TW470681B - Abrasive system - Google Patents

Description

470681 五、發明說明U) <發明之背景> 本發明係關於-種研磨系統 研磨系統，能夠同時研磨# Λ ?巴°兄係關於-種 了w德母一加工件的兩面。 利 示 件 本舍=之發明人曾發明了一種研磨機並予以 此研磨機業已在日太蛮 甲。月專 9本專利公報No. 1 0-20251 1上予以揭 此種研磨機包括：_从上 〇 作成一具有複數貫穿孔薄板之載 一上研磨板及下研磨板用以由上侧及下侧失持加工 之兩面；及 母胃穿孔内，及研磨母—加工件 一載件驅動機摄Η ,、，+ ^ 苒用以在一平面，沿著一圓形轨道，，、Λ 有旋轉地^動载件，如此可相對於研磨板沿著複數圓开^ 道沒有旋轉地移動被爽在研磨板間的加工件。== 研磨板及下研磨板能夠獨立地旋轉。 心 然而，在此傳統研磨機中，加工件不能自動地饋進及 取出。 亦:i加工件為手動地饋入載件的貫穿孔内及手動地 自其内取V由於手動操作加工件，力Π工件有時被污半及 損傷。此外，加工效率不能改善。因此，需要追求 自動處理加工件的研磨系統。 件 為了適當地研磨在载件貫穿孔内的加工件，在加工 ' 貝牙孔内緣間設計成一間隙有1 m m 更/ 為薄板，故易於形成浪形。此外，載件有載 或 即n，外緣及貫穿孔内緣間設計成_間隙有imm 。載件 A M ic；，从 s ,. .... . 470681 五、發明說明（2) 1件保持件。㈤ll_ 技亦雜认、一 ’難於正雄地將貫穿孔定位於預定位置， ;以阿精度自動地將加工件饋入貫穿孔及自其内卸 出 〇 " <發明概要> 度自供：？研磨系統，其能以高精確 久’效率地饋進及卸出加工件。 本發明研磨系統包括： 载件’其成為一薄板有複數之貫穿孔； 上研磨板及—下研磨板，由上、 每一加工件括也狄— 广圳灭住加工件， 件棱ί、於母一貫穿孔内及研磨加工 -載件驅動機構，用以在一平面 兩面七 韓地Πϊΐ 相對於研磨，’沿著圓執道，沒有旋 軺也私動夾在兩研磨板間加工件； 有 用以在預定位置停動載件的裝置， 供於載件驅動機構者，·及 而以彳了動裝置係提 用以饋入及卸載加工件的裝置，而 件的裝置包括： 貝入及卸載加工 -具有加工件保持單元之臂機器人 ： 2把持及釋放加工件，此臂機器人將加於-前端 貫穿孔内，載件已停在預定位置， 件饋入載件的 的加工件；及 z、内卸載已經研磨 圖像處理單元，用以確認載 供〜秋仟及加工件 置。 的形狀及位 伴隨此種結構，停動梦；g； U . __ 戰件，然後

第6頁 岌置在預定位置停 五、發明說明（3) 加工件可藉由圖像處理單元 此外’加工件保持單元能：：：定位在載件的貫穿孔内。 貝穿孔内的加工件相合，如 圖像處理單元精確地與在 被饋入貫穿孔内及自其内 加工件可自動地及有效地 確地定位，加工件保持單由於貫穿孔内停動裝置正 在此研磨系統，載件驅動^位控制變成容易執行。 停動裝置可包括一用於控制’構可包括一伺服馬達，及 結構，載件可藉由—簡i 司服馬達的控制單元。由此 此研磨系統可進—步勺在正確位置停止。 载件旋轉機構。此載件旋二：：使載件繞-軸轉動的 件。由此種結構，複數之力一預定角位置停止載 , 之加工件依序被移至_箱宝命罢 如此’加工件内藉由# Μ π , ,4 攸秒主預疋位置， . ’核：态人（其衝程為短者）错入言宗7丨 内及自其内卸載。 1姐有彡饋入貝牙孔 器人在=研磨不統中’此臂機器人可為一水平複數關節機 此加工件保持單元及圖像處理單元的攝影機可提供至 此水平複數關節機器人的前端。由此種構造，載件貫穿孔 的形狀及位置，以及加工件能同時被確認，故加工件能被 有效饋入及卸載。 在此研磨系統，臂機器人可為垂直複數關節機器人， 其能取出垂直排列在匣内之加工件，及垂直地儲存加工件 進入另一匣内。由此種構造，不需要用於取出及存儲加工 件的額外裝置，故此系統町作成簡單及緊湊者。_ 本發明的實施例將藉由範例並參照圖式予以說明。 470681 五、發明說明（4) <較佳具體實施例之詳細描述> 本發明較佳實施例將參照附圖予以詳細說明。 5 q 2此夠同％研磨加工件兩面的研磨單元將參昭第 1至3圖予以解釋。第i圖為研磨 ‘、、、弟 ::研：：兀的側視剖面圖；第3圖顯示饋 圖 件的一方法以平面圖表示。 在此實施例中，此研磨系 曰m ] η , Λ 0 應不，"先研磨了作為加工件的薄矽 曰日0 1 0。此研磨皁兀具有：_ 具有複數的貫穿孔12a ; 一上研 =二作成一薄圓板及 -n . 外愿板14，及一下研磨拓 16。研磨板14及16夾住晶圓1〇，a 去，；5曰间』日曰®為供應於貫穿孔1 2a f，日日0相對於研磨板14及16及載#12 —起移動，如 二：：？圓1Γ上及下端面可同時被研磨，研磨布 的底面及構成—研磨面；研磨布… 粘著於下研磨板的上端面及椹 — 1 猸fr砧斤—/ a 構成一研磨面。研磨板1 4及 16獨，地依它們自己的軸旋轉，幸由為垂直於載件心 自間隙，如此晶圓.10可自由地在貫L内 日圓Π12:如為玻璃一環氧板，在攜持厚度為U-之 日日SU0訏’载件12的厚度約為〇. 7mm 〇 載件驅動機構2〇在一平面移動載件12及其貫穿孔 a内之晶圓ίο，而晶圓夾在研磨板14及16間。、 此载件驅動機構2 0驅動載件1 2沿著在平^面内之一圓軌 逼’但載件12没有繞其軸旋轉，> 此，供應至貫穿孔12a

第8頁 五、發明說明（5) ί = 及Μ間的晶圓1G亦繞圓軌道移動但沒繞 一載件驅動機構2 〇的實例將予以解釋。 以^先’用於將載件12與一載件保持㈣連接的裝置將 明實W，載件保持器22器有銷23 ;載件12 隙ί 母一銷23插入所對應之長孔内具有一間 第2圖、於Ϊ脑:脹之故，長孔m在載件12的徑向延伸(參照 件12的數膨：23 :長孔m内緣間的間隙設計成可吸收載 及Hi 種構造，載件的熱膨脹可被吸收 用彈箬。°舁載件保持器22連接並被保持在其内，不必使 右—Ϊ Ϊ件12的外緣及載件保持器22的内圓周面22a間具 有一間隙，以便吸收載件12的熱膨 22的内徑料於載件12的外徑。 卩疋冑件保持為 ! % /由Λ別將載件保持器22之鎖23插入載件12的長孔 12b内」載件12可被安置及保持在載件保持器22。 π合ί f使甩連接裝置’載件12能與載件保持器22連接而 不會旋轉及載件12的熱膨脹可適當地被吸收。 要而 由於吸收了載件1 2的熱膨脹，載件1 2的變形可被防 止。因為載件12可容易地被安置在載件保持器， 效率得以改良。 作 #你：：二„24具有：一保持器軸2“，其軸接至載 呆夺為及，、軸平行於研磨板1 4及1 6之軸L ;及其轴 五'發明說明（6) 24b，其與保持器軸24a隔開及轴接至一基板3〇(參照第2 圖）及其轴亦平行於研磨板14及16之軸L。即，曲柄件24作 成一曲柄臂。

抑在此實施例中’四支曲柄件24設在基板30及載件保持 益22之間。曲柄件24支持載件保持器22，及藉由使曲柄件 24繞基軸24b旋轉，使載件保持器22沿著一圓形軌道移 動'又有旋轉。保持器軸2 4 a分別可枢轉地安置在轴承部 22c内’軸承部為由載件保持器22的外圓周面突出者。由 此種構造’載件1 2的轴由研磨板丨4及丨6的軸L移動一距離 Μ ’及載件1 2能沿著—圓形轨道沒有旋轉地移動。載件u 的圓形軌道的半徑等於保持器軸24a及基軸24b之間的距離 (此距離為M)。因此，在載件1 2上的所有點能沿圓形軌道 移動，半徑相同。 一時 柄構件24 基車4 2 4 b 有一簡單 12 ，晶圓 輪等可使 一輸 齒輪2 6 此構造， 此等 電氣同步

規鏈28與四只鏈輪25嚙合，各鏈輪分別固定至曲 的基轴24b，此時規鍵28及四只鏈輪25連接四支 以便同步移動四只曲柄構件24。此同步機構具 構造及能夠穩定移動載件12。藉由穩定移動载件 研磨精度及平坦度可得改善。注意，時規鏈、去 用當做.同步機構。 W 出齒輪34被固定至馬達32的輸出軸。輸出軸34與 嚙合，齒輪固定至曲柄構件24的一基軸24b。由 曲柄構件24能繞基軸24b旋轉。 四只曲柄構件24可由四只電動馬達旋轉，·馬達 ，以便平順地移動載件1 2。

第10頁 五、發明說明（7) 曲柄構件2 4的數目祐π + 多以便適當地支持载件保持器2】四只。數目應為三尺或更 在載件保持器22與—△ 情況("基台能夠在…方向辛;Π動本體成為-體的 曲柄構件24作圓移動但没 載件保持器22可由 動地與兩導件嚙合，兩導件八 °因為此移動本體可移 體及载件保持器22作圓形方向排列’如移動 在Χ-Υ基台的移動體内 予以驅動沒有旋轉。驅動 ：持為22由驅動裝置 需用二只馬達，時規鏈。“匕情況，至少 式。 1'了措由控制此兩馬達設計很多種研磨樣 :馬達36轉動下研磨板16。例如馬達36的 連接至下研磨板1 6的軸。 軸直接 驅動裝置38使上研磨板14旋轉。 Β ^及驅動裝置38能控制研磨板14及16的旋轉速卢 及旋轉方向，如此研磨情況可以控制。 疋轉.速度 々口第2圖所示，供應於載件12貫穿孔⑴内的 上研磨板14及下研磨板16失著及予以研磨。施 的壓力由-壓力單元予以調1，此壓力單元提供至= 板14。例如，—氣囊可為壓力單元。上研磨板14的重旦卷 做作用至晶圓10的最大壓力，而此壓力可由 = 弱，故整力可正確地予以控制。 叢予以減

第11頁

五、發明說明（8) 注意’一升降單元4 0亦提 動上研磨板14 , 1於曰研磨板14而能垂直移 j日日®14被饋入及卸載時予以操作。 /、_人，用於供應泥漿的裝置將予以解說。 上研磨板14有複數泥漿孔Ub，由 研磨板14的研磨面14& ! a n〗n从L 化水仏應至在上 …尸：曰囫1〇的上端面間之-部位。 端面夠均句地供應泥漿至晶圓的整個上 ，、要>又有壞影響發生，泥漿孔Ub數及大小可作自 以㈣“：： 几可安排在上研磨板“ 供應。泥漿孔14b可垂直地形成在上研磨板14 =以供應泥聚的管（未示）連接至泥聚孔ub的上端。 泥水由一泵等經内管路泵送。 π A件1 2具有複數之泥聚孔1 5，經由此，已經由泥聚孔 (、應之泥漿供應至下研磨板16研磨面及晶圓1〇之下端 面之間的一部位。 、泥漿孔15被設計成不會不良地影響載件”的強度。只 要/又有不良影響，;尼漿孔的數目及尺寸可自由設計。例 如，如第1圖所示，六個圓泥漿孔15形成在載件12的中央 及在相鄰貫穿孔12a之間的部位。 藉由利用具有泥漿孔1 5的載件，泥漿可適當地供應至 晶圓的兩面（上及下端面），故兩面可適當地研磨。即言， 液狀泥漿能經由泥漿孔1 5流下及到達晶圓丨〇的下端面。因 此，晶圓1 0的兩端面可以高精度均勻地研磨。 . 在研磨面1 6a上的泥漿内研磨面丨6a的外邊緣徑向向外

第12頁 流出，及可被集中再度使用。 在第1圖’滾輪6 2與上研磨板丨4接觸，以便防止上研 磨1板_1 j在水平面擺動。滾輪6 2可轉動地連接至一保持部 不’其疋提供至基板30及位在上研磨板14的鄰近，以 二=磨板14的外圓周面接觸。藉由將上研磨板14與滾 ^ ，上研磨板1 4的水平擺轉可被阻止，故研磨單元 的震動可被阻止。 立用於停動載件1 2的裝置將參照第3圖予以解說。請注 ^在上文已§兄明的結構元件將編以相同代號，其說明從

470681 五、發明說明（JO) η获22外圓周面上的規劃 么器的感測信號停止載件保持』 月匕知止在預定角位置。 芍邻玟載件

及Hi提供至在曲柄構件24的外圓周面上—規 偵測此記號的感測器可提供至 亦可得到相同效果。 在 此置46將晶圓10供應至載件12的貫穿孔 此載件已由停動裝置43予以停止。 曰m n J :卸载裝置48自載件12的貫穿孔12a將已研磨的 -固1。移出’此載件已由停動裝置予以停動。研磨的 因為載件12内停動梦署 46及却載裝置48可容县^土在預疋位置停止，饋入裝置 罢^ _ 合易地5心知載件12的貫穿孔i2a的位 ί罢：匕們母次能容易地饋入及卸載晶圓10。因此，饋入 裝置46及卸載裝置48的構造為簡單者及容易控制。 曲紅媒ϋ輪45 ^加拉力於時規鍵28，以便精確地同步化 曲柄構件2 4。 ί次二用於饋入及卸載晶圓10的裝置將以第一種實施 二二'、4 乂圖予以詳細說明。第二種實施例將參照第 以°兒月第4圖為第—種實施例研磨系統的平面圖； 弟5圖為臂機^人前端的侧視圖；第6圖為臂機器人前端的 仰視圖，及第7圖為載件旋轉機構的剖面圖。第8圖為第二 實施例研磨系統的平面圖。注意，在第⑴圖所示構造元 件指定予相同代號其解釋從略。 · 研磨單元1U參照第1及2圖）具有載件12，其是作圓形

470681 五、發明說明（11) 移動但不旋轉。研磨單元丨丨且 圖）’其包括ϋ司服馬達32a(來了 參照第3 第⑴圖之研磨，元.，其中載件伴二H不像表示* 32a ’鏈28a及四只曲柄構似所轉Π =:飼服馬達 保持器22由三個同步伺服馬達32&所旋只知例的一載件 同步伺服馬達32a，載件12可祚伞猎由使用三個 轉。 戰件以了作平順的圓形移動而不作旋 饋入及卸載單元50能夠穩定地饋送晶 的貫穿孔12a内，此時載件12已被停動裝置4 载件12 由載件Π的貫穿孔12a内卸載已研磨的晶_，== 12已被停動裝置43所停止。目此，饋入及卸載單元5〇载勺件 括：-水平複數關節臂機器人54 ; 一加工件保持單元= ^是提供至臂機器人54前端部53;及一圖像處理單元，’ 用作確認載件1 2及晶圓1 〇的形狀及位置。 如第4圖所示，加工件保持單元52及圖像處理單 小型知:影機55fe供於臂機器人54的前端部a。 。如第5及6圖所示’保持單元52有複數爪56用以保持晶 圓1 0。三只爪56以等角而安排著。為適當地保持晶圓丄〇， 需要至少三只爪56。以三只爪56由一夾頭單元58予以同步 '打開及關閉。 凹口或槽（未示）’其對應於爪56，為每一貫穿孔i2a 在載件12内开>成。當晶圓1〇被饋入或卸載時，爪μ進入凹 口，然後，爪釋放或抓住晶圓1 〇。因為載件丨2沒有·旋轉， 爪56及凹口可容易相合。

第15頁 五、發明說明（12) · -- 加工件保持單元52不必限定於具有爪56的機構，例如 —吸取單元亦可使用。 、.如第6圖所示，在本實施例中，三只攝影機55以等角 度分開而排列著，以便確認圓形晶圓及載件12的圖形貫穿 孔1 2a。。攝影機55環繞一想像之圓而安排著，此想像之圓 與保持單元52的爪56所成之想像之圓心轴。 ^圖像處理單元具有數據資料，其代表晶圓10相對於貫 牙孔1 2a的位置，以便精確地控制保持元件52 (其保持晶圓 1。。〇)的位置，及饋入晶圓進入貫穿孔丨2a。即言，圖像處理 單元偵測在晶圓10及貫穿孔12a間的間隙，以便證明晶圓 是否完美地饋入貫穿孔12a。因此，晶圓10能夠穩固地 饋入貫穿孔12a内或自其内卸出。 口為攝衫機5 5及保持單元5 5被提供至前端部5 3 ,晶圓 及貫穿孔12a的位置及形狀可同時被確認；及晶圓i〇S曰能 夠同時被確認，及晶圓丨〇能夠有效地饋入貫穿孔1 或自b 此圖像處理單元能夠確 或缺口，如此，方向平台或 此，晶圓1 〇可在相同情況下 中可適當地予以處理。 邊形成在晶圓邊緣的方向平台 缺口可位在一預定位置。因 被研磨，及晶圓丨〇在研磨步驟 晶圖丨〇的方向平台或缺口（儲存在民内）可藉由習知方 式=先規劃在-預定位置。在此種情況下，圖像處 凡此夠容易地定位晶圓，工作效率可被改善。 · 在第一實施例中，載件12藉由停動裝i43先停在預定

第16頁 470681 五、發明說明（13) 位置。隨同此動作，貫穿孔丨2a可粗略地定位。注意，如 上所述’停動裝置43可包括伺服機構，感測系統等等。 當載件1 2粗略地定位在此預定位置，則水平多關節臂 機器人54被作動。臂的前端部53被移動到高於載件12(其 已經粗略定位）的貫穿孔12a的位置。因為圖像處理單元於 移動前端部53時沒有使用，故前端部53可以快速移動。然 後，基於由圖像處理單元所處理的圖像資料，臂機器人5 被控制’以便精確地控制前端部53的位置，如此，晶圓ι〇 孔12a内。因為載件12的貫穿孔…已被粗略 改^ 位置，前瑞部53稍微被調整，故工作效率可 在第4圖中，儲存晶圓之£安 饋=被…，==予 代號76代表一水滑槽，代號78代表 。卜水滑槽76有一斜度，在其 ：f裝載之水匿 導晶圓10。 牡/、上水机過及在一預定方向引 業由臂機器人54自貫穿·$ I?。Α # 76引導至一 £，此啟 卸载之晶圓1 0内水滑槽 ιζ 此1^在儲存於未裝截此际Ακ70 + 接受並二二釋放晶圓10，如此晶圓10被 470681 五、發明說明（14) 一保持器基板8 1支持此載件驅動 機構20包括飼服馬達32a # # 載牛驅動 運動但不作旋轉。保持…二'動載件保持器22作圓 基板30係可轉動地支持；；二提供於基板3。， 30及與研磨板14及16同中心。保持# $係&供於基板 轉。注意，下研磨板16由 =構土 =能與轉承旋 括一馬達及-減速齒輪。動機構86驅動，驅動機構包 一外齒輪固定至保持器基板8丨的 的馬達84固定至基板3〇。一齒，P用以凝轉載件 及與外齒輪83齒合。 疋馬達84的輸出軸 藉由馬達84，保持器基板81繞其中心軸旋 牛η驅動機構2〇(包括載件保持器22) -起旋轉。ΐ 广=作圓形移動。假如馬細為甸服馬達，載上可貝 在一預期的位置停止。 秋什i ζ 了 12a可藉載4及在翻的位置停止，複數的貫穿孔 停動機構ϋ立人在預定的角位置。假如載件旋轉機構8〇與 :5二複數的貫穿孔12a可依序在預定位置停 ΐ…r 一具有一短衝程的臂機器人，例如一垂直 稷數關即臂機器人，可以利用以镇人及卸載〇。 磨單=水Γϊ臂機器人54具有—長衝程及含蓋整個研 ====要載件旋轉機構80。藉由移動臂機器人 至貫穿孔心，晶圓10可順序地饋人 載件旋轉機構80不必連續地旋轉。例如，當載件12旋 470681 五、發明說明（15) 轉了 360° ，載件12可以相反方向旋轉36〇。。 第二實施例將配合第8圖予以解釋。注意，在第一實 掩例（參照第4圖）所解釋的結構元件將給予相同代號及其 說明從略。 一垂直複數關節臂機器人9 0取出晶圓1 〇，其業已垂直 地儲存在一匣内，及垂直地將晶圓丨〇儲存入另一匣。 儲存以晶圓1 0之匣被安裝在裝載機匣部7〇。晶圓丨〇在 定中心部7 2被定中心，然後被保持單元5 2所保持及饋入貫 穿孔1 2 a内’如同第一實施例。 已由垂直臂機器人90自貫穿孔12a卸載之晶圓1〇被引 導至一 ϋ，此匣為貯存在未裝載水匣部78之水内。一清潔 單元92清洗及乾燥保持單元52。 第二實施例的研磨系統之作用將予以解說。 首先，晶圓10的外緣（晶圓1〇已儲存在裝載機昆部7〇 上的&内）被保持單元52的三支爪56捕捉住，然後自匿取 取出的晶圓1 〇由定中心單元72予以定中心。 轉二I穿孔…已由載旋 了勖裝置43在預疋位置予以定位。臂機器人9〇 的刚而453被精確地控制以便正確地將晶圓1〇饋入貫穿孔 力 10的外m 在自貫穿孔12a#載晶圓10之情況，晶圓 的卜緣被保持單元52的三支爪56 被移動至未裝載水匿部78。晶㈣直接被儲存人&内，t 诂魏叙石土井忍後’刖端部5

第19頁 470681 機器人 匣推出 ’可完 ’晶圓 的薄加 單元可 本發明 因此， 園由中 範圍内 要用以自一 單元。因此 明實施例中 於研磨其他 此外，研磨 可在不背離 予以貫施。 本發明之範 在申請專利 内。 的爪56(或吸取單元）在清潔單元92 五、發明說明（16) 便將晶圓浸入水中。 然後，保持單元5 2 被洗滌。 在弟一1貫施例， 90，故不需 至匣的水搶 在本發 發明可利用 形板構件。 本發明 他特定形式 非限制性， 以指定，及 亦應包括在 為垂直複數關節臂機器人 晶圓的裝置及一將晶圓引導 成簡單而緊湊的系統。 被當做加工件而說明。但本 工件，例如，玻璃板、非圓 為一拋光單元等等。 精神及基本特徵情況下以其 本發明實施例僅屬揭示性而 請專利範圍而非前述說明予 所作對應意思及範圍的改變

第20頁 470681 圖式簡單說明 第1圖為本發明研磨系統之研磨單元的分解斜視圖； 第2圖為第1圖所示研磨單元的侧視剖面圖； 第3圖為饋入及卸載加工件之方法的平面圖； 第4圖為第一實施例之研磨系統以平面圖表示； 第5圖為一臂機器人前端的側視圖； 第6圖為臂機器人前端的仰視圖； 第7圖為載件旋轉機構的剖面圖； 第8圖為第二實施例之研磨系統的平面圖。 圖式中元件名稱與符號對照 10 加工件 11 研磨單元 12 載件 12a :貫穿孔 12b :長孔 14 上研磨板 14a :研磨面 14b :泥漿孔 15 泥漿孔 16 下研磨板 16a :研磨面 20 載件驅動 機構 22 載件保持 器 23 銷 24 曲柄構件

第21頁 470681 圖式簡單說明 24a :保持器軸 24b :基軸 28 : 時規鍵 30 基板 32 馬達 32a :伺服馬達 43 停動裝置 44 控制單元 50 饋入及卸載裝 52 保持單元 53 前端部 5 4，9 0 :臂機器人 55 攝影機 56 爪 58 夾頭單元 80 載件旋轉機構

第22頁

Claims (1)

1. t年?月>^日 ===^LJjfe 8910R7S4 六、申請專利範圍 曰 修正 •—種研磨系統，其包括： 载件（12)，其成為镇拓 (12a); 取馬涛板，薄板具有複數貫穿孔 住，提二下)研内磨板(16)，由上側及下側夾 工件⑽的兩面；& a)内之加工件，及研磨每-加 有r鳇ί件驅動機構（2〇)’在—平面内沿著一圓形轨道沒 加工件门n、 將夹在研磨板（14，16)間的 對於研磨板(14，16)，沿著-圓形軌道， 又疋 移動，其特徵為，是種研磨系統更包括有： -=裝置(43)，用作在一預定位置停動載件〇2)的 ，在T動裝置（43)係提供至載件驅動機構（2〇);及 用作饋入及卸載加玉#U())的裝置（5(〇，此饋人及卸 载裝置（50)包括：一臂機器人（54 9〇)，其具有一加工件 保持單元（52)，加工件保持單元係提供至一前端而能保持 及釋放加工件（10)，此臂機器人（54 9〇)將加工件（1〇)饋 入載件（12)的貫穿孔（丨2a)内，載件係停止在一預定位 置’及自貫穿孔（12a)内卸載出已研磨的加工件（1〇);及 一圖像處理單元（5 5 )’用以確認載件（1 2 )貫穿孔 (1 2 a)及加工件（1 0 )的形狀及位置； 所述停動裝置係，以驅動所述載件（12)之驅動裝置的 伺服馬達（32a) ’以及控制該伺服馬達之控制單元（44)所 構成。 2.如申請專利範圍第1項之研磨系統，其中又包括一

   第23頁 案號 89106784 六、申請專利範園 載件旋轉機構（80)

   轉機構（80)能夠在一 3. 如申請專利範 機器人為一水平複數 所述加工件保持 (5 5 )乃被提供至該水 4. 如申請專利範 述 件（1 0 )’加工件係垂直排列在一匣（7〇 )内，且垂直儲存加 工件進入另一匣（78)内。

   用以使該载件繞一軸旋轉，此載件旋 預疋角位置停止該載件（1 2 )。 圍第1項或第2項之研磨系統，其中臂 關節機器人（54);且 件（52)及該圖像處理單元的一攝影機 平複數關節機器人（54)的前端。 圍第1項或第2項之研磨系統，其中所 臂機益人為一垂直複數關節機器人（9 〇 )，其能取出加工

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