JPH01154125A - アクティブマトリクス基板の製造方法 - Google Patents
アクティブマトリクス基板の製造方法Info
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- JPH01154125A JPH01154125A JP62313661A JP31366187A JPH01154125A JP H01154125 A JPH01154125 A JP H01154125A JP 62313661 A JP62313661 A JP 62313661A JP 31366187 A JP31366187 A JP 31366187A JP H01154125 A JPH01154125 A JP H01154125A
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- varistor
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- zno
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- Pending
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は、アクティブマトリクス基板の製造方法に関す
る。
る。
Ｂ１発明の概要
本発明は、ＺｎＯバリスタ形のアクティブマトリクス基
板の製造方法において、 ＺｎＯ粉末とＢｌｔＯ３等の添加物とを混合し焼成を繰
り返してバリスタ粉末とし、これとガラスフリットとを
混合分級して得たスラリを透明電極と一方の電極とを付
けたガラス基板上に塗布し、その後に他方の電極を形成
することにより、ＺｎＯの粒径分布の相違による動作特
性のばらつきを防止したものである。
板の製造方法において、 ＺｎＯ粉末とＢｌｔＯ３等の添加物とを混合し焼成を繰
り返してバリスタ粉末とし、これとガラスフリットとを
混合分級して得たスラリを透明電極と一方の電極とを付
けたガラス基板上に塗布し、その後に他方の電極を形成
することにより、ＺｎＯの粒径分布の相違による動作特
性のばらつきを防止したものである。
Ｃ１従来の技術
液晶デイスプレーを行う液晶パネルは、パネルを構成す
る複数の画素と、夫々の画素を個別に駆動する駆動手段
とで構成される。
る複数の画素と、夫々の画素を個別に駆動する駆動手段
とで構成される。
駆動手段による駆動方式のひとつにアクティブマトリク
ス駆動方式があり、この方式には電界効果トランジスタ
（３端子）形のものと、非線形素子（２端子）形のもの
とがある。
ス駆動方式があり、この方式には電界効果トランジスタ
（３端子）形のものと、非線形素子（２端子）形のもの
とがある。
電界効果トランジスタ形のものとして、例えばａ−９ｉ
形Ｔ Ｆ Ｔ （ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｔｒａｎｓｉｓ
ｔｏｒ）がある（第３図参照）。図中、１．２はガラス
、３゜４は偏光板、５はＳｉＯ２，６は透明電極、７は
ゲート、８はλ−Ｓｉ、９はソース、ＩＯはドレイン、
１１は液晶であり、図中の下方から光が照射される。ａ
−Ｓ ｉ形ＴＰＴは低温プロセスで作ることができ、低
価格であるというメリットがある。
形Ｔ Ｆ Ｔ （ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｔｒａｎｓｉｓ
ｔｏｒ）がある（第３図参照）。図中、１．２はガラス
、３゜４は偏光板、５はＳｉＯ２，６は透明電極、７は
ゲート、８はλ−Ｓｉ、９はソース、ＩＯはドレイン、
１１は液晶であり、図中の下方から光が照射される。ａ
−Ｓ ｉ形ＴＰＴは低温プロセスで作ることができ、低
価格であるというメリットがある。
非線形素子形のものとしては、例えばＺｎＯバリスタが
ある（第４図参照）。図中１２はＺ、 ｎ Ｏバリスタ
、１３．１４は電極であり、その他の部分のうち第３図
に付されている符号と同一符号の；Ｔ分は同一部分であ
る。ＺｎＯバリスタは、製作が容易でコストが安く、し
かも動作特性の温度依存性が極めて小さいというメリッ
トがある。
ある（第４図参照）。図中１２はＺ、 ｎ Ｏバリスタ
、１３．１４は電極であり、その他の部分のうち第３図
に付されている符号と同一符号の；Ｔ分は同一部分であ
る。ＺｎＯバリスタは、製作が容易でコストが安く、し
かも動作特性の温度依存性が極めて小さいというメリッ
トがある。
Ｄ１発明が解決しようとする問題点
ところが、電界効果トランジスタ形の駆動方式では各Ｆ
ＥＴが相互に分離しているために製作工程カリ９雑であ
り、−ヶのＰＥＴが不良であれば全体として使用不可能
となり、歩留りが悪いという問題がある。一方、ＺｎＯ
バリスタにおいてはＺｎＯの粒径分布が相違するために
動作特性がばらつくという問題がある。
ＥＴが相互に分離しているために製作工程カリ９雑であ
り、−ヶのＰＥＴが不良であれば全体として使用不可能
となり、歩留りが悪いという問題がある。一方、ＺｎＯ
バリスタにおいてはＺｎＯの粒径分布が相違するために
動作特性がばらつくという問題がある。
そこで本発明は斯かる問題を解決し、ＺｎＯの粒径分布
のばらつきのないアクティブマトリクス基板の製造方法
を提供することを目的とする。
のばらつきのないアクティブマトリクス基板の製造方法
を提供することを目的とする。
Ｅ 問題点を解決するための手段
斯かる目的を達成するための本発明の構成は、ＺｎＯ粉
末とＢｔｔ０３等を粉砕した添加物と水とを混合して仮
焼成し、この焼成物を粉砕して本焼成することによって
バリスタ粉末を作り、バリスタ粉末とガラスフリットと
を粉砕混合して粒度の揃ったバリスタ粉末のみに分級し
、これを高粘度のスラリとして、予め透明電極と一方の
電極とを付けたガラス基板上であって透明電極を除いた
部分に塗布し、その後に透明電極と接続させて他方の電
極を形成したことを特徴とする。
末とＢｔｔ０３等を粉砕した添加物と水とを混合して仮
焼成し、この焼成物を粉砕して本焼成することによって
バリスタ粉末を作り、バリスタ粉末とガラスフリットと
を粉砕混合して粒度の揃ったバリスタ粉末のみに分級し
、これを高粘度のスラリとして、予め透明電極と一方の
電極とを付けたガラス基板上であって透明電極を除いた
部分に塗布し、その後に透明電極と接続させて他方の電
極を形成したことを特徴とする。
Ｆ、実施例
以下、本発明によるアクティブマトリクス基板の製造方
法の実施例を説明する。なお、本発明は前述したＺｎＯ
バリスタ形のアクティブマトリクス基板と同じ構成の基
板の製造方法に関するものなので、同一部分には同一符
号を付し、第１図のフローチャートに基づいて説明する
。
法の実施例を説明する。なお、本発明は前述したＺｎＯ
バリスタ形のアクティブマトリクス基板と同じ構成の基
板の製造方法に関するものなので、同一部分には同一符
号を付し、第１図のフローチャートに基づいて説明する
。
まず、ＺｎＯ粉末にＰＶＡと分散剤と水とを加えて液分
散する一方、Ｂ ｊ ｅｏ ３． Ｂ ｔｏ ３． Ｓ
！ Ｏｔ。
散する一方、Ｂ ｊ ｅｏ ３． Ｂ ｔｏ ３． Ｓ
！ Ｏｔ。
Ｍ ｎ Ｏｖなどの添加物に水を加えて粉砕し、これを
混合する。この混合したものを造粒して成形し、９００
〜１３００°Ｃで仮焼成して母材料を作り、母材料をボ
ールミル又はバイブロミルを用いて数ｌＯμｍの粒子と
なるように粉砕して再び成形する。
混合する。この混合したものを造粒して成形し、９００
〜１３００°Ｃで仮焼成して母材料を作り、母材料をボ
ールミル又はバイブロミルを用いて数ｌＯμｍの粒子と
なるように粉砕して再び成形する。
このようにして粒径かそろいＺｎＯバリスタ特性が出る
バリスタ粉末に融点が４００°Ｃ前後のガラスフリット
を加えるとともに投入すべきパイン５μｍ以下の分級に
よって粒度調整し、粒径の揃ったバリスタ粉末のみとす
る。このあと、投入す−とする。
バリスタ粉末に融点が４００°Ｃ前後のガラスフリット
を加えるとともに投入すべきパイン５μｍ以下の分級に
よって粒度調整し、粒径の揃ったバリスタ粉末のみとす
る。このあと、投入す−とする。
一方、第２図（ａ）に示すようにガラスｌの表面に透明
電極６と一方の電極１４とを予め付着させておき、スク
リーン印刷法によって透明電極６を除いたガラス１の表
面にスラリーを１０〜３０μｍの厚さに塗布し、ガラス
が溶ける温度よりもｌＯｏＣ高い温度で焼結させる。す
ると、第２図（ｂ）に示すＺｎＯバリスタ１２が形成さ
れる。
電極６と一方の電極１４とを予め付着させておき、スク
リーン印刷法によって透明電極６を除いたガラス１の表
面にスラリーを１０〜３０μｍの厚さに塗布し、ガラス
が溶ける温度よりもｌＯｏＣ高い温度で焼結させる。す
ると、第２図（ｂ）に示すＺｎＯバリスタ１２が形成さ
れる。
このあとは、不要部分におおいを被せて蒸着るスパッタ
等により他方の電極１３を形成すれば、第２図（ｃ）に
示すアクティブマトリクス基板が完成する。
等により他方の電極１３を形成すれば、第２図（ｃ）に
示すアクティブマトリクス基板が完成する。
以後は従来と同様に製作を進めて液晶１１やガラス２等
を設ければ、液晶素子ができ上がる。
を設ければ、液晶素子ができ上がる。
Ｇ１発明の詳細
な説明したように本発明によるアクティブマトリクス基
板の製造方法によれば、ガラスフリットを加えて分級に
よりＺｎＯバリスタの粒度調整をしたので、粒径分布の
ばらつきのないアクティブマトリクス基板を得ることが
でき、動作特性のばらつきが生じない。また、Ｚ ｎ
Ｏ−Ｂ ｉ ｔｏｓ系非直線抵抗体はすぐれ−た非直線
性を有するので液晶駆動に必要なしきい値電圧を３〜４
Ｖに簡単に調整でき、多結晶焼結体であるために劣化の
問題が生じず、ＺｎＯは電子の移動度がａ−Ｓｆに比べ
て大きく高速動作が可能である。更に、スクリーン印刷
−回塗りのみでダイオード成形ができるため、複雑なプ
ロセスを要せず大面積化が容易である。
板の製造方法によれば、ガラスフリットを加えて分級に
よりＺｎＯバリスタの粒度調整をしたので、粒径分布の
ばらつきのないアクティブマトリクス基板を得ることが
でき、動作特性のばらつきが生じない。また、Ｚ ｎ
Ｏ−Ｂ ｉ ｔｏｓ系非直線抵抗体はすぐれ−た非直線
性を有するので液晶駆動に必要なしきい値電圧を３〜４
Ｖに簡単に調整でき、多結晶焼結体であるために劣化の
問題が生じず、ＺｎＯは電子の移動度がａ−Ｓｆに比べ
て大きく高速動作が可能である。更に、スクリーン印刷
−回塗りのみでダイオード成形ができるため、複雑なプ
ロセスを要せず大面積化が容易である。
第１図、第２図は本発明によるアクティブマトリクス基
板の製造方法に係り、第１図はフローチャート図、第２
図は（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は説明図、第３図、第４図
は従来の技術に係り、第３図はａ−８ｉ形ＴＰＴの液晶
素子の構成図、第４図はＺｎＯバリスタ形の液晶素子の
構成図である。 ｌ・・・ガラス、６・・・透明電極、１２・・・ＺｎＯ
バリスタ、１３．１４・・・電極。 １ ： がラス ６： ｔＬ日月ｔ１ンヒ １２：Ｚｎｏ バリスタ １３．１４ ：電極
板の製造方法に係り、第１図はフローチャート図、第２
図は（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は説明図、第３図、第４図
は従来の技術に係り、第３図はａ−８ｉ形ＴＰＴの液晶
素子の構成図、第４図はＺｎＯバリスタ形の液晶素子の
構成図である。 ｌ・・・ガラス、６・・・透明電極、１２・・・ＺｎＯ
バリスタ、１３．１４・・・電極。 １ ： がラス ６： ｔＬ日月ｔ１ンヒ １２：Ｚｎｏ バリスタ １３．１４ ：電極
Claims (1)
- ＺｎＯ粉末とＢｉ＿２Ｏ＿３等を粉砕した添加物と水と
を混合して仮焼成し、この焼成物を粉砕して本焼成する
ことによってバリスタ粉末を作り、バリスタ粉末とガラ
スフリットとを粉砕混合して粒度の揃ったバリスタ粉末
のみに分級し、これを高粘度のスラリとして、予め透明
電極と一方の電極とを付けたガラス基板上であって透明
電極を除いた部分に塗布し、その後に透明電極と接続さ
せて他方の電極を形成したことを特徴とするアクティブ
マトリクス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62313661A JPH01154125A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | アクティブマトリクス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62313661A JPH01154125A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | アクティブマトリクス基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01154125A true JPH01154125A (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=18043992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62313661A Pending JPH01154125A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | アクティブマトリクス基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01154125A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2684221A1 (fr) * | 1991-11-26 | 1993-05-28 | Thomson Csf | Procede de fabrication d'ecrans d'affichage a matrice active, notamment de grandes dimensions. |
-
1987
- 1987-12-11 JP JP62313661A patent/JPH01154125A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2684221A1 (fr) * | 1991-11-26 | 1993-05-28 | Thomson Csf | Procede de fabrication d'ecrans d'affichage a matrice active, notamment de grandes dimensions. |
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