WO1998030368A1 - Rotary balancer and robot with the rotary balancer - Google Patents

Rotary balancer and robot with the rotary balancer Download PDF

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WO1998030368A1
WO1998030368A1 PCT/JP1998/000019 JP9800019W WO9830368A1 WO 1998030368 A1 WO1998030368 A1 WO 1998030368A1 JP 9800019 W JP9800019 W JP 9800019W WO 9830368 A1 WO9830368 A1 WO 9830368A1
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French (fr)
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Ryo Nihei
Takeshi Okada
Hidenori Kurebayashi
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Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0008Balancing devices
    • B25J19/0012Balancing devices using fluidic devices

Definitions

  • a coil spring that expands and contracts according to the arm rotation is provided by an air cylinder having a piston that slides according to the arm rotation. It's being used .
  • none of these types of balancers have a mechanism for directly generating a balance force in the form of a torque that can withstand a heavy load. That is, the conventional balancer generates torque by indirectly generating torque by applying a force to the robot arm by the fluid pressure or the expansion and contraction force of the panel. The bending of the arm is likely to have an adverse effect on the control accuracy of the robot hand (tool tip).
  • An object of the present invention is to have a simple structure that can be easily incorporated in the robot mechanism, and to generate a balance force without causing a radius of the robot arm.
  • An object of the present invention is to provide a rotor balancer and a robot incorporating the rotor balancer in a rotary shaft mechanism.
  • the present invention can reduce the size of the outer periphery of the rotary shaft of the mouth robot, reduce the cost, and reduce the radius of the robot arm through these points. The purpose of this is to prevent the control accuracy from deteriorating.
  • FIG. 2 is an exploded view showing a basic structure of a rotor balancer according to the first embodiment of the present invention using one vane.
  • FIG. 4 shows the rotor linolans shown in FIG. 2 in FIG. W
  • FIG. 8A shows a neutral state of a rotor lancer according to a fourth embodiment of the present invention using a gas bag
  • FIG. 8B shows a state in which a balance force is output.
  • FIG. 9 shows a fifth embodiment of the present invention, which has a function equivalent to that of the rotary balancer shown in FIG. 2 by diverting an existing rotary fluid pressure actuator.
  • Rotary balancer is configured.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

明 細 書
ロ ー タ リ ノ ラ ンサ及びロ ー タ リ ノく ラ ンサを備え た ロ ボ ッ 卜
技 術 分 野
本発明は産業用 ロ ボ ッ ト に装備 さ れる ロ ー タ リ ノ ラ ン サ及びロ ー タ リ バ ラ ンサが組み込まれた ロ ボ ッ ト に関 し 更に詳し く 言え ば 、 流体圧を利用 し た ロ ータ リ バ ラ ンサ 及びそれが組み込まれた ロ ボ ッ ト に関する 。
背 景 技 術
産業用 ロ ボ ッ ト がアーム を側方へ延ばし た姿勢を と る 時 、 そ のアー ム を駆動する 水平回転軸 ( 水平方向 に延び る 軸 ) を駆動する モー タ には大き な重力負荷がかかる 。 こ の よ う な負荷を軽減する 手段 と し てバ ラ ンサ が使用 さ れてい る 。 ロ ボ ッ ト に装備 さ れるバ ラ ンサは 、 重力負荷 の増大を伴 う 姿勢変化に応じ てそれを打ち 消す方向の ト ルク ( バ ラ ン ス力 ) を生成する 手段を備え てい る 必要が あ る 。
重力負荷を打ち 消すバ ラ ン ス力の発生手段 と し ては 、 アーム旋回 に応 じ て伸縮する コ ィ ルバネゃアーム旋回 に 応 じ て滑動する ピ ス ト ンを備え たエア シ リ ンダ が利用 さ れてい る 。 しか し 、 これ ら いずれの型のバ ラ ンサも 、 重 力負荷に抗する ト ル ク の形でバ ラ ン ス 力 を直接的に発生 する 機構を有し ていない 。 即ち 、 従来のバ ラ ンサは 、 流 体圧やパ ネ の伸縮力 を ロ ボ ッ ト アーム に力 を作用 さ せて ト ルク を 間接的に発生さ せる も のであ る ため 、 ロ ボ ッ ト ア ー ム に撓みが発生し 、 ロ ボ ッ ト の手先部 ( ツール先端 点 ) の制御精度に悪影響を及ぼし 易い 。
ま た 、 コ イ ルバ ネ機構あ る い はエ ア シ リ ンダ Z ビ ス ト ン機構を ロ ボ ッ ト 機構部に内蔵さ せる こ と は機構の性質 上困難であ り 、 ロ ボ ッ ト の 回転軸部周辺の外形を コ ンパ ク ト にする 上で有利ではなかっ た 。
発 明 の 開 示
本発明の 目 的は 、 ロ ボ ッ ト 機構部に内蔵し易い簡素な 構造を有する と と も に 、 ロ ボ ッ ト アー ム の橈みを発生 さ せずにバ ラ ン ス 力 を発生出来る ロ ー タ リ バ ラ ンサ並びに それを 回転軸機構部に組み込んだ ロ ボ ッ ト を提供する こ と にあ る 。 ま た 、 本発明は 、 これ ら の こ と を通 し て 、 口 ボ ッ ト の 回転軸部周辺の外形の コ ンパ ク ト 化 、 コ ス ト 削 減並びに ロ ボ ッ ト アー ム の橈みに よ る 制御精度低下の防 止 を 図 る も のであ る 。
更 に 、 本発明は流体圧 ロ ー タ リ ア ク チ ユ エー タ の本体 部 に簡単な改造を加え たも の を要部に利用で き る よ う な ロ ー タ リ バ ラ ン サ の構造を提案し て 、 よ り 安価且つ簡便 に ロ ボ ッ ト 用のバ ラ ンサを得よ う と う する も のであ る 。
本発明は 、 エア等の流体圧を利用 し て重力負荷を打ち 消すバ ラ ン ス力 を ト ル ク の形で直接的に発生する こ と が 出来る ロ ー タ リ ノ ラ ンサを提供し 、 ま た 、 こ れを を ロ ボ ッ ト の 回転軸機構部に内蔵 さ せる 。
本発明の ロ ー タ リ バ ラ ンサは 、 シ リ ンダ と 、 シ リ ンダ の軸に沿っ て回動 自 在に設け られたシ ャ フ ト と 、 シ リ ン W
ダの内周面に固定さ れ 、 シ リ ンダの内周面 と シ ャ フ ト の 外周面 と の間の空間の一部を 占有する 少な く と も 一つの 固定仕切 り 部材 と 、 シャ フ ト に固定されて これ と 一体に 回動し 、 シ リ ンダの内周面 と シ ャ フ ト の外周面 と の間の 空間の一部を 占有する 少な く と も 一つの可動仕切 り 部材 と 、 シ リ ンダ の両端開 口 を閉塞する 閉塞部材 と を備え る シ リ ンダ内のシ ャ フ ト の周囲の空間は 、 固定仕切 り 部 材 、 可動仕切 り 部材及び閉塞部材によ っ て少な く と も 2 つの領域に仕切 られ 、 各領域内には気密空間が形成され る 。
固定仕切 り 部材に 、 該固定仕切 り 部材 と シ ャ フ ト と の 間をシールする シール部材を設け 、 可動仕切 り 部材に 、 該可動仕切 り 部材 と シ リ ンダ と の間をシールする シール 部材を設け 、 これによ つ て各仕切 られた領域内 に気密空 間を形成しても 良い 。
或いは 、 気体を封入したバ ッ グをシ リ ンダ内の仕切 ら れた領域内に夫々 設け 、 これによ つ て各仕切 られた領域 内に気密空間を形成し ても 良い 。 こ の方法を採用する と 気密領域を形成する こ と が容易になる 。
0 流体圧ァ クチユ エータ をその給気及び排気ポー ト を閉 塞する こ と によ っ て ロ ータ リ ノ ラ ンサに転用 し 、 流体圧 ァ クチユ エータ の構成要素を 、 シ リ ンダ 、 シ ャ フ ト 、 固 定仕切 り 部材 、 可動仕切 り 部材 、 閉塞部材 と し て利用す る こ と が出来る 。 こ の よ う な転用は 、 バ ラ ンサの製造コ5 ス を下げる 上で有利である 。 上記の ロ ー タ リ ノ ラ ンサは 、 ロ ボ ッ ト ア ーム を駆動す る 回転軸機構に内蔵する こ と が出来る 。 ロ ボ ッ ト アーム を回転軸機構の駆動源 と ロ ー タ リ ノ ラ ン サ の 間 に介在 さ せ 、 ロ ー タ リ ノく ラ ンサのシャ フ ト を ロ ボ ッ ト アーム に連 結 さ せて ロ ボ ッ ト ア ー ム の旋回 に応 じ て回転する よ う に 構成する 。 ま た 、 ロ ー タ リ ノ ラ ンサを ロ ボ ッ ト ア ーム と 駆動源の 間 に設け 、 駆動源か ら の駆動力が ロ ー タ リ バ ラ ンサ を介 し て ロ ボ ッ ト アームへ伝達 さ れる よ う に構成す る 。
こ れ ら いずれの 内蔵形態を採用 し た場合も 、 回転軸機 構の駆動源 ( 減速機を含む ) 、 ロ ボ ッ ト アー ム の旋回軸 及びロ ー タ リ バ ラ ンサを 同軸上に配列 さ せる こ と が容易 であ り 、 ロ ボ ッ ト の外形を コ ンパ ク ト にする 上で有利で あ る 。 ま た 、 ノ《 ラ ン ス 力が ロ ボ ッ ト アーム を変形 さ せる よ う な形で ロ ボ ッ ト アーム に作用 し なレヽので 、 ロ ボ ッ ト の制御精度を保つ上でも 有利であ る 。
図面の簡単な説明
図 1 a は 、 本発明の 口 一 タ リ バ ラ ンサが組み込まれた ロ ボ ッ ト を示す正面図 、 図 1 b はその右側面図 、
図 2 は 、 ベーン を 1 枚使用 し た本発明の第 1 実施例に 係る ロ ー タ リ バ ラ ンサの基本構造を示す分解図 、
図 3 a は 、 図 2 に示 し た ロ ー タ リ ノ ラ ン サ の 中立状態 を示す概念図 、 図 3 b はバ ラ ン ス 力 が 出力 さ れる 状態を 示す概念図 、
図 4 は 、 図 2 に示 し た ロ ー タ リ ノ ラ ンサ を 図 1 に示 し W
たロ ボ ッ ト の第 2 軸機構部に内蔵させた構造を示す部分 破断断面図 、
図 5 は 、 本発明の第 2 実施例に係る ロ ータ リ バ ラ ンサ の基本構造を示す分解図 、
図 6 は 、 図 5 に示し たロ ータ リ ノくラ ンサを図 1 に示し たロ ボ ッ ト の第 2 軸機構部に内蔵させた構造を示す部分 破断断面図 、
図 7 a は 、 可動仕切 り 部材 と 固定仕切 り 部材を 2 個づ つ使用 し た本発明の第 3 実施例に係る ロ ータ リ バラ ンサ の中立状態を示し 、 図 7 b はバ ラ ンス力が出力 さ れる 状 態を示す概念図 、
図 8 a は 、 気体バ ッ グを利用 し た本発明の第 4 実施例 に係る ロ ータ リ ノくラ ンサの中立状態を示し 、 図 8 b はバ ラ ンス力が出力 される 状態を示す概念図 、
図 9 は 、 本発明の第 5 実施例を示し 、 既存の ロ ータ リ 流体圧ァ クチユ エータ を転用する こ と によ り 図 2 に示し たロ ータ リ バラ ンサ と 同等な機能を有する ロ ータ リ バ ラ ンサが構成さ れている 。
発明を実施する ため の最良の形態
0 図 1 a 及び図 1 b は 、 以下に説明する各実施例の ロ ー タ リ ノく ラ ンサが組み込まれる ロ ボ ッ ト の全体構造並びに ロ ータ リ ノ ラ ンサの組み込み個所を示す。 ロ ボ ッ ト の据 え付けベー ス 1 上に第 1 軸の旋回胴を兼ねる 第 2 軸取付 ベ ー ス 2 が搭載されている 。 そ し て 、 第 2 軸取付ベー ス5 2 上には 、 第 1 アーム 4 を旋回 させる ための第 2 軸機構 部 3 が設置されて い る 。
第 1 アー ム 4 の先端部には 、 第 2 アー ム 6 を旋回 させ ための第 3 軸機構部 5 が設け られ 、 更に 、 第 2 アーム 6 の先端部には適宜数の軸 ( 典型的には 3 軸 ) を持つ手首 部 7 が設け られる 。 また 、 手首部 7 にはアプ リ ケーシ ョ ンに応じ て各種のエ ン ド エ フ ヱ ク タ ( 負荷重量物 ) が取 り 付け られる 。 図 1 b に示し たよ う に 、 第 2 軸はモータ 8 で駆動さ れ 、 第 3 軸はモータ 9 で駆動される 。 なお 、 他の軸のモータ については図示を省略し た 。
こ の よ う な一般的な軸構成を有する ロ ボ ッ ト において は 、 第 1 アー ム 4 が矢印 Aで示し たよ う に旋回 し て水平 に近い姿勢を と つ た時 、 第 1 アー ム 4 以下に作用する 重 力 によ り 、 第 2 軸に特に大き な負荷がかかる こ と になる そ こ で 、 図 1 b には第 1 アーム 4 を駆動する 第 2 軸機構 部 3 にロ ータ リ バ ラ ンサ B L を内蔵し たケー ス を示し た が 、 他の軸 ( 例えば第 2 アーム 6 を駆動する 第 3 軸 ) に 装備し ても 良い こ と は言 う までも ない 。 また 、 場合によ つ ては複数の軸 ( 第 2 軸 と 第 3 軸な ど ) に装備させる こ と も 有 り 得る 。
以下 、 図 2 以下を参照し 、 ロ ータ リ ノくラ ンサ B L の い く つ か の実施例について説明する 。
図 2 は 、 第 1 の実施例に係る ロータ リ ノ ラ ンサの基本 構造を説明する要素分解図であ る 。 同図に示し たよ う に 全体を符号 B L 1 で指示したロ ータ リ バラ ンサは 、 空洞 C を有する 円筒シ リ ンダを構成するハウ ジング 1 0 と こ れを両端で閉塞する 1 組のエ ン ド プレ ー ト 1 1 , 1 7 を 備え る 。 シ リ ンダの一部は 、 先端稜線部に沿っ てシール 1 3 を設けた扇柱状のブロ ッ ク 1 2 で 占め られている 。 一方のエ ン ド プレ ー ト 1 7 の 中央にはシ ャ フ ト 1 4 を通 す開 口 1 8 が円筒シ リ ンダの軸 A X と 同軸で設け られて お り 、 後述する よ う に 、 こ の開 口 1 8 を通し てシ ャ フ ト 1 4 は第 1 アーム 4 ( 図 1 参照 ) と 結合される 。
シ ャ フ ト 1 4 の側部にはべーン 1 5 が取 り 付け られて レヽ る 。 ベーン 1 5 は 、 ブロ ッ ク 1 2 と と も に空洞 C ( シ ャ フ ト 1 4 占有部分は除 く 。 以下の実施例でも 同 じ 。 ) を 、 シ ャ フ ト 1 4 の周 り に存在して互い に気密な 2 つの 領域に仕切る 部材で 、 その縁部にはシール 1 6 が設け ら れてい る 。 ロ ー タ リ ノく ラ ンサ B L 1 の組立時にはべーン 1 5 を備えたシ ャ フ ト 1 4 を空洞 C 内 に収容し た後 、 ェ ン ド プレ ー ト 1 7 でハ ウ ジング 1 0 が閉塞さ れる 。 但し 上述し たよ う に 、 シ ャ フ ト 1 4 は開 口 1 8 を通し てノヽゥ ジング外部へ延びる 。 また 、 こ こでは図示を省略し たが ノヽウ ジング 1 0 内に収め られる シ ャ フ ト 1 4 の先端は 、 エン ド プレ ー ト 1 1 の中心開 口部に設け られた軸受機構 に回転自 在に係合する 。
ロ ータ リ ノくラ ンサ B L 1 の動作時には 、 ロ ボ ッ ト の姿 勢変化に応じてシ ャ フ ト 1 4 、 従っ てべーン 1 5 が回転 する 。 その結果 、 図 3 a , 図 3 b に示すよ う に 、 互いに 気密が保たれた 2 つの領域 C I , C 2 の内一方の領域 C 1 内では空気圧が上昇し 、 他方の領域 C 2 内では空気圧 が下降する 。 2 つ の気密領域 C l , C 2 間に生じた圧力 差は 、 ベー ン 1 5 を介してシ ャ フ ト 1 4 を矢印方向に回 転させよ う とする ト ルク に変換さ れ 、 こ の ト ルク がノ ラ ン ス力 と し て利用 される 。
図 3 a は 、 ロ ータ リ ノくラ ンサ B L 1 の中立状態を表わ し てお り 、 領域 C 1 , C 2 の圧力は等 しい 。 こ の 中立時 圧力を P 0 で表わす 。 中立時圧力は典型的には大気圧で あ る が 、 大気圧 と 異なる圧力 とする こ と も 出来る 。 一般 には 、 中立時圧力を高圧 とすれば 、 小サイズで強力な 口 ータ リ ノ ラ ンサが得られる 。 なお 、 ロ ータ リ ノく ラ ンサ B L 1 の 中立状態は重力負荷最小の姿勢に対応させる の が 通例であ る 。 こ の事は 、 後述する他の実施例においても 同様であ る 。
今 、 図 1 に示し たロ ボ ッ ト の第 1 アーム 4 が 、 重力負 荷最小の姿勢か ら水平方向 ( 矢印 A ) に旋回し た時 、 シ ャ フ ト 1 4 及びべー ン 1 5 が矢印 B , B ' 方向に回転す る よ う にシ ャ フ ト 1 4 が第 1 ア ー ム 4 に結合さ れている とする と 、 シ ャ フ ト 1 4 及びべー ン 1 5 の移動角 の回 転によ っ て 、 図 3 b に示し た状態 と なる 。
こ の時の気密領域 C I , C 2 の圧力を P I , P 2 とす れば 、 当然 、 P I > P 0 > P 2 と なっ てお り 、 ロ ータ リ バラ ンサ B L 1 の中立状態は破れてい る 。 こ の時 、 領域 C 1 , C 2 間に生じ る圧力差によ っ て得られる ト ルク ( 矢印 T ) は 、 次式 ( 1 ) で与え られる 。 M =丄 (D2- d2)xPn (7i - -)x ―
8 、 J ° r ( (1)
Q
π_-
2
こ こ で 、 各記号の意味は次の通 り であ る 。
M : ロ ータ リ ノくラ ンサの出力 ト ルク
: 中立位置カゝ ら測っ たシ ャ フ ト 1 4 乃至べー ン 1 5 の移動角
: ブロ ッ ク 1 2 で占有されてい る 角度範囲 ( 干渉 角 )
D : シ リ ンダ の内径
ί : シ リ ンダ の長さ
d : シ ャ フ ト 1 4 の直径
次に図 4 は 、 図 2 に示し た基本構造を採用 し た ロ ータ リ バ ラ ンサ B L 1 を図 1 に示したロ ボ ッ ト の第 2 軸機構 部に内蔵させた構造を説明する 部分破断断面図であ る 。 同図に示し たよ う に 、 第 2 軸駆動モータ 8 と減速機 2 0 は 、 ロ ー タ リ バラ ンサ B L 1 と 同軸的に 、 第 2 軸取付べ ー ス 2 上に搭載されている 。 図示を省略した機構内部で 第 2 軸駆動モータ 8 の出力軸は減速機 2 0 の入力軸を構 成し 、 減速機 2 0 の出力軸は第 1 アー ム 4 に結合し てい る 。
第 2 軸取付ベー ス 2 は環状の取付部 2 4 を有し 、 取付 部 2 4 には減速機 2 0 並びに第 1 アーム 4 が挿嵌されて い る 。 減速機 2 0 は取付部 2 4 に固定されてレヽる カ 、 第 1 アー ム 4 は軸受機構 2 3 を介し て軸 A X周 り に回転自 在に支持されてい る 。 そ して 、 第 1 アー ム 4 はロ ータ リ バ ラ ンサ B L 1 と 同軸の円筒状の空洞部 2 1 を有し てい る 。
図 中最右方に描かれたロ ー タ リ ノ ラ ン サ B L 1 は 、 そ のハウ ジング 1 0 を第 2 軸取付ベー ス 2 に対し て固定す る こ と で第 2 軸取付ベー ス 2 上に搭載さ れてい る 。 ハウ ジング 1 0 はエン ドプレー ト 1 1 , 1 7 で両端部が塞が れている が 、 ロ ータ リ ノくラ ンサ B L 1 の出力軸 と なる シ ャ フ ト 1 4 は 、 エン ドプレー ト 1 7 を通して 、 第 1 ァ ー ム 4 の空洞部 2 1 内に延びている 。 そ し て 、 シャ フ ト 1 4 は第 1 アー ム 4 の空洞部 2 1 内周部に設け られた適当 な結合機構 ( ス プ ラ イ ン結合 、 キー結合など ) 2 2 を介 し て 、 第 1 アー ム 4 と 結合してい る 。 こ の よ う に 、 第 1 実施例における ロ ータ リ ノ ラ ンサ B L 1 は 、 減速機 2 0 の出力軸で駆動さ れる 第 1 アーム に対して結合されてい る 。
既に説明 したよ う に 、 シ ャ フ ト 1 4 の側部にはべー ン 1 5 が取 り 付け られてお り 、 ブロ ッ ク 1 2 と と も にシ リ ンダ内の空洞を 、 シャ フ ト の周囲に存在する 互い に気密 な 2 つの領域に仕切っ ている 。 ブロ ッ ク 1 2 の先端稜線 部及びべーン 1 5 の縁部には 、 シール 1 3 , 1 6 が設け られている こ と も 既に述べた通 り であ る 。
今 、 図 3 a に示し た中立状態カゝ らモータ 8 が回転し 、 減速機 2 0 を介し ての第 1 アー ム 4 が旋回する と 、 シ ャ フ ト 1 4 及びべー ン 1 5 が回転する 。 する と 前述した通 り 、 ベー ン 1 5 の移動角 に応じて 、 こ の旋回変位に抗 する ト ルク が発生し 、 第 1 アーム 4 の回転軸部に伝え ら れる 。 第 1 アーム 4 の回転軸部に作用する ト ルク と して 生成さ れたバ ラ ンス力は 、 第 1 アーム 4 に橈みを発生す る原因 と な ら ない 。 こ の よ う に 、 本実施例ではロ ボ ッ ト アームがその駆動部 ( モータ及び減速機 ) と ロ ータ リ バ ラ ン サ の間に配置さ れ 、 ロ ボ ッ ト アー ム の旋回に応じ て 受動的にロ ータ リ ノ ラ ンサが作動 ( シ ャ フ ト 。 ベーンが 回転 ) する 。
ロ ータ リ ノくラ ンサの基本構造と し て 、 図 2 に示し たも の と 異な る も のを採用する こ と も 出来る 。 図 5 は 、 その 一例 と して 、 第 2 の実施例に係る ロ ータ リ ノく ラ ン サ の基 本構造を説明する 要素分解図であ る 。 同図 に示し たよ う に 、 全体を符号 B L 2 で指示し たロ ータ リ バラ ンサは 、 内部に空洞 C を有する 円筒シ リ ンダを構成するハウ ジン グ 3 0 を備え る 。 空洞 C の一部は 、 先端稜線部並びに頂 面に沿っ てシール 3 2 を設けた扇柱状のブロ ッ ク 3 1 で 占め られてい る 。
本実施例の ロ ータ リ ノくラ ンサ B L 2 は 、 こ のノヽゥ ジン グ 3 0 に対し て 、 1 対のフ ラ ンジ 3 3 , 3 4 をシャ フ ト 3 5 、 ベー ン 3 6 を繋いだ形状のュニ ッ ト G を組み合わ せた構造を有し てい る 。 ベーン 3 6 には 、 シール 3 7 が 設け られてい る 。 ユニ ッ ト G の形状か ら判る よ う に 、 口 —タ リ ノ ラ ンサ B L 2 の組立時には 、 フ ラ ンジ 3 3 , 3 4 の内の少な く と も 一方が未取付の状態にある ュニ ッ ト Gをハウ ジング 3 0 内に収容する 。 そ し て 、 未取付のフ ラ ンジ 3 3 , 3 4 ( 一方または両方 ) をシ ャ フ ト 3 5 及 びべーン 3 6 に固定し てュニ ッ ト G を完成させる と と も に 、 ハ ウ ジング 3 0 に組み付け る 。
第 1 実施例 と 同様に 、 ベーン 3 6 は 、 ブ ロ ッ ク 3 1 と と も に空洞 C を 、 シ ャ フ ト 3 5 の周 り に存在する 互いに 気密な 2 つの領域に仕切る 部材であ る 。 ロ ータ リ バ ラ ン サ B L 2 の動作時には 、 ロ ボ ッ ト の姿勢変化に応じ てフ ラ ンジ 3 4 , 3 5 、 従っ てシャ フ ト 3 5 とべーン 3 6 力 回転する 。 その結果 、 空洞 C をべーン 3 6 で気密に仕切 る こ と によ っ て形成さ れる 2 つの領域の間に圧力差が発 生し 、 ベーン 3 6 を介してシ ャ フ ト 3 5 及びフ ラ ンジ 3 3 , 3 4 を回転させよ う とする ト ルク が生成さ れる 。 こ の ト ルク がバ ラ ンス 力 と し て利用 さ れる 。 なお 、 ト ルク 発生の メ カニズムは 、 図 3 a , 図 3 b を参照し て説明 し た第 1 実施例 と 同 じであるか ら 、 繰 り 返し説明は省略す る 。
図 6 は 、 図 5 に示した基本構造を採用 し たロ ータ リ バ ラ ンサ B L 2 を図 1 に示したロ ボ ッ ト の第 2 軸機構部に 内蔵させた構造を説明する部分破断断面図である 。 同図 に示したよ う に 、 第 2 軸駆動モータ 8 と 減速機 2 0 は 、 ロ ータ リ ノ ラ ンサ B L 2 と 同軸的に 、 第 2 軸取付ベース 2 上に搭載さ れてい る 。 図示を省略し た機構内部で 、 第 2 軸駆動モータ 8 の出力軸は減速機 2 0 の入力軸を構成 し 、 減速機 2 0 の出力軸はロ ータ リ ノ ラ ンサ B L の一方 の フ ラ ンジ 3 3 と 結合し てレヽ る 。
第 2 軸取付ベ ー ス 2 は環状の取付部 2 4 を有し 、 こ の 取付部 2 4 に第 1 アーム 4 の一部 と ロ ータ リ ノ ラ ンサ B L 2 が揷嵌される 。 ロ ータ リ ノくラ ンサ B L 2 のノヽゥ ジン グ 3 0 は取付部 2 4 に固定さ れる が 、 第 1 アーム 4 は軸 受機構 4 0 を介し て軸 A X周 り に回転自 在に支持さ れる その一方 、 第 1 アーム 4 はロ ータ リ ノ ラ ンサ B L 2 の他 方の フ ラ ンジ 3 3 に結合される 。
既に説明 したよ う に 、 シャ フ ト 3 5 にはべーン 3 6 が 固設さ れてお り 、 ブロ ッ ク 3 1 と と も にシ リ ンンダ内の 空洞を互い に気密な 2 つの領域に仕切っ ている 。 また 、 ブロ ッ ク 3 1 の頂面 、 先端稜線部及びべーン 3 6 の縁部 には 、 シール 3 2 , 3 7 が設け られている 。 フ ラ ンジ 3 3 , 3 4 の周縁部にも シール 3 8 , 3 9 が設け られてい る 。
こ の よ う に 、 第 2 実施例におけ る ロータ リ ノ ラ ンサ B L 2 は 、 第 1 実施例 と は異な り 、 減速機 2 0 と 第 1 ァ ー ム の間に設け られた伝動機構の役割を果たす 。 即ち 、 両 フ ラ ンジ 3 3 , 3 4 、 シャ フ ト 3 5 並びにべーン 3 6 は 一体的に回動する ユニ ッ ト G ( 図 5 参照 ) と し て減速機 2 0 と 第 1 アーム の間に設け ら てい る ため 、 フ ラ ンジ 3 4 力、 ら入力 さ れる減速機 2 0 の出力 ト ルク は 、 ロ ータ リ ノ ラ ンサ B L 2 を介し て第 1 アーム 4 に伝え られる 。
今 、 図 3 a に示し た中立状態か らモータ 8 が回転する と 、 減速機 2 0 を介し て 口 一タ リ バ ラ ンサ B L 2 の フ ラ ン ジ 3 4 に回転が伝え られ 、 シ ャ フ ト 3 5 及びべー ン 3 6 並びに及び第 1 アーム 4 側のフ ラ ンジ 3 3 が回転する これによ り 、 第 1 アーム 4 が旋回する 一方 、 前述し たよ う に 、 ベー ン 3 6 の移動角 に応じ て ト ルク が発生する こ の ト ル ク は 、 第 1 ア ー ム 4 の重力負荷によ る モー メ ン ト を打ち消す方向 に作用する ノ ラ ン ス力 と し て 、 第 1 ア ー ム 4 の回転軸部 と減速機 2 0 の出力軸に対し て作用 する 。 言い換えれば 、 第 1 ア ー ム 4 の回転軸部にかかる 重力負荷を減速機 2 0 の出力 ト ルク と ロ ータ リ ノく ラ ンサ B L 2 の出力 ト ルク ( ノ《ラ ンス力 ) の合力で支え る こ と にな る 。 従っ て 、 本実施例においても 、 ロ ータ リ ノ ラ ン サ B L 2 によ っ て生成されるバ ラ ン ス力が第 1 アー ム 4 に橈みを生じ させる恐れはない 。
以上説明 した第 1 及ぴ第 2 の実施例におけ る ロ ータ リ ノ ラ ン サ B L 1 , B L 2 は 、 いずれも 単一の可動仕切 り 部材 ( ベーン 1 5 , 3 5 ) を単一の固定仕切 り 部材 ( ブ ロ ッ ク 1 2 , 3 1 ) と と も に用レヽて 、 シ リ ンダ ( 空洞 ) 内を気密に仕切っ ている が 、 可動仕切 り 部材あ るいは固 定仕切 り 部材を複数個使用 しても 良い 。 図 7 は 、 図 3 と 同様の形式で 、 可動仕切 り 部材 と 固定仕切 り 部材を 2 個 づっ使用 し たロ ータ リ バラ ンサ B L 3 の構造と 作用を説 明する 図であ る 。
図 7 a 及び図 7 b に示したよ う に 、 ロ ータ リ ノくラ ンサ B L 3 は 、 内部に空洞を有する 円筒シ リ ンダを構成する ハウ ジング 5 0 内 に 2 つのブロ ッ ク 5 1 , 5 2 を配し 、 シ リ ンダ主軸に設け られる シャ フ ト 5 3 に 2 枚のベーン 5 4 , 5 5 を取 り 付けた構造を有し ている 。 ベーン 5 4 5 5 は 、 ブ ロ ッ ク 5 1 , 5 2 で気密に 2 分された空洞を 更に領域 C 3 と C 4 、 C 5 と C 6 に 2 分し てレ、る 。
これら計 4 個の領域を互いに気密に保っため に 、 各ブ ロ ッ ク 5 1 , 5 2 及びべ一ン 5 4 , 5 5 の縁部にはシー ル 5 6 〜 5 9 力 S設け られてレヽ る 。 ロ ータ リ バラ ンサ B L 3 の動作時には 、 ロ ボ ッ ト の姿勢変化に応じ てシ ャ フ ト 5 3 、 従っ て 2 枚のベーン 5 4 , 5 5 カ 回転する 。 その 結果 、 2 組の気密領域 C 3 と C 4 の間 、 及び C 5 と C 6 の間には圧力差が生じ る 。 こ の圧力差は 、 ベーン 5 4 , 5 5 を介し てシャ フ ト 5 3 を回転させる ト ル ク に変換さ れ 、 こ の ト ルク がバ ラ ン ス力 と して利用 さ れる 。
図 7 a は 、 図 3 a と 同様 、 ロ ータ リ ノくラ ンサ B L 3 の 中立状態を表わ し てお り 、 領域 C 3 〜 C 6 の圧力は等し レヽ ( 但し 、 原理的には 、 C 3 と C 4 の圧力 、 C 5 と C 6 の圧力が等し ければ中立状態である ) 。 こ の 中立時圧力 を図 3 のケース にな ら っ て P 0 で表わす。 既に述べたよ う に 、 中立時圧力は典型的には大気圧であ る が 、 大気圧 と 異なる圧力 とする こ と も 出来る 。 また 、 中立時圧力を 高圧 とすれば 、 小サイズで強力な ロ ータ リ バラ ンサが得 られる 。
今 、 本実施例の ロ ータ リ ノくラ ンサ B L 3 を図 1 に示し たロ ボ ッ ト の第 2 軸機構部 3 に内蔵されてお り 、 重力負 荷最小の姿勢か ら第 1 アーム 4 が水平方向 ( 矢印 A ) に 旋回 し た時 、 シ ャ フ ト 5 3 及びべ一ン 5 4 , 5 5 が矢印 B , B ' 方向に回転する も の とする 。 する と 、 シャ フ ト 5 3 及びべー ン 5 4 , 5 5 は図 7 a の 中立状態カゝ ら移動 角 の回転によ っ て 、 図 7 b に示し た状態 と な る 。
こ の時の気密領域 C 3 , C 4 , C 5 , C 6 の圧力を P 3 , P 4 , P 5 , P 6 とすれば 、 当然 、 P I > P 0 > P 2 , P 5 > P 0 > P 6 と なっ てお り 、 ロ ータ リ バ ラ ンサ B L 3 の 中立状態は破れてい る 。 こ の時 、 領域 C 3 , C 4 間及び C 5 , C 6 間に生じ る圧力差によ っ て得られる ト ルク ( 矢印 T ) は 、 次式 ( 2 ) で与え られる 。
Figure imgf000018_0001
こ こ で 、 各記号の意味は前出の式 ( 1 ) で使用 し たも の に準じ てたも ので 、 次の通 り であ る 。
Μ : ロ ータ リ ノく ラ ンサの出力 ト ルク
: 中立位置力 ら測っ たシ ャ フ ト 5 3 乃至べ一ン 5 4 , 5 5 の移動角
: ブロ ッ ク 5 1 , 5 2 で 占有されている 角度範囲 ( 干渉角 )
D : シ リ ンダの内径
ί : シ リ ンダの長さ
d : シ ャ フ ト 5 3 の直径 なお 、 こ の第 3 実施例に係る ロ ータ リ ノ ラ ンサ B L 3 の基本構造については 、 図 2 、 図 5 を参照し て説明 した 第 1 実施例あ る いは第 2 実施例に準じ たも の ( ベーン と ブロ ッ ク が 2 個づつにな る ) が採用出来る こ と が明 らか なので 、 詳細は省略する 。 また 、 ロ ボ ッ ト への組み込み 構造についても 、 第 1 実施例に準じた基本構造を採用 し た場合は 、 図 4 に示し た組み込み構造に従えば良 く 、 第 2 実施例に準じた基本構造を採用 し た場合は 、 図 6 に示 し た組み込み構造構造に従えば良い 。
以上説明 した各実施例におけ る ロ ータ リ ノ ラ ンサ B L 1 〜 B L 3 では 、 複数の気密領域を形成する ため にべ一 ン 、 ブロ ッ ク 、 シ リ ンダ内壁等を直接利用 している 。 即 ち 、 気密領域内の気体は 、 これら部材の壁面に直接接触 する構造 と なっ てお り 、 気体漏洩が起こ り 易い各所には シールを設けて気体漏洩を防止してい る 。 しかし 、 これ らシールで気体漏洩を完全に防止する こ と は容易でな く 気体補充を しないで使用出来る 期間が短 く な り がちであ る 。
そ こ で 、 こ の点を改良した第 4 の実施例に係る ロ ータ リ ノく ラ ンサの構造 と 作用を 、 図 7 と 同様の形式で ロ ータ リ バ ラ ンサの断面を描いた図 8 を参照し て説明する 。 図 8 a 及ぴ図 8 b に示したよ う に 、 本実施例の ロ ータ リ バ ラ ンサ B L 4 の特徴は 、 2 つ気密領域を形成する ため に 気体バ ッ グを利用 している 点にあ る 。
ロ ータ リ ノ ラ ンサ B L 4 は 、 内部に空洞を有する 円筒 シ リ ンダを構成する ノヽウ ジング 6 0 内 にプロ ッ ク 6 1 を 配し 、 シ リ ンダ主軸に設け られる シャ フ ト 6 2 にべーン 6 3 を取 り 付けた構造を有している 。 ベーン 6 3 は 、 こ れまでの実施例 と 同様に 、 ブロ ッ ク 6 2 と と も にシ リ ン ダ内の空洞を 2 つの領域に 2 分する よ う に配置さ れてい る 。 そ して 、 これら領域内に気体を密封する袋体 6 4 , 6 5 が配置され 、 各袋体 6 4 , 6 5 によ っ て気密領域 C 7 , C 8 が形成される 。 従っ て 、 ブ ロ ッ ク 6 1 、 ベーン 6 3 の縁部な ど にシールを設け る必要はない 。
袋体 6 4 , 6 5 の材料には 、 例えばゴム の よ う に 、 気 密性を有し 、 変形が 自 在なも のを選択する こ と が適当で あ る 。 なお 、 描示の都合上 、 図 8 におけ る袋体 6 4 , 6 5 は 、 厚みを誇張し て斜線を付して描かれている 。
ロ ータ リ バラ ンサ B L 4 の動作時には 、 ロ ボ ッ ト の姿 勢変化に応じ てシャ フ ト 6 2 、 従っ てべーン 6 3 が回転 する 。 その結果 、 気密領域 C 7 と C 8 の間には圧力差が 生じ る 。 こ の圧力差がベーン 6 3 を介し てシャ フ ト 6 2 を回転させる ト ル ク に変換され 、 こ の ト ルク がバ ラ ンス 力 と し て利用 される 。
図 8 a は 、 図 3 a や図 7 a と 同様 、 ロータ リ ノく ラ ンサ B L 4 の 中立状態を表わ し てお り 、 領域 C 7 と C 8 の圧 力は等しい 。 こ の 中立時圧力を前例にな ら っ て P 0 で表 わす 。 中立時圧力は典型的には大気圧である が 、 大気圧 と 異な る圧力 とする こ と も 出来る こ とや中立時圧力を高 圧 とすれば小サイ ズで強力な ロ ータ リ バ ラ ンサが得られ る こ と などはこれまでの実施例 と 同様である 。
今 、 本実施例の ロ ータ リ ノ ラ ンサ B L 4 が図 1 に示し たロ ボ ッ ト の第 2 軸機構部 3 に内蔵されてお り 、 重力負 荷最小の姿勢か ら第 1 アーム 4 が水平方向 ( 矢印 A ) に 旋回 し た時 、 シ ャ フ ト 6 3 及びべ一ン 6 3 が矢印 B ,
B ' 方向 に回転する も の とする 。 する と 、 シ ャ フ ト 6 2 及びべーン 6 3 は図 8 a の中立状態力 ら 、 図 8 b に示し た状態 と なる 。
こ の時の気密領域 C 7 , C 8 の圧力を P 7 , P 8 とす れば 、 当然 、 P 7 > P 0 > P 8 と なっ てお り 、 ロ ー タ リ バ ラ ンサ B L 4 の 中立状態は破れ 、 高圧側か ら低圧側へ 向けてベーン 6 3 を押戻そ う とする ト ルク ( 矢印 T ) が 発生する 。 発生する ト ルク の大き さ は 、 第 1 実施例で説 明 し た式 ( 1 ) で計算 される も の と 基本的に同 じである なお 、 本実施例では袋体を気密領域形成手段に用いて 2 個の気密領域を形成し たが 、 使用する袋体の数を増加 させれば 、 気密領域の数を増加させる こ と が出来る 。 例 えば 、 図 7 に示し た第 3 実施例には 、 袋体を 4 個使用す る よ う な構造の変形が可能である 。
以上 、 本発明の特徴を有する ロ ータ リ バラ ンサ B L 1 〜 B L 4 の例を説明 し たが 、 最後に 、 これら の ロ ータ リ バラ ンサの要部が 、 市販さ れている 流体圧ロ ータ リ ア ク チユ エータの本体部に簡単な改造を加え る だけで構築出 来る こ と について述べる 。 図 9 は 、 ロ ータ リ 流体圧ァ ク チユ エー タ の本体部を改造して第 1 実施例 と 等価な構造 を持つロ ータ リ バラ ンサを構成した事例 ( 第 5 実施例 ) について説明する 図である 。
同図に示し たロ ータ リ バラ ンサ B L 5 の特徴は 、 内部 に空洞を有する 円筒シ リ ンダ の構成部材 と して 、 ロ ータ リ 流体圧ァ クチユ エー タ の本体部を転用 し た点にあ る 。 即ち 、 図 9 において 、 円筒シ リ ンダを構成するハウ ジ ング 7 0 の他 、 その内部に設け られてい る ブロ ッ ク 7 1 シ ャ フ ト 7 2 、 ベー ン 7 3 、 シーノレ 7 4 , 7 5 等は 、 巿 販さ れてい る ロ ータ リ 流体圧ァ クチユ エータ の本体部を 転用 し たも のであ る 。 ブロ ッ ク 7 1 には 、 図示さ れてい る よ う に 、 ベー ン 7 3 で空洞を 2 分し て形成さ れた 2 つ の気密領域 C 1 , C 2 の各々 に通ずる 給排気ポー ト 7 6 7 7 が設け られてレヽる 。
これら給排気ポー ト 7 6 , 7 7 は 、 本構造が ロ ータ リ 流体圧ァ クチユエータ の本体部 と し て使用 される場合に 一方に給気を行い他方か らは排気を行な う ためのも の で ある 。 例えば 、 ポー ト 7 6 か ら高圧エア を供給し 、 ポー ト 7 7 カゝ ら排気を行なえば 、 ベーン 7 3 が矢印 S で示し た向き に回転させよ う とする ト ルク が生成される 。 従つ て 、 シャ フ ト 7 2 はロ ータ リ 流体圧ァ クチユ エ一タの出 力軸 と し て設け られていたも のであ る 。
こ の構造は 、 ブロ ッ ク 7 1 に給排気ポー ト 7 6 , 7 7 が設け られてい る 点を除けば 、 前述し た単一べ一ンを使 用 し たロ ータ リ バ ラ ンサ と 同 じであ る 。 そ こ で 、 破線及 び実線で示さ れてい る よ う に 、 これら給排気ポー ト 7 6 7 7 を閉塞要素 7 8 , 7 9 で閉塞すれば 、 単一べーン使 用の ロ ータ リ バラ ンサ と して使用 出来る 。
同様に 、 2 枚あるいはそれ以上の枚数のベ ーン ( 可動 気密仕切 り 部材 ) を使用 した型の ロ ータ リ 流体圧ァ クチ ユ エータ の本体部の給排気ポー ト を閉塞すれば 、 これを ロ ータ リ ノ ラ ンサの要部 と して使用出来る こ と は明 らか であろ う 。
なお 、 ロ ータ リ 流体圧ァ クチユ エ一タの給排気ポー ト 7 6 , 7 7 の内面には 、 給排気管を直接あ るいは間接に 接続にする ためのネジ溝が切っ てあ る こ と が通例であ る か ら 、 閉塞要素 と し ては こ のネジ溝に適合する ネジ部材 を利用する こ と が出来る 。 また 、 必要に応じて他の閉塞 手法 ( 例えば 、 溶接 、 硬化性のコ ンパウ ン ド によ る 閉塞 ) を用いても 良い 。
本発明 によれば 、 ロ ボ ッ ト の回転軸機構部に簡素な構 造を有する ロ ータ リ ノ ラ ンサを内蔵させる こ と で 、 ロ ボ ッ ト の外形を コ ンパ ク ト に保ち なが ら 回転軸駆動モ一 タ の負荷を軽減する こ と が出来る 。 また 、 本発明によれば バ ラ ンス力がアーム に作用 し て橈みが発生する 現象が回 避出来る ので 、 ノ ラ ンサ使用によ る ロ ボ ッ ト の制御精度 の低下が防止 される 。 更に 、 流体圧ロ ータ リ ア ク チユ エ ータ の本体部に簡単な改造を加えたも のを ロ ータ リ バラ ンサの要部に転用すれば 、 よ り 安価 ' 簡便にロ ータ リ バ ラ ンサを製造し 、 ロ ボ ッ ト に装備 させる こ と も 可能にな る 。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . ロ ボ ッ ト の回転軸機構に組み込まれる 口 一タ リ バラ ンサであっ て 、
シ リ ンダ と 、
前記シ リ ンダの軸に沿っ て回動 自在に設け られたシャ フ 卜 と 、
前記シ リ ンダの内周面に固定さ れ 、 前記シ リ ンダの内 周面 と 前記シャ フ ト の外周面 と の間の空間の一部を 占有 する少な く と も 一つの固定仕切 り 部材 と 、
前記シ ャ フ ト に固定されて該シャ フ ト と 一体に回動し 前記シ リ ンダの内周面 と 前記シャ フ ト の外周面 と の間の 空間の一部を 占有する少な く と も 一つの可動仕切 り 部材 と 、
前記シ リ ンダの両端開 口 を閉塞する 閉塞部材 と を備え 前記シ リ ンダ内の前記シ ャ フ ト の周囲の空間は 、 前記 固定仕切 り 部材 、 前記可動仕切 り 部材及び前記閉塞部材 によ っ て少な く と も 2 つの領域に仕切 られ 、 該領域内に 各々 気密空間が形成さ れる 、 ロ ータ リ バ ラ ンサ 。
2 . 前記固定仕切 り 部材は 、 前記固定仕切 り 部材 と 前記 シ ャ フ ト と の間をシールする シール部材を備え 、 前記可 動仕切 り 部材は 、 前記可動仕切 り 部材 と 前記シ リ ンダ と の間をシールする シール部材を備え 、 これによ つ て前記 各仕切 られた領域内 に前記気密空間が形成さ れる 、 請求 の範囲第 1 項に記載の ロ ータ リ バラ ンサ 。
3 . 前記仕切 られた領域内に気体を封入したバ ッ グが夫 々 設け られ 、 これによ つ て前記各仕切 られた領域内 に前 記気密空間が形成さ れる 、 請求の範囲第 1 項に記載の 口 一タ リ バ ラ ンサ 。
4 . 給気及び排気ポー ト を有する 流体圧ァ クチユ エータ が 、 前記給気及び排気ポー ト を閉塞する こ と によ っ て 口 一タ リ バ ラ ンサに転用 さ れ 、 前記流体圧ァ クチユ エータ の構成要素が 、 前記シ リ ンダ 、 前記シャ フ ト 、 前記少な く と も 一つの固定仕切 り 部材 、 前記少な く と も 一つの可 動仕切 り 部材 、 前記閉塞部材と し て利用 さ れる 、 請求の 範囲第 1 項乃至第 3 項に記載の ロ ータ リ バラ ンサ 。
5 . ロ ボ ッ ト アーム を駆動する 回転軸駆動機構にロ ータ リ ノ ラ ンサを有する ロ ボ ッ ト であっ て 、
前記ロ ータ リ ノく ラ ンサは 、 シ リ ンダ と 、 前記シ リ ンダ の軸に沿っ て回動 自 在に設け られたシ ャ フ ト と 、 前記シ リ ンダの内周面に固定さ れ 、 前記シ リ ンダの内周面 と 前 記シ ャ フ ト の外周面 と の間の空間の一部を 占有する少な く と も 一つの固定仕切 り 部材 と 、 前記シ ャ フ ト に固定さ れて該シャ フ ト と 一体に回動し 、 前記シ リ ンダの内周面 と 前記シ ャ フ ト の外周面 と の間の空間の一部を 占有する 少な く と も 一つの可動仕切 り 部材 と 、 前記シ リ ンダの両 端開 口 を閉塞する 閉塞部材と を備え 、
前記シ リ ンダ 内の前記シ ャ フ ト の周 囲の空間が 、 前記 固定仕切 り 部材 、 前記可動仕切 り 部材及び前記蓋体によ つ て少な く と も 2 つの領域に仕切 られ 、 該領域内 に各々 気密空間が形成さ れる 、 ロ ボ ッ ト 。
6 . 前記回転軸機構は駆動源を含み 、 前記ロ ボ ッ ト ァー ムは 、 前記駆動源 と 前記ロ ータ リ バラ ンサ と の間に設け られてお り 、 前記ロ ータ リ ノ ラ ンサの前記シ ャ フ ト は前 記ロ ボ ッ ト アーム に連結され 、 前記ロ ボ ッ ト アーム の旋 回に応じ て回動する 、 請求の範囲第 5 項に記載の ロ ボ ッ 卜 o
7 . 前記回転軸駆動機構は駆動源を含み 、 前記ロ ータ リ バ ラ ンサは前記ロ ボ ッ ト アーム と 前記駆動源 と の間に設 け られてお り 、 前記駆動源か ら の駆動力は前記ロ ータ リ バラ ンサを介し て前記ロ ボ ッ ト アームへ伝達さ れる 、 請 求の範囲第 5 項に記載の ロ ボ ッ ト 。
8 . 前記固定仕切 り 部材は 、 前記固定仕切 り 部材 と 前記 シ ャ フ ト と の間をシ一ルする シール部材を備え 、 前記可 動仕切 り 部材は 、 前記可動仕切 り 部材 と 前記シ リ ンダ と の間をシールする シール部材を備え 、 これによ つ て前記 各仕切 られた領域内 に前記気密空間が形成される 、 請求 の範囲第 5 項乃至第 7 項のいずれかに記載の ロ ータ リ バ ラ ンサ 。
9 . 前記少な く と も 2 つの空間領域内に気体を封入し た ノ ッ グが夫々 設け られ 、 これによ つ て前記各仕切 られた 領域内に前記気密空間が形成さ れる 、 請求の範囲第 5 項 乃至第 7 項のいずれかに記載の ロ ボ ッ ト 。
1 0 . 給気及び排気ポー ト を有する 流体圧ァ クチユ エ一 タ が 、 該給気及び排気ポー ト を閉塞する こ と によ り 前記 ロ ータ リ バラ ンサ と して利用 さ れ 、 前記流体圧ァ クチュ エ ー タ の本体構成要素が 、 前記シ リ ンダ 、 前記シ ャ フ ト 前記少な く と も 一つ の固定仕切 り 部材 、 前記少な く と も 一つ の可動仕切 り 部材 、 前記閉塞部材 と して機能する 、 請求の範囲第 5 項乃至第 7 項のいずれかに記載の ロ ボ ッ 卜 。
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