JPH01110061U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01110061U JPH01110061U JP519288U JP519288U JPH01110061U JP H01110061 U JPH01110061 U JP H01110061U JP 519288 U JP519288 U JP 519288U JP 519288 U JP519288 U JP 519288U JP H01110061 U JPH01110061 U JP H01110061U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- polishing
- plate
- forming
- inclined surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 15
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Description
第１図はウエハーを研磨用プレートによる研磨
装置の概略説明図、第２図は従来の研磨用プレー
トによるウエハーの状態を説明する概略説明図、
第３図及び第４図は本考案研磨用プレートにより
ウエハーを研磨した場合の概略説明図、第５図は
研磨用プレートの中心部と周縁部に加わる接触圧
力との関係曲線図、第６図は研磨布にウエハーを
加圧した場合の概略説明図、第７図は研磨用プレ
ートの中心部と周縁部に加わる研磨レートとの関
係曲線図、第８図Ａは研磨用プレートの試験用に
供するための側面、説明図、第８図Ｂはウエハー
の試験用に供するための側面説明図である。 １……研磨用プレート、２……ソツクス、３…
…ウエハー、４……研磨布、５……定盤、６……
研磨液。
装置の概略説明図、第２図は従来の研磨用プレー
トによるウエハーの状態を説明する概略説明図、
第３図及び第４図は本考案研磨用プレートにより
ウエハーを研磨した場合の概略説明図、第５図は
研磨用プレートの中心部と周縁部に加わる接触圧
力との関係曲線図、第６図は研磨布にウエハーを
加圧した場合の概略説明図、第７図は研磨用プレ
ートの中心部と周縁部に加わる研磨レートとの関
係曲線図、第８図Ａは研磨用プレートの試験用に
供するための側面、説明図、第８図Ｂはウエハー
の試験用に供するための側面説明図である。 １……研磨用プレート、２……ソツクス、３…
…ウエハー、４……研磨布、５……定盤、６……
研磨液。
Claims (1)
- ウエハーの研磨用円形プレートにおいて、該プ
レートの片面は平面、他面は中心部を厚肉、周縁
部を薄肉とし、その厚みの差を０〜５０ｕｍの範
囲とする斜面を形成し該斜面をウエハーに接触せ
しめることを特徴とするウエハーの研磨用プレー
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP519288U JPH01110061U (ja) | 1988-01-19 | 1988-01-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP519288U JPH01110061U (ja) | 1988-01-19 | 1988-01-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110061U true JPH01110061U (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=31208355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP519288U Pending JPH01110061U (ja) | 1988-01-19 | 1988-01-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01110061U (ja) |
-
1988
- 1988-01-19 JP JP519288U patent/JPH01110061U/ja active Pending