JPS635641U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS635641U JPS635641U JP9667186U JP9667186U JPS635641U JP S635641 U JPS635641 U JP S635641U JP 9667186 U JP9667186 U JP 9667186U JP 9667186 U JP9667186 U JP 9667186U JP S635641 U JPS635641 U JP S635641U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod member
- wafer support
- support
- support rod
- semiconductor wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図乃至第３図は本考案の実施例に係るウエ
ハ支持ボートを示し、第１図は斜視図、第２図は
その要部上面図、第３図は正面図である。第４図
及び第５図は従来技術に係るウエハ支持ボートを
示し、第４図は正面図、第５図は上面図である。 １：ウエハ支持ボート、２Ａ，２Ｂ：半導体ウ
エハ、１１：一の支持棒材、１２〜１５：一又は
複数本のウエハ支持棒材、２１〜２４：ウエハ支
持溝。
ハ支持ボートを示し、第１図は斜視図、第２図は
その要部上面図、第３図は正面図である。第４図
及び第５図は従来技術に係るウエハ支持ボートを
示し、第４図は正面図、第５図は上面図である。 １：ウエハ支持ボート、２Ａ，２Ｂ：半導体ウ
エハ、１１：一の支持棒材、１２〜１５：一又は
複数本のウエハ支持棒材、２１〜２４：ウエハ支
持溝。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一の支持棒部材を挾んでその両側に一又は
複数本のウエハ支持棒材を平行に延設するととも
に、前記中央支持部材の左右両周面側に交互にウ
エハ支持溝を形成し、半導体ウエハが前記一の支
持棒部材の両側に、左右交互に列設可能に構成し
た事を特徴とするウエハ支持ボート。 (2) 前記左右交互に列設した半導体ウエハが、
互いに平行関係を維持して配置可能に構成した実
用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ支持ボ
ート。 (3) 前記一の支持棒部材の配設位置を中央位置
より左右いずれかの方向にずらす事により、該一
の支持棒部材の左右両側に異なる直径の半導体ウ
エハが配設可能に構成した実用新案登録請求の範
囲第１項又は第２項記載のウエハ支持ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9667186U JPS635641U (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9667186U JPS635641U (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS635641U true JPS635641U (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=30962662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9667186U Pending JPS635641U (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS635641U (ja) |
-
1986
- 1986-06-26 JP JP9667186U patent/JPS635641U/ja active Pending
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