JPS6430829U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6430829U JPS6430829U JP12716887U JP12716887U JPS6430829U JP S6430829 U JPS6430829 U JP S6430829U JP 12716887 U JP12716887 U JP 12716887U JP 12716887 U JP12716887 U JP 12716887U JP S6430829 U JPS6430829 U JP S6430829U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- opening
- reactive ion
- wafer
- ion etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 2
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- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例における反応イオン
エツチング装置を模式的に示す断面図、第２図は
同実施例の要部の分解斜視図、第３図は同実施例
における半導体ウエハのエツチング状態の一例を
示す断面図、第４図は他の実施例における陰極カ
バーの一例の一部斜視図、第５図、第６図はそれ
ぞれ半導体ウエハのエツチング状態を示す断面図
である。 符号の説明１……チヤンバ、４……陽極、５…
…テーブル（陰極）、６……陰極カバー、６ａ…
…開口部、７……半導体ウエハ、８……ウエハ挿
入用リング。
エツチング装置を模式的に示す断面図、第２図は
同実施例の要部の分解斜視図、第３図は同実施例
における半導体ウエハのエツチング状態の一例を
示す断面図、第４図は他の実施例における陰極カ
バーの一例の一部斜視図、第５図、第６図はそれ
ぞれ半導体ウエハのエツチング状態を示す断面図
である。 符号の説明１……チヤンバ、４……陽極、５…
…テーブル（陰極）、６……陰極カバー、６ａ…
…開口部、７……半導体ウエハ、８……ウエハ挿
入用リング。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 エツチングガスが供給される真空のチヤンバ内
に、ウエハを支持する陰極と陽極とを対向させて
設けた反応性イオンエツチング装置において、 上記陰極上に開口部を設けた陰極カバーを載置
し、該開口部に有機物で形成されたウエハ挿入用
リングを嵌入してあることを特徴とする反応性イ
オンエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12716887U JPS6430829U (ja) | 1987-08-20 | 1987-08-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12716887U JPS6430829U (ja) | 1987-08-20 | 1987-08-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6430829U true JPS6430829U (ja) | 1989-02-27 |
Family
ID=31379351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12716887U Pending JPS6430829U (ja) | 1987-08-20 | 1987-08-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6430829U (ja) |
-
1987
- 1987-08-20 JP JP12716887U patent/JPS6430829U/ja active Pending