JPS6364240A - 黒色パタ−ンの形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば陰極線管のカラー螢光面における黒色
物質層の形成、或はカラー螢光面の露光工程で用いる露
光台照度分布ｔＳａ　整フィルタの形成等に適用される
黒色パターンの形成方法に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、黒色パターンの形成の際の黒色物質塗膜の反
転現像において、黒色物質塗膜の面をメタノールを含む
処理液で湿らせてから剥離剤を注入することにより、次
の水スプレーによる現像で必要部分の黒色物質塗膜の剥
離を防止し°ζ良好な黒色パターンを形成するようにし
たものである。

〔従来の技術〕

通常、カラー陰極線管における螢光面、例えば赤、Ｕ及
び青の各色蛍光体ストライプ間に黒色ストライプ（光吸
収する黒色物質層）を自゛したカラー螢光面において、
その黒色ストライプは次のようにして形成される。

先ず、陰極線管のパネル内面に例えばＰＶＡ懇光股を塗
布し、乾燥後、色選択電極を光′？用マスクとしζ、紫
外線露光し、水洗等でＪＩＪ像処理して各色に対応した
位置にストライブ状のレジスト層を形成する。次に、レ
ジストＩＨを含む全面にカーボンスラリーを塗布し、乾
燥後、水を噴霧してそのカーボン塗膜面、を均一に湿ら
せてから過ヨウ素酸、過酸化水素水等の１す離削を注入
しレジスト層を膨潤させる。しかる後、所要の水圧の水
スプレーによりレジスト層とその上のカーボン塗膜を除
去し、所定パターンのカーボンストライプ即ち黒色スト
ライブを形成する。

これ以後は各色毎に螢光体スラリーを塗布し、乾燥後、
露光、現像して所定カーポンス１−ライブ間の部分に夫
々緑、青及び赤の各色蛍光体ストライブを形成し一ζカ
ラー螢光面が形成される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来は、水スプレーによる現像時に残したい部分のカー
ボン塗膜が剥シ１（されるのを防止するために、上述し
たように剥離剤の注入油にカーボン塗膜の全面に水を噴
霧して湿らしている。しかし、実際にはこの水の噴霧で
カーボン塗膜を均一に＾−らずことか非常に難かしく、
例えば大粒の水滴が当ったところが剥離剤の注入後の水
スプレーによる現像時にカーボン塗膜の剥れが発生ずる
ものであった。これは、例えば第２し１Δ〜Ｃにンバず
ようにパネル（１）の内面にＰＶＡ感光股によるストラ
イブ状のレジスｌｌ＃（２）を形成し、これを含んで全
面にカーボン塗膜（３）を形成した後に、水をｐ−α霧
したとき、例えば大粒の水滴（１１）が付着するとそこ
に２）１目１目的にン需れたところと）屹いているとこ
ろのｉ惹界（１２）ができ、その後水が周辺に浸造して
も境界（１２）が残り、そごから′１Ｌ１１１′情ごれ
る（即らｌＪ″４　ＩＨな境界ができこ一種のＪ７１間
′ｆ（１〜ｉｌｌ現像が生じるため）と考えられる。

本発明は、−１−述の点に渇み、剥１捕剤の汀人前に１
１．１色物質塗膜を容易珪つ均一に湿らし−で良好なパ
ターンの反転現像ができるようにしたＪバ色パターンの
形成方法を提イバ４るものである。

ｃ問題点を解決するためのＬ１立〕 本発明は、所定パターンのレジスト層ｆ２＋を含んで全
面に形成した１１４色物′Ｈ塗股（３）の反転現像にお
い゛（、黒色物質塗膜（３）をメタノールを含む処理液
（５）で／！ｌ−ら廿°ζから７Ｉ１．ｌＩ高ＩＩ斉１
（６）を注入ずろ。次で水スプレー（７）で現像して所
定の、１．１４色バクーン（８）を形成する。

メタノールを含む処理液（５）としては、１０〜１００
％メタノールｂ５度の溶液、ＩＩＩらメタノール水溶液
又はメタノール液を用゛いる。処理液（５）はメタノー
ル濃度がｉ′ｉ１い方が良く、１０％より低いと現像時
にＪ、１色物質塗膜（３）の剥れが生ずる。

〔作用〕

低分子量のメタノールを含む処理液ＩＩＩらメタノール
水溶液又はメタノール液（５）は、黒色物質塗膜（３）
への浸透性がよく、又表向張力が小さいので黒色物質塗
膜（３）を均一・に湿らずごとがＣきる。従−７て、そ
の後の剥離剤（６）の注入及び水スプレー（７）による
反転現像において１，１２１色物質塗膜（３）の剥れを
生ずることなく、良好な黒色パターンが形成される。

なお、処理液としてエタノール又は分子最の大きい界面
活性剤を用いた場合には効果はなかった。

〔実施例〕

以ト、第１図を参照して本発明の実施例を陰極線管のカ
ラー螢光面における黒色物質ＩＨの形成に適用した場合
について説明する。

本例においては、第１図へにネオように、ｈニー、　極
線管のパネル（１〕の内面に感光膜例えばＰＶＡ感光股
を塗布し、乾燥後、色ｊバ択電１−ｍ（ｆＪＩＩえはア
パーチャグリル）を光パＦ′用マスクとして緑、青及び
赤に対応するように３回紫外線露光し、現像処理して各
色に対応した位：６１にストライブ状のレジスト！−（
Ｒｉを形成する。次にレジストＪ’Ｍ　＋２１を含むパ
ネル（１）の内面全面に）１．１色物質塗膜例えばカー
ボンスラリーによる塗ＩＱ（３１を形成し、このカーボ
ン塗膜（３）を加熱ヒータ（・１）を介し°（乾燥１−
る。

次に、第１図Ｂに小すようにパネル（１）内にメタノー
ル濃度が１０〜１００％のメタノール水溶液又はメタノ
ール液（５）を注入し、カーボン塗１１ｓｒ　ｏ）の面
（３ａ）を均一にンＷら−」。

次に、第Ｊ図Ｃに小ずよっにパネル（１）内に過すウ素
酸、過酸化水７に１水等の、７．す離削（６）をＬＬ人
′イ゛る。

次に、第１１７１　Ｄに小Ｊように水スプレーによ−。

て現像する。１：１」ら広角スプレーガンにより所要の
水圧の水（７）を噴射してレジメ）　層ｆ２）及びその
ヒのカーボン塗膜（３）を除去し“ζ第１しＩＥにボず
目的のカーボンストライプ（即ち黒ｆム物質１＝’ｉ）
　（８１を形成１°る。

しかる後、通常のように例えばｆＪ色の螢光体スうり−
を塗布し、乾燥後、色選択電極を介し°ζ−”ル尤し、
！３４ｍ処理しＣ所定のカーボンストライプ（８）間の
部分に緑色螢光体ス［・ライブ（９Ｇ）を形成し、以ド
同様にして夫々化のカーボンストライプ（８）間の部分
に青色螢光体ストライプ（９１１）及び赤色螢光体スト
ライプ（９ｔ？）を形成して第１図Ｆにンバずカラー螢
光面（１０）を形成Ｊる。

かかる方法によれば、ｒＡｌ　ｘ＋剤（６）の注入前に
、従来の水噴霧に代えてメタノール水溶液又はメタノー
ル液（５）を注入することにより、カーボン塗膜（３）
を均一に湿らすごとができる。即も、メタノール水溶７
＆又はメタノール液ｆ５１はカーボン塗ＩＱ　（３１−
、の浸透性がよく、又表面張力が小さいのでカーボン塗
膜（３）のバふル（１１に対する接着強度を落すことな
くカーボン塗膜（３）を全面に且つ膜厚方向に均一に湿
らずことができる。又この注入されたメタノール水溶液
又はメタノール液（５）は剥離剤（６）の緩衝膜となる
。したがって、次に剥ｒＡｔ剤（６）を注入し、水スプ
レーでの現像時に、従来のようなカーボン剥れが生ぜず
良好なカーボンストライプ（８）が形成される。

なお、上側ではストライプ型のカラー螢光面の黒色物質
ｊＭの形成に通用したが、ドツト型カラー螢光面の１１
．４色物質層の形成にも通用できる。

又、本発明は、カラー螢光面の露光工程で用いる露光台
照度分布６１１ａ　’！フィルタの形成にも通用できる
。このフィルタはガラス基板上に微細ピッチのストライ
ブ状カーボンを被着して形成されるので、このストライ
プ状カーボンは上述と同様の反転現１象で形成されイ１
ものである。

〔発明の効昆〕

本発明によれば、黒色物質塗膜の反転現像において、剥
離剤の注入前に黒色物質塗膜をメタノールを含む処理液
で湿らずことにより、黒色物質塗膜を容易几つ均一に４
髪らずごとができる。従っ°ζ、その後の剥ぬ１刑の注
入及び水スプレーによる現像時に従来のような、す１色
物質塗膜の剥れを起こさずに、良好な黒色パターンを形
成することができる。

特に本発明は微♀ＩＩＩピッチの黒色パターンの形成に
適するものであり、従って、ｌ＋Ｊ＋精細度陰極線管の
カラー螢光面の形成、或いはカラー螢光面の露光工程で
用いる露光台照度分布調整フィルタの形成に通用して好
適ならしめるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ−Ｆは本発明の黒色パターンの形成方法の一例
をカラー螢光面の形成に通用した場合の工程図、第２図
Ａ及びＢは従来の反転現像の説明に供する工程Ｉ８／１
、第２図Ｃは第２図Ｂの平面図である。 ｆｌｌはパネル、（２）はレジストＩＨ１（３）はカー
ボン塗膜、（４）は加熱ヒータ、（５）はメタノール水
溶液又はメタノール液、（６）は剥離剤、（７）は水、
（８）はカーボンストライプ、（９Ｒ）　　（９Ｇ）　
　（９Ｂ）は螢光体ストライプである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 所定パターンのレジスト層を含んで全面に形成した黒色
   物質塗膜の反転現像において、 上記黒色物質塗膜の面をメタノールを含む処理液で湿ら
   せてから剥離剤を注入することを特徴とする黒色パター
   ンの形成方法。