JPS6355437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6355437U JPS6355437U JP14823386U JP14823386U JPS6355437U JP S6355437 U JPS6355437 U JP S6355437U JP 14823386 U JP14823386 U JP 14823386U JP 14823386 U JP14823386 U JP 14823386U JP S6355437 U JPS6355437 U JP S6355437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- growth apparatus
- phase growth
- growth
- substance
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案による一実施例の気相成長装置
の側断面図、第２図は従来の赤外線加熱方式の気
相成長装置の側断面図、第３図は従来の抵抗加熱
方式の気相成長装置の側断面図、である。 図において、１は反応管、２はソースチヤンバ
、３はソースボートＡ、４はソースボートＢ、５
はライナ管、６は基板ホルダ、７は成長基板、８
はキヤツプ、９ａはガス導入口、９ｂはガス導入
口、９ｃはガス導入口、１０は赤外線ランプ、１
１は反射板、１２は発熱板、を示す。
の側断面図、第２図は従来の赤外線加熱方式の気
相成長装置の側断面図、第３図は従来の抵抗加熱
方式の気相成長装置の側断面図、である。 図において、１は反応管、２はソースチヤンバ
、３はソースボートＡ、４はソースボートＢ、５
はライナ管、６は基板ホルダ、７は成長基板、８
はキヤツプ、９ａはガス導入口、９ｂはガス導入
口、９ｃはガス導入口、１０は赤外線ランプ、１
１は反射板、１２は発熱板、を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 赤外線ランプを加熱手段として用いる気相成長
装置において、 反応管１内部に赤外線を吸収して発熱する物質
の板１２を配設し、成長素材ガスを発生させるソ
ースチヤンバ２及び成長領域のライナ管５を均一
に加熱するようにしたことを特徴とする気相成長
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14823386U JPS6355437U (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14823386U JPS6355437U (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6355437U true JPS6355437U (ja) | 1988-04-13 |
Family
ID=31062312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14823386U Pending JPS6355437U (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6355437U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101248476B1 (ko) * | 2012-03-15 | 2013-04-02 | 주식회사루미지엔테크 | 박막 형성 장치 |
-
1986
- 1986-09-26 JP JP14823386U patent/JPS6355437U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101248476B1 (ko) * | 2012-03-15 | 2013-04-02 | 주식회사루미지엔테크 | 박막 형성 장치 |