JPS6448860U - - Google Patents

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JPS6448860U
JPS6448860U JP14295987U JP14295987U JPS6448860U JP S6448860 U JPS6448860 U JP S6448860U JP 14295987 U JP14295987 U JP 14295987U JP 14295987 U JP14295987 U JP 14295987U JP S6448860 U JPS6448860 U JP S6448860U
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JP
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piezoelectric element
side hole
hole
fitted
length direction
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JP14295987U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１〜２図は本考案の走査型トンネル顕微鏡用
探針の微動装置の実施例を示しており、第１図は
縦断面図、第２図は第１図の側方から見た部分縦
断面図、第３図Ａ〜Ｆは、この微動装置の作用を
順番に示す略図、第４図はこの微動装置の制御回
路図、第５図は探針先端部分の拡大図、第６図は
別の制御回路を示す回路図、第７図は微動装置の
動きにつれて変化する移動距離を示す線図、第８
図はＳＴＭの原理を示すブロツク図、第９図は第
８図のＡ部の原子状態を示す超拡大図である。 １：探針、１ａ：原子、２：物質、２ａ：原子
、３：Ｘ方向ピエゾ素子、４：Ｙ方向ピエゾ素子
、５：Ｚ方向ピエゾ素子、６：ＸＹ走査回路、７
：サーボ回路、８：メモリ、９：マイクロコンピ
ユータ、１０：表示装置、１１：トンネル電流増
幅器、１２：本体、１３：案内孔、１４：第一の
移動軸、１５：第二の移動軸、１６：第一の圧電
素子、１７：第一の側孔、１８：第一の押圧片、
１９：空間部、２０：蓋体、２１：第二の圧電素
子、２２：第二の側孔、２３：第二の押圧片、２
４：空間部、２５：蓋体、２６：第三の圧電素子
、２７：パワーアンプ、２８：高圧電源、２９：
タイミングコントローラ、３０：電源、３１：指
令手段、３２：伝達杆、３３：タイミングコント
ローラ、３４：サーボ、３５：トンネル電流検出
器、３６：サーボ、３７：パワーアンプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 本体に設けたシリンダ状の案内孔にがたつきな
    く、且つ案内孔の長さ方向に亘る移動自在に嵌装
    された第一、第二の両移動軸と、この第一、第二
    の両移動軸を互いに結合し、電圧の印加に基づい
    て全長を変化させる第一の圧電素子と、上記案内
    孔の内側面で、第一の移動軸の外周面に整合する
    部分に開口した第一の側孔に、第一の移動軸に対
    する遠近動を自在に嵌装され、第二の圧電素子に
    よつて上記第一の側孔の長さ方向に駆動される第
    一の押圧片と、上記案内孔の内側面で、第二の移
    動軸の外周面に整合する部分に開口した第二の側
    孔に、第二の移動軸に対する遠近動を自在に嵌装
    され、第三の圧電素子によつて上記第二の側孔の
    長さ方向に駆動される第二の押圧片とから成る、
    走査型トンネル顕微鏡用探針の微動装置。
JP14295987U 1987-09-21 1987-09-21 Pending JPS6448860U (ja)

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JP14295987U JPS6448860U (ja) 1987-09-21 1987-09-21

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JPS6448860U true JPS6448860U (ja) 1989-03-27

Family

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03185302A (ja) * 1989-12-15 1991-08-13 Hikari Gijutsu Kenkyu Kaihatsu Kk 走査トンネル顕微鏡

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62138071A (ja) * 1985-12-11 1987-06-20 Nec Corp 圧電型リニア可動子

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62138071A (ja) * 1985-12-11 1987-06-20 Nec Corp 圧電型リニア可動子

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03185302A (ja) * 1989-12-15 1991-08-13 Hikari Gijutsu Kenkyu Kaihatsu Kk 走査トンネル顕微鏡

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