JPS6357608U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は光ビームのｘ，ｙ各方向の位置検出の説明図
、第３図は差動アンプの出力特性を示す図、第４
図は光ビームのｚ方向の位置検出の説明図、第５
図は４分割フオトダイオード上のビームスポツト
形状を示す図、第６図はｚ方向位置信号の検出回
路を示す図、第７図は本考案の他の実施例を示す
構成図、第８図は２重格子への光ビームの入射状
態を示す図、第９図は本考案の他の実施例を示す
構成図、第１０図はコンパレータレベル設定の説
明図、第１１図は本考案の他の実施例を示す構成
図、第１２図は従来装置の構成例を示す図、第１
３図、第１４図はｘ，ｙ各方向の位置信号検出回
路の他の回路例を示す図である。 １……半導体レーザ、２，１２……コリメータ
レンズ、３……光フアイバ、４……パワーメータ
、１１，３１……ハーフミラー、１３……接続図
、１４……光学装置本体、１５……球レンズ、１
６……シリンドリカルレンズ、１７……４分割フ
オトダイオード、１８〜２０……差動アンプ、３
２，３３……回折格子、３４……光検出器、３５
，４５……アンプ、４４……フオトダイオード、
４１〜４３……コンパレータ、５０……ステージ
、５１〜５３……モータ付マイクロメータ、５１
〜５３……モータ付マイクロメータ、６０……２
次元半導体位置検出器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 光フアイバにレーザ光を入射させるレーザ
   光のフアイバ入力装置において、ハーフミラーに
   より２分した光の一方を光フアイバに、他方を光
   学系に導くと共に、光学系の通過光を４分割フオ
   トダイオードで受け、これら４分割フオトダイオ
   ード出力を差動アンプで演算処理して光ビーム位
   置信号を出力するように構成したことを特徴とす
   るレーザ光のフアイバ入力装置。 (2) 前記光学系として、球レンズとシリンドリ
   カルレンズよりなる非点収差光学系を用いたこと
   を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
   のレーザ光のフアイバ入力装置。 (3) 前記光学系として、２つの格子と光検出器
   を用いたことを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第１項記載のレーザ光のフアイバ入力装置。 (4) 前記差動アンプの後に、レーザ光の強さに
   よりコンパレータレベルを変える可変レベルコン
   パレータを設け、光ビーム位置を２値で表示する
   ようにしたことを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第１項記載のレーザ光のフアイバ入力装置。