JPH01144209A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はコンぎエータ用外部記憶装置および画像記憶装
田などに用いられる磁気記録媒体に関する。

〈従来の技術〉 近年、コンピュータの小型化に伴い外部記憶装置に用い
られる磁気記録媒体はより−」の高記録密度が要求され
ている。

そのためには磁気記録媒体の？’Ｊ膜化、高保磁力化お
二び高喪留価束密度化が必要である。

これらの条件を満たす（み気記録媒体としてＣＯ合金系
磁性薄膜が住目され、めっき法もしくはスパッタ法に工
っで実用化されている。スパッタ法はめつき法に比べて
合金組成を自由に遇択出来るため耐蝕性が良好でかつ保
磁力のコントロールがしやすい等の特徴がある。

スパッタ法ｃｏ合金系磁性媒体は一般に非磁性基体の表
面に非磁性金属層を設け、その上にＣＯ磁性合金層を設
け、更に保鰻膜としてカーボン層が設けられている。

非磁性金属層の材料としてはＣｒヲ用いるもの（％開田
６１−１２０！１３０号公報および特開昭６１−２５５
４２８号公報）、Ｍｏを用いるもの（特開昭６１−２４
６９２８号公報）お工びＣｒ。

Ｍｏもしくはｗｙ＆：用いるもの（特開昭６１−２０４
８３０号公報）が知られている。

こ＼で保磁力を高める定めには一役に非磁性金属、’Ｆ
ｊ　ｋ厚くすること、もしくは真空チャンバー槽でスパ
ッタするときのＡｒ圧力？高くすること等の手段がなさ
れている。

〈発明が解決Ｉ７ようとする問題点〉 しかしながら、保磁力′に高める沈めに非磁性金属層を
厚くすることは生産性が著しく低下しコスト商になる。

捷た、スパッタ時のＡｒ圧力を高くすることにＬっても
ある程度保磁力を高められるがＡｒ圧力を高くすると角
形比が小さくなる等の欠点がある。

また、これらの手段によって保磁力をある程度は高めら
れるが、その値は１００００８以下である。また優れた
高密度記録特性金得る磁気記録媒体は得られていないＣ
また、＠記の：つな非磁性金属層の材料では、結晶粒が
大きいためにその上に設ける磁性膜の結晶粒も大きく々
夛磁気特性が改善できない。本発明は保磁力および角形
比がともに高く、かつ媒体ノイズが低い磁気記録媒体全
提供すること全目的とする。

く問題を解決するための手段〉 本発明らは前記問題を解決する友めに鋭意検討を行なつ
加結果、非磁性基体の表面に下記のＷＬ１群元素と第２
群元素とを含む非母性合金層を設けることにより非磁性
合金の結晶粒が微細化しその上に設けられるＣＯζＧ准
漠の結晶粒が微細化され、このことによシＣａｍ性膜の
特性が大巾に向上出来ること、すなわち保磁力が高くか
つ角形比が高い磁性膜が得られること、ｔた磁性膜の結
晶粒の微細化によシ媒体ノイズが大巾に低減でき、高記
碌密度に適する磁気記録媒体となることを見出した。

すなわち、本発明は非磁性基体の表面に下記の第１群元
素と第２群元素とを含む非磁性合金層を設け、その表面
にＣｏ磁性合金層と保９層を順に設けた磁気記録媒体。

第１群元素・・・Ｃｒお工びＷから選ばれ九１種以上の
元素。

第２群元素・・・周期律表ＩＶａ族元素、■ａ族元素お
工びＭｏから選ばれた１九以上の 元素である。

本発明において、非磁性基体とはアルミニウム合金、樹
脂、セラミックスなどを円盤に加工し表面を研摩したも
のである。アルミニウム合金など表面が比較重傷がつき
やすい基体の場合はその表面にＮｉ　−Ｐ無電解めっき
を施すなどして表面を硬くすることが好ましい。

本発明で用いる第１群元素はＣｒお工びＷから選ばれ几
１種以上の元素である。また、第２群元素は周期律表Ｉ
Ｖａ族元素、■ａ族元素およびＭｏから選ばれ九１種以
上の元素である。周期律表１Ｖａ族元素とはＴｉ、Ｚｒ
またはＨｆ″ｔ′ある。また、周期律表Ｖａ族元累とは
Ｖ、ＮｂまたはＴａである。

第１群元素と第２群元素との配合割合は好ましくは９９
〜８５原子チ：１〜１５原子係である。

なお、必要に応じ、上記非磁性合金の成分として上記以
外の金属を加えてもよいが、非磁性合金中の第１群元素
の配合量と第２群元素の配合量の合計は少なくとも９４
原子チ以上であることが好ましい。これ以下の量では非
磁性合金の結晶粒が微細化されず、磁性Ｃｏ合金の特性
が改善されない。配合方法はこれらの元素を合金として
用いるエリも、むしろ第１群元素からなるターゲツト板
上に第２群元素からなるターゲット小片を載せる方が簡
便であり、配合比率の調整が容易にできる。

これら非磁性合金層を設けるにはスパッタリング法、イ
オンブレーティング法ま友は蒸着法によるが、これらの
方法のうちスパッタリング法かによる方法が最も好まし
い。非磁性合金層の表面にＣ０１ｉ磁性層を設け、その
表面に係挿層を設ける。

保護層の材料はカーボンが好ましい。必要に薦薦 応じ保膿膜の表面に液体潤滑剤金塗布しても工い。

〈実施例〉 以下、本発明を具体的実施例１〜１４お工び比較例１．
２にニジ詳細に説明する。第１図は実施例の磁気記録媒
体の断面図である。

非磁性基体は直径９５朋、厚さ１−２５ｉｚのアルミニ
ウム合金円盤１に厚さ２０μｍのＮｉ　−Ｐ無電解めつ
き屓２を設けｔのち鏡面研摩しｔものを用い友。

実施例１〜１４の場合、非磁性合金層は表１．２に示す
通り、第１群元素と第２群元素からなるものである。第
１群元素と第２群元素の配合割合は原子比で９：１にし
友。第１群元素からなる円板上に第２群元素からなるチ
ップを栽せたものをターゲットとした。比較例１．２の
場合には表１．２に示す通り第２群元素を用いなかつ窺
。

Ｉ’）Ｃマグネトロにスパッタリング装置によυ基体上
に厚さ１５００′Ａの非磁性合金層３を設けもスパッタ
リング時の雰囲気はアルビン圧力１０７７１Ｔｏｒｒ　
、ターゲット印加電力５　Ｗ　／　ｃｍ”であつｍｏつ
ぎにＣｏ　Ｎｉ　Ｃｒ合金（Ｃｏ　６２．５原子）、Ｎ
１６０原子係お工びＣｒ　７．５原子チ）全ターゲット
として上記と同じスパッタリングの条件で５０ＯＡの厚
さのＣｏ侮注性合金層４設けた。このようにして得られ
九出気記録媒体の磁気特性をまとめて表１に示す。比較
例は第２群元素のチップ全戦せないで炸裂しｋものであ
り、表１から明らかな工うに本笑施例１〜１４による磁
気記録媒体は保磁力がとくに高く、かつ角形比も概して
高いことがわかる。

つぎにスバリング装置にエリ、これら磁気記録媒体に厚
さ６００Ａのカーボン保僧層５全形成し、ついでフッ素
系の液体潤滑剤６をスピンコード法により厚さ３０Ａで
塗布した。得られ九磁気記録媒体の記録再生特性を評価
し几。これらの結果を表２にまとめて示す。なお、上記
各実施例および比較例における磁気特性はＶＳＭテスタ
ー（振動式％式％） 圧計で測定し丸。

〈発明の効果〉 以上の実施例で明らかな工うに本発明は非磁性合金層と
して第１群元素と第２群元素とを含むも角 のを用いることに工す保缶力がとくに高く、かつ翫形比
も概して高い磁性膜が得られ、ま九媒体ノイズも大巾に
低減出来る。よって本発明の磁気記録媒体は高記録密度
に通ずる。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の磁気記録媒体の断面図である。 符号　１・・・アルミニウム合金円盤、２・・・Ｎ１−
Ｐ無電解めっき層、３・・・非磁性合金層、４・・・Ｃ
ｏｉ性合金合金層・・・カーボン保護層、６・・・液体
潤滑剤。 特許出願人　電気化学工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 非磁性基体の表面に下記の第１群元素と第２群元素とを
   含む非磁性合金層を設け、その表面にＣｏ磁性合金層と
   保護層を順に設けた磁気記録媒体。 第１群元素・・・ＣｒおよびＷから選ばれた１種以上の
   元素。 第２群元素・・・周期律表IVａ族元素、Ｖａ族元素およ
   びＭｏから選ばれた１種以上の 元素。