JPH01100719A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH01100719A JPH01100719A JP62257557A JP25755787A JPH01100719A JP H01100719 A JPH01100719 A JP H01100719A JP 62257557 A JP62257557 A JP 62257557A JP 25755787 A JP25755787 A JP 25755787A JP H01100719 A JPH01100719 A JP H01100719A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic
- gap
- magnetic head
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はＶＴＲまたは、デジタルオーディオ等の高密度
磁気記録再生装置に好適な磁気ヘッドに関する。
磁気記録再生装置に好適な磁気ヘッドに関する。
従来の技術
従来、ＶＴＲ，デジタルオーディオ等に用いられる磁気
ヘッドにはフェライト、またはセンダスト等のバルク磁
性材料が用いられてきた。この様な材料によるヘッドの
磁気ギャップの形成は、上述の材料にトラック加工、巻
線溝加工等の形状加工を施したコア半体対を貼合わせて
形成される。
ヘッドにはフェライト、またはセンダスト等のバルク磁
性材料が用いられてきた。この様な材料によるヘッドの
磁気ギャップの形成は、上述の材料にトラック加工、巻
線溝加工等の形状加工を施したコア半体対を貼合わせて
形成される。
この為にはコア半体対のギャップ形成面を精度良く研磨
した後、所望の厚さのギャップ部材をスパッタ法等によ
り形成した後ガラス等を接着剤として加熱溶融して行わ
れていた。またメタル磁性粉等の高保磁力媒体を用いた
記録再生系に於ては、磁気ギャップ付近に金属磁性薄膜
を形成して記録効率を高めた複合材料からなるヘッドも
用いられているが、製造法、形状等は従来のフェライト
ヘッドと本質的に異なるものでない。
した後、所望の厚さのギャップ部材をスパッタ法等によ
り形成した後ガラス等を接着剤として加熱溶融して行わ
れていた。またメタル磁性粉等の高保磁力媒体を用いた
記録再生系に於ては、磁気ギャップ付近に金属磁性薄膜
を形成して記録効率を高めた複合材料からなるヘッドも
用いられているが、製造法、形状等は従来のフェライト
ヘッドと本質的に異なるものでない。
近年、高密度磁気記録の進展にともなって極めて小さな
磁気ギャップ長の磁気ヘッドが求められるようになって
きた。例えば、デジタルオーディオテープ（ＤＡＴ）に
於ては、０．３μｍ以下が求められている。従来の貼合
わせによるギャップ形成法では、精度のよいギャップ長
を得るためには、ギャップ形成面の仕上精度は勿論のこ
と、ガラス等の異種材料との熱膨張差、加工による歪等
を原因とするコア半体の反りを小さくさせること等が必
要であり高度な研磨技術が要求される。しかしながらこ
の様の技術にも限界があり、これ以上の狭ギャップ長に
於ては、ギャップ長のばらつきのため求めるヘッド特性
が安定して得られず、その結果歩留りを低下させること
になる。
磁気ギャップ長の磁気ヘッドが求められるようになって
きた。例えば、デジタルオーディオテープ（ＤＡＴ）に
於ては、０．３μｍ以下が求められている。従来の貼合
わせによるギャップ形成法では、精度のよいギャップ長
を得るためには、ギャップ形成面の仕上精度は勿論のこ
と、ガラス等の異種材料との熱膨張差、加工による歪等
を原因とするコア半体の反りを小さくさせること等が必
要であり高度な研磨技術が要求される。しかしながらこ
の様の技術にも限界があり、これ以上の狭ギャップ長に
於ては、ギャップ長のばらつきのため求めるヘッド特性
が安定して得られず、その結果歩留りを低下させること
になる。
発明が解決しようとする問題点
高密度磁気記録用の磁気ヘッドに於ては狭ギャップ化、
狭トラック化が不可欠である。狭ギャップ長、狭トラツ
ク幅のヘッドに対して上に述べた従来の構造、製造法に
よるヘッドでは、磁気ギャップの形成工程が最も歩留り
を低下させる工程となっておりギャップ精度の歩留りの
低さがコストを高くする大きな原因となっている。また
、１０μｍ以下のような狭トラツク幅のヘッドに対して
、従来の様なバルクの磁性体に機械加工でトラック幅を
規定することは精度の点で大きな問題となる。
狭トラック化が不可欠である。狭ギャップ長、狭トラツ
ク幅のヘッドに対して上に述べた従来の構造、製造法に
よるヘッドでは、磁気ギャップの形成工程が最も歩留り
を低下させる工程となっておりギャップ精度の歩留りの
低さがコストを高くする大きな原因となっている。また
、１０μｍ以下のような狭トラツク幅のヘッドに対して
、従来の様なバルクの磁性体に機械加工でトラック幅を
規定することは精度の点で大きな問題となる。
また、本発明の構造上、他トラツクからのもれ磁束を読
み出さない構造（クロストーク現象）としなくてはなら
ない。
み出さない構造（クロストーク現象）としなくてはなら
ない。
問題点を解決するための手段
本発明は、上記問題点について、一方の磁気回路を構成
する金属磁性薄膜の両面を非磁性材料で挟持し、前記金
属磁性薄膜の厚さがトラック幅を規制する構造であり、
巻線穴が設けられているコア半体のギャップ形成面上に
、所定の膜厚のギャップ部材、及び他方の磁気回路を構
成する金属磁性薄膜を重ねて形成する。また、高密度で
トラックが隣接することによって生じるクロストークの
現象（特に低周波領域）を溝加工と、非磁性材を充填す
ることにより解決を図ろうとするものである。
する金属磁性薄膜の両面を非磁性材料で挟持し、前記金
属磁性薄膜の厚さがトラック幅を規制する構造であり、
巻線穴が設けられているコア半体のギャップ形成面上に
、所定の膜厚のギャップ部材、及び他方の磁気回路を構
成する金属磁性薄膜を重ねて形成する。また、高密度で
トラックが隣接することによって生じるクロストークの
現象（特に低周波領域）を溝加工と、非磁性材を充填す
ることにより解決を図ろうとするものである。
作用
ギャップ形成を、従来の貼合わせによる方法によらず、
薄膜を重ねて形成する方法よっているため、ギャップ長
精度が高く特性が安定し、またトラック幅も薄膜の厚み
により規定されるので、トラック幅の精度も極めて高く
構造上欠陥となり得るクロストークも非磁性材を充填す
ることで解決出来、結果として磁気ヘッドを歩留り良く
安価に製造できるものである。
薄膜を重ねて形成する方法よっているため、ギャップ長
精度が高く特性が安定し、またトラック幅も薄膜の厚み
により規定されるので、トラック幅の精度も極めて高く
構造上欠陥となり得るクロストークも非磁性材を充填す
ることで解決出来、結果として磁気ヘッドを歩留り良く
安価に製造できるものである。
実施例
以下本発明の一実施例について、図面を用いて説明する
。
。
実施例１
第１図は、本発明の磁気ヘッドのコアチップの構造を示
す斜視図である。金属磁性薄膜４の両面を非磁性基板９
．９゛で挟持し、前記金属磁性薄膜の厚さがトラック幅
を規制する構造であり、巻線穴６が設けられているコア
半体１のギャップ形成面上に、所定の膜厚のギャップ部
材３を挟んで重ねて形成されている金属磁性薄膜２から
成っている。また巻線溝７は、巻線穴６を残してギャッ
プ形成面側を覆うように非磁性材５により埋め込まれて
あり実質的に平面になっているコア半体のギャップ形成
面上にギャップ部材、金属磁性薄膜が重ねて形成されて
おり、金属磁性薄膜２．４の少なくとも一方には、溝加
工を行い非磁性材８（本実施例ではガラスを用いた）を
溶解充填し、保持材１４をガラス等を用いて加熱圧着し
である。
す斜視図である。金属磁性薄膜４の両面を非磁性基板９
．９゛で挟持し、前記金属磁性薄膜の厚さがトラック幅
を規制する構造であり、巻線穴６が設けられているコア
半体１のギャップ形成面上に、所定の膜厚のギャップ部
材３を挟んで重ねて形成されている金属磁性薄膜２から
成っている。また巻線溝７は、巻線穴６を残してギャッ
プ形成面側を覆うように非磁性材５により埋め込まれて
あり実質的に平面になっているコア半体のギャップ形成
面上にギャップ部材、金属磁性薄膜が重ねて形成されて
おり、金属磁性薄膜２．４の少なくとも一方には、溝加
工を行い非磁性材８（本実施例ではガラスを用いた）を
溶解充填し、保持材１４をガラス等を用いて加熱圧着し
である。
第２図は、本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程図
である。第２図（ａ）に示す非磁性基板９の表面にスパ
ッタ法等の薄膜形成法により金属磁性薄膜４（本実施例
ではＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ系アモルファス合金薄膜を用いて
いる）をトラック幅に相当する厚さに形成した後裏面と
ガラス層ｌＯを数μｍの厚さに遠心分離沈降法を用いて
形成する第２図（ｂ）、更にこの両者の基板を金属磁性
薄膜４とガラス層を突き合わせ、加熱圧着して積層ブロ
ック１１を得第２図（Ｃ）、これを第２図（ｄ）中の切
断線に沿って切断し、１本のコア半体１ｎを得る。第２
図（ｅ）に於て、このコア半体１に巻線溝７ｍを形成す
る。更に巻線溝に巻線穴６ｍを残してギャップ形成面側
を覆うように非磁性材料５ｍ（本実施例ではガラスを用
いた）を埋め込み、ギャップ形成面１２を研磨し平坦に
する第２図（ｆ）。そのギャップ形成面上に第２図（幻
に示すようにギャップ部材３としてＳｉＯ□を所定の厚
さにスパッタ法により形成（本実施例では０．２５μｍ
）した後、重ねて金属磁性薄膜２であるアモルファス合
金薄膜（Ｃｏ−Ｎｂ−Ｚｒ）をスパッタ法により形成し
て第２図（ｇ）に示す磁気ヘッドブロック１３を得る。
である。第２図（ａ）に示す非磁性基板９の表面にスパ
ッタ法等の薄膜形成法により金属磁性薄膜４（本実施例
ではＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ系アモルファス合金薄膜を用いて
いる）をトラック幅に相当する厚さに形成した後裏面と
ガラス層ｌＯを数μｍの厚さに遠心分離沈降法を用いて
形成する第２図（ｂ）、更にこの両者の基板を金属磁性
薄膜４とガラス層を突き合わせ、加熱圧着して積層ブロ
ック１１を得第２図（Ｃ）、これを第２図（ｄ）中の切
断線に沿って切断し、１本のコア半体１ｎを得る。第２
図（ｅ）に於て、このコア半体１に巻線溝７ｍを形成す
る。更に巻線溝に巻線穴６ｍを残してギャップ形成面側
を覆うように非磁性材料５ｍ（本実施例ではガラスを用
いた）を埋め込み、ギャップ形成面１２を研磨し平坦に
する第２図（ｆ）。そのギャップ形成面上に第２図（幻
に示すようにギャップ部材３としてＳｉＯ□を所定の厚
さにスパッタ法により形成（本実施例では０．２５μｍ
）した後、重ねて金属磁性薄膜２であるアモルファス合
金薄膜（Ｃｏ−Ｎｂ−Ｚｒ）をスパッタ法により形成し
て第２図（ｇ）に示す磁気ヘッドブロック１３を得る。
更に磁気ヘッドブロック１３の軟磁性薄膜４の少なくと
も一方に金属磁性薄膜４と平行に溝加工１５を行う第２
図（ｈｌ。更に磁気ヘッドブロック１３と保持材ブロッ
ク１４をガラス等を用いて加熱加圧すると同時に非磁性
材８を溶解充填し接着する第２図＜１１゜第２図（Ｊｌ
に示す切断面に沿って切断してヘントコアチップを得る
。この後コアチップはベース接着、巻線、前面研磨工程
を経てヘッドとして実用に供せられる。
も一方に金属磁性薄膜４と平行に溝加工１５を行う第２
図（ｈｌ。更に磁気ヘッドブロック１３と保持材ブロッ
ク１４をガラス等を用いて加熱加圧すると同時に非磁性
材８を溶解充填し接着する第２図＜１１゜第２図（Ｊｌ
に示す切断面に沿って切断してヘントコアチップを得る
。この後コアチップはベース接着、巻線、前面研磨工程
を経てヘッドとして実用に供せられる。
本実施例の磁気ヘッドは、ギャップ精度が良いため歩留
りが良く安価に製造出来、かつ高周波特性に優れたもの
であった。
りが良く安価に製造出来、かつ高周波特性に優れたもの
であった。
実施例２
実施例１で用いたＣＯを主成分とするアモルファス合金
薄膜の代わりに、金属磁性薄膜２．４としてＦｅ−Ａｌ
−５ｔを主成分とする合金薄膜を用いて実施例１と同様
にして磁気ヘッドを作製した。得られた磁気ヘッドは実
施例１と同様良好なものであった。
薄膜の代わりに、金属磁性薄膜２．４としてＦｅ−Ａｌ
−５ｔを主成分とする合金薄膜を用いて実施例１と同様
にして磁気ヘッドを作製した。得られた磁気ヘッドは実
施例１と同様良好なものであった。
実施例３
実施例１で用いたＣＯを主成分とするアモルファス合金
薄膜の代わりに金属磁性画ｌｌＩ２．４としてＦｅ−Ｎ
ｉを主成分とする合金薄膜を用いて実施例１と同様にし
て磁気ヘッドを作製した。得られた磁気ヘッドは実施例
１．２と同様良好なものであった。
薄膜の代わりに金属磁性画ｌｌＩ２．４としてＦｅ−Ｎ
ｉを主成分とする合金薄膜を用いて実施例１と同様にし
て磁気ヘッドを作製した。得られた磁気ヘッドは実施例
１．２と同様良好なものであった。
実施例４
実施例１で用いたＣｏを主成分とするアモルファス合金
薄膜の代わりに金属磁性薄膜２．４としてＦｅ−Ｃ（８
ａｔ％）化合物薄膜を用いて実施例１と同様にして磁気
ヘッドを作製した。得られた磁気ヘッドは実施例工、２
．３と同様良好なものであった。他に金属磁性薄膜２．
４としてＮ（７ａｔ％） 、Ｐ （１０ａｔ％）をそれ
ぞれ含む化合物薄膜を用いて作製した磁気ヘッドも上述
の実施例同様良好なものであった。
薄膜の代わりに金属磁性薄膜２．４としてＦｅ−Ｃ（８
ａｔ％）化合物薄膜を用いて実施例１と同様にして磁気
ヘッドを作製した。得られた磁気ヘッドは実施例工、２
．３と同様良好なものであった。他に金属磁性薄膜２．
４としてＮ（７ａｔ％） 、Ｐ （１０ａｔ％）をそれ
ぞれ含む化合物薄膜を用いて作製した磁気ヘッドも上述
の実施例同様良好なものであった。
発明の効果
以上のように本発明の磁気ヘッドは、ギャップ形成をギ
ャップ部材、金属磁性薄膜の順に薄膜を積み重ねて行う
ことが出来るため従来行われてきた貼合わせ法に比較し
て著しくギャップ精度が向上したため特性が安定し、ま
たトラック幅も薄膜の厚みにより規定されるので、トラ
ック幅の精度も極めて高い。また、構造上問題となり得
るクロストークも溝加工により影響のない構造となった
。
ャップ部材、金属磁性薄膜の順に薄膜を積み重ねて行う
ことが出来るため従来行われてきた貼合わせ法に比較し
て著しくギャップ精度が向上したため特性が安定し、ま
たトラック幅も薄膜の厚みにより規定されるので、トラ
ック幅の精度も極めて高い。また、構造上問題となり得
るクロストークも溝加工により影響のない構造となった
。
このように本発明の磁気ヘッドは単純な工程であるため
歩留り良く製造することが出来、ヘッドの製造コストを
安価にすることができる。
歩留り良く製造することが出来、ヘッドの製造コストを
安価にすることができる。
第１図は本発明の磁気ヘッドの構造を示す斜視図、第２
図は本発明の実施例におけるヘッドの製造方法の説明図
である。 １・・・・・・コア半体、２・・・・・・金属磁性薄膜
、３・・・・・・ギャップ部材、４・・・・・・金属磁
性薄膜、５・・・・・・非磁性材、６・・・・・・巻線
穴、７・・・・・・巻線溝、９．９”・・・・・・非磁
性基板、１０・・・・・・ガラス層、１１・・・・・・
積層ブロック、１２・・・・・・ギャップ形成面、１３
・・・・・・磁気ヘッドブロック、１４・・・・・パ保
持材ブロック、１５・・・・・・溝加工。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名Ｉ′−コア
千体 ５．．９−一井磁性材 ６・−巻線穴 ７−・一番線、ズ 第１図 ９−ｍ−井 Ｒｈ 性 基、 ｊ反 ＋２−一・ギｖ”）プ形Ｆ５．ｒｆｎ ロー磁気へットラロック 第 ２ 口 ／４−一保ｆＩｆ社フロック
図は本発明の実施例におけるヘッドの製造方法の説明図
である。 １・・・・・・コア半体、２・・・・・・金属磁性薄膜
、３・・・・・・ギャップ部材、４・・・・・・金属磁
性薄膜、５・・・・・・非磁性材、６・・・・・・巻線
穴、７・・・・・・巻線溝、９．９”・・・・・・非磁
性基板、１０・・・・・・ガラス層、１１・・・・・・
積層ブロック、１２・・・・・・ギャップ形成面、１３
・・・・・・磁気ヘッドブロック、１４・・・・・パ保
持材ブロック、１５・・・・・・溝加工。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名Ｉ′−コア
千体 ５．．９−一井磁性材 ６・−巻線穴 ７−・一番線、ズ 第１図 ９−ｍ−井 Ｒｈ 性 基、 ｊ反 ＋２−一・ギｖ”）プ形Ｆ５．ｒｆｎ ロー磁気へットラロック 第 ２ 口 ／４−一保ｆＩｆ社フロック
Claims (4)
- （１）一方の磁気回路を構成する第一の金属磁性薄膜の
両面を非磁性材料で挟持し、前記第一の金属磁性薄膜の
厚さがトラック幅を規制する構造であり、巻線穴が設け
られているコア半体のギャップ形成面上に、所定の膜厚
のギャップ部材、及び他方の磁気回路を構成する第二の
金属磁性薄膜を重ねて形成した後、薄膜コアの少なくと
も一方に溝加工を行い非磁性材料を溶解充填することを
特徴とする磁気ヘッド。 - （２）コア半体に設けられた巻線穴は巻線溝に前記巻線
穴を残してギャップ形成面側を覆うように非磁性材料が
埋め込まれて形成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第（１）項記載の磁気ヘッド。 - （３）第一または第二の金属磁性薄膜にＣｏを主成分と
するアモルファス合金薄膜、またはＦｅ−Ａｌ−Ｓｉを
主成分とする合金薄膜、またはＦｅ−Ｎｉを主成分とす
る合金薄膜の何れかを用いることを特徴とする特許請求
の範囲第（１）項又は第（２）項の何れかに記載の磁気
ヘッド。 - （４）第一または第二の金属磁性薄膜がＣ、Ｎ、Ｐのう
ち少なくとも何れか１つを含むＦｅを主成分とする化合
物薄膜であることを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項又は第（２）項の何れかに記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62257557A JPH01100719A (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62257557A JPH01100719A (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01100719A true JPH01100719A (ja) | 1989-04-19 |
Family
ID=17307936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62257557A Pending JPH01100719A (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01100719A (ja) |
-
1987
- 1987-10-13 JP JP62257557A patent/JPH01100719A/ja active Pending
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