JPS64270Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案はウエハプローバの測定針研磨装置に
係り、特にプローブカード（測定回路実装基板）
に取付けられた測定針を研磨する研磨装置に関す
る。

ウエハプローバは、IC、LSI等の半導体集積回
路素子の諸特性をウエハの状態で測定する測定装
置であり、テスタ（特性判定装置）との連係によ
つて測定、良否の判定を行い、不良素子に不良マ
ークを付すものである。

このウエハプローバには、第１図に示すよう
に、被測定ウエハ１が固定されるチヤツク２が設
置されている。このチヤツク２はそのウエハ１の
内の被測定素子を所望の位置に設定するため、Ｘ
−Ｙ軸方向及び上下方向に移動を制御される。

このチヤツク２の上方にはプローブカード３が
取付けられ、このプローブカード３には集積回路
を測定するための測定回路４が実装されていると
ともに、前記チヤツク２の上面に臨むその中央部
分には円形の透孔５が形成されているとともに、
チヤツク２の上面に設置されるウエハ１の集積回
路の電極に対応する複数の測定針６を取付けた針
固定板７が固定されている。各測定針６は測定回
路４に接続され、測定回路４にはウエハプローバ
の本体部に設置された処理回路８及び操作装置９
が接続され、チヤツク２の操作とともに不良素子
の判定を行い、不良素子上に不良マークをインク
で付す。

このようなウエハプローバにおいて、測定針６
の接触抵抗を低下させるため、測定針の接触部分
即ち先端を研磨して測定を行う。従来、この測定
針６の研磨には、シリコンウエハの裏面をポリシ
ユで研磨したもの、或いは第２図に示すように、
前記チヤツク２の上面の被測定ウエハ１の固定位
置の周囲に研磨用やすり１０を設置したものが提
案されている。

しかしながら、前者のものはウエハ１の搬送装
置を改造することが必要であるとともに、その調
整に手数を要し、その不備で故障が発生する等、
測定針６の研磨に手数を要する。また、後者のも
のは被測定ウエハ１の大きさを制限してしまうた
め、被測定ウエハ１毎にプローブカード３を用意
することが必要となり、これは実際上不可能であ
る。さらに、後者のように、チヤツク２の周縁部
分に研磨用やすり１０を設置した場合、不良マー
クを付すためのインクで目詰まりを生じ、平行度
が低く、使用時間が短い等の欠点がある。

この考案は、測定針の研磨が容易に行え、しか
も種々の大きさの被測定ウエハに対応可能にした
ウエハプローバの測定針研磨装置の提供を目的と
する。

この考案は、被測定ウエハを固定するチヤツク
の中心部に、プローブカードから臨ませられた測
定針を研磨する研磨やすりを設置したことを特徴
とする。

以下この考案を図面に示した実施例を参照して
詳細に説明する。

第３図はこの考案のウエハプローバの測定針研
磨装置の実施例を示し、第１図及び第２図と同一
部分には同一符号が付してある。図において、ウ
エハ１を固定するチヤツク２の中心部分に、円形
の範囲で研磨用やすり１１を形成又は面内に埋込
むように設置し、その表面荒さは、50〜100μに
設定する。また、その範囲は1.5〜２インチに形
成するものとする。

このように構成すれば、被測定ウエハ１は第３
図において矢印Ａで示すように研磨用やすり１１
を形成した部分に固定することができ、その測定
を行うことができる。

この場合、被測定ウエハ１を固定すると、研磨
用やすり１１は被測定ウエハ１で覆われ、不良マ
ークを付すためのインクが付着することがないの
でその目詰まりが防止でき、寿命を延ばすことが
できる。

また、研磨用やすり１１の表面は、チヤツク２
の表面に一致させているので、測定上、被測定ウ
エハ１を固定することについて何等の不都合は生
じないものである。

そして、測定針６の研磨は、第４図に示すよう
に、被測定ウエハ１を設置していない状態で測定
針６に対してチヤツク２を矢印Ｂで示す上下方向
に移動させ、研磨用やすり１１の面を接触させ、
その先端の研磨を行うことができる。

また、研磨用やすり１１はチヤツク２の中心部
分に設置されているため、研磨用やすり１１の平
行度は、被測定ウエハ１の設置と同一条件とな
り、測定針６の研磨を良好に行うことができる。

さらに、このような位置に研磨用やすり１１を
設置した場合、位置調整等の研磨上の面倒な操作
を必要とせず、極めて容易にその処理を行うこと
ができ、シリコンウエハの裏面に研磨面を形成し
た場合の不都合は全く生じない。

以上説明したようにこの考案によれば、被測定
ウエハを固定するチヤツクの中心部に、測定針の
研磨用やすりを設置したので、被測定ウエハの大
きさに制限を受けることがなく、その平行度も被
測定ウエハと同一条件となり、また、不良マーク
用のインクによる目詰まりを防止でき、測定針の
研磨を容易に且つ良好に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はウエハプローバのプローブカード及び
チヤツク部分の概略を示す説明図、第２図は従来
の研磨用やすりを示す説明図、第３図はこの考案
のウエハプローバの測定針研磨装置の実施例を示
す説明図、第４図はこの考案の実施例であるウエ
ハプローバのプローブカード及びチヤツク部分の
概略を示す説明図である。 １……被測定ウエハ、２……チヤツク、５……
プローブカード、６……測定針。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被測定ウエハを固定するチヤツクの中心部に、
   プローブカードから臨ませられた測定針を研磨す
   る研磨やすりを設置したことを特徴とするウエハ
   プローバの測定針研磨装置。