niの一部をFeに置換した
場合にも、上記と同様にNi及びFeとSnとの拡散
結合が抑制される。 (実施例) 本発明のリードフレームを、以下の方法によつ
て9種類製造した。 表に示した各元素をそれぞれボールミル内に装
填したのち、Arガスを充填して撹拌混合した。
得られた複合体を脱気した容器に装填し、これを
加熱溶融後、熱押出してインゴツトを成形した。
次に、このインゴツトを熱間及び冷間圧延したの
ち、切断加工してコイルを得た。しかるのち、こ
のコイルをプレス加工してリードフレームを製造
した。なお、表中の試料番号1及び2のリードフ
レームは、Ni又はNi及びFeの添加量が0.05〜5
重量%の範囲、Snが0.05〜4重量%の範囲、Zn
が0.1〜3重量%の範囲にある合金を用いたもの
であり、試料番号3〜9のリードフレームは、上
記条件に加えてNi(Ni及びFe)及びSnに対する
重量比が、次式; Zn1/20[Ni(Ni及びFe)、Sn] で示される関係を満たす合金を用いたものであ
る。 一方、比較のために表に示した本発明以外の合
金組成からなるリードフレームを6種類製造し
た。 以上のリードフレーム試料にSn−Pb半田を溶
着し、表に示した試験を行つた。各試験項目にお
ける判定基準はほぼ次のとおりである。 半田付け性:目視観察により判定した。 ○−優 △−良 ×−不良 半田耐候性:約150℃で300時間強制加熱したの
ち、90℃の繰り返し曲げを3回行い、剥離の有
無で判定した。 ○−剥離せず △−2回で剥離 ×−1回で剥
離 機械的強度:マイクロビツカース硬度計により判
定した。 ○−130MHv以上 ×−130MHv以下 なお、一部の試料については数値で表示した。
単位はMHvである。 導電性:純銅からなるリードフレームの導電率を
100とした場合に、何パーセントの導電率を有
しているかにより判定した。 ○−30%以上 △−30〜20% ×−20%以下 Ni集中拡散軽減層:約150℃で300時間強制加熱
したのち、該層が生成しているか否かをXMA
法により判定した。 有−生成 無−生成せず 金属組成の均一性:100倍の光学顕微鏡写真によ
り判定した。 良−100倍の光学顕微鏡写真で偏析が無い。 悪−100倍の光学顕微鏡写真で偏析が有る。 以上の試験結果について、全てにわたり優れて
いるものを◎、ほぼ全てにわたり優れているもの
を○、不良とされる試験項目があるものを×とし
て評価した。 試験結果を表に一括して記載した。
【表】 [発明の効果] 以上の説明から明らかなように、本発明の合金
は、Sn半田用電子部品に用いた場合に好適な結
果が得られる。すらわち、上記の如く、Ni(Ni及
びFe)−Sn結合に基づく界面での剥離現象の解消
に伴い、耐半田性及び半田耐候性が向上してい
る。また、Cu内にNi(Ni及びFe)を最大に添加
することが可能となるため、電子部品の強度をそ
れだけ増大できるという効果がある。さらにCu
内におけるNi(Ni及びFe)の集中拡散が抑制さ
れるため、安定した分散状態が得られ、接合部分
における機械的強度の部分的低下が回避される。
また、これらの元素添加によつても、なおCuに
基づく高導電率及び加工容易性等の諸特性を維持
している。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のリードフレームとPb−Sn半田
との接合部について、経時変化後の組織状態を示
した拡大断面図、第2図はリードフレームの合金
組成としてNi(Ni及びFe)を増量させた場合の
接合部の組織状態を示した拡大断面図、第3図は
本発明のリードフレームとSn−Pb半田との接合
部について、経時変化後の組織状態を示した拡大
断面図である。 1:リードフレーム、2:Sn−Pb半田、a:
ε−Cu3Sn層、b:η−Cu6Sn5層、c:Pb層、
3:Ni(Ni及びFe)−Sn金属間化合物層、4:Ni
(Ni及びFe)集中拡散軽減層。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 主成分が銅で、第1添加成分としてNi又は
    Ni及びFeを0.05〜5重量%含有し、第2添加成
    分としてSnを0.05〜4重量%含有し、第3添加成
    分としてZnを0.1〜3重量%含有する合金から形
    成されていることを特徴とする電子部品。 2 Ni又はNi及びFe並びにSnに対するZnの重量
    比が、次式; Zn1/20[Ni(Ni及びFe)Sn] で示される関係を有する特許請求の範囲第1項記
    載の電子部品。
JP58112813A 1983-06-24 1983-06-24 電子部品 Granted JPS605550A (ja)

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