JPH01200208A - 光半導体モジュール - Google Patents
光半導体モジュールInfo
- Publication number
- JPH01200208A JPH01200208A JP63024452A JP2445288A JPH01200208A JP H01200208 A JPH01200208 A JP H01200208A JP 63024452 A JP63024452 A JP 63024452A JP 2445288 A JP2445288 A JP 2445288A JP H01200208 A JPH01200208 A JP H01200208A
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- JP
- Japan
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- semiconductor module
- optical semiconductor
- light emitting
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- Led Device Packages (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は元手4体モジエールに関し、@に元ファイバと
光結合する光半導体モジュールに関する。
光結合する光半導体モジュールに関する。
この種の光半導体モジュールにおいては1元ファイバへ
の最適な光結合をするために1元ファイバと適用光学系
との相対位置を正確に保つ必要がある。
の最適な光結合をするために1元ファイバと適用光学系
との相対位置を正確に保つ必要がある。
従来1元ファイバを固定する端末部材と発受光素子1元
結合用のレンズ等を収納する格納部材との接合手段なら
びに発受光素子を固定する第1の保持部材および光結合
用のレンズを固定する第2の保持部材と格納部材の内部
との接合手段はエポキシ系接着剤、半田あるいはヤグ(
YAG)レーザ等による浴接を使用していた。しかし、
エポキシ系接着剤や半田による固定の手段では接合強度
。
結合用のレンズ等を収納する格納部材との接合手段なら
びに発受光素子を固定する第1の保持部材および光結合
用のレンズを固定する第2の保持部材と格納部材の内部
との接合手段はエポキシ系接着剤、半田あるいはヤグ(
YAG)レーザ等による浴接を使用していた。しかし、
エポキシ系接着剤や半田による固定の手段では接合強度
。
耐熱性1作業性に問題があることから、最近はレーザ溶
接手段の導入が盛んである。
接手段の導入が盛んである。
ところで、レーザ溶接手段を適用した場合、光フアイバ
固定用の端末部材、レンズ等の保持部材のような比較的
小さい部品は、照射−浴融時に溶融固定位置がずれてし
まい、正確な位置に配備できないという問題がある。
固定用の端末部材、レンズ等の保持部材のような比較的
小さい部品は、照射−浴融時に溶融固定位置がずれてし
まい、正確な位置に配備できないという問題がある。
この浴融部の位置ずれを防ぐ方法として、保持部材等を
治具としてのυ4型手段によって力学的な力で保持ある
いは支持するという方法が従来実施されてきた。しかし
、この方法にも問題があるため保持部材等の構成上の見
直しが必要である。
治具としてのυ4型手段によって力学的な力で保持ある
いは支持するという方法が従来実施されてきた。しかし
、この方法にも問題があるため保持部材等の構成上の見
直しが必要である。
次に、上述したレーザ溶接手段を過用した従来の光半導
体モジーールについて問題点を記述する。
体モジーールについて問題点を記述する。
5I41の問題点は照射溶融固定時に位置ずれが生じ部
品の正確な配置ができないこと、第20問題点は調整手
段等の力学的手段に基づく支持あるいは保持では光半導
体モジー−ルを小型にできないことである。
品の正確な配置ができないこと、第20問題点は調整手
段等の力学的手段に基づく支持あるいは保持では光半導
体モジー−ルを小型にできないことである。
第1の問題点にレーザ浴接手段自身が持つ特異性に起因
する。レーザ浴接は直径0.5a+i度のスポット径に
紋った元ビームを部材に照射して両部材を局部的に浴接
する方法である。元ビームの照射時は、ステンレス鋼等
でf′i部材の照射領域が局部的に1,200〜1.5
00°C程度の温度に達し。
する。レーザ浴接は直径0.5a+i度のスポット径に
紋った元ビームを部材に照射して両部材を局部的に浴接
する方法である。元ビームの照射時は、ステンレス鋼等
でf′i部材の照射領域が局部的に1,200〜1.5
00°C程度の温度に達し。
溶融状態にある。次に照射を停止すると局部的に急冷さ
れ、結晶化過程が急速に進行する。この結晶化isは極
短時間で、しかも原子間の結合力が非常に大きく、凝縮
力によって金属材料さえもひび割れ現象を引き起す程で
ある。位置ずれはこの結晶化過程で生じる。りまり、光
半導体モジーールを構成する場合、俵数1h所を同時に
溶融固定する方法が一般的であシ1分割した元ビームの
強度のばらつき、照射焦点位置の違いによるエネルギー
密度のばらつき1両溶接部材間の隙間の違い等が原因で
凝縮力の不均衡が生じ1位置ずれする。
れ、結晶化過程が急速に進行する。この結晶化isは極
短時間で、しかも原子間の結合力が非常に大きく、凝縮
力によって金属材料さえもひび割れ現象を引き起す程で
ある。位置ずれはこの結晶化過程で生じる。りまり、光
半導体モジーールを構成する場合、俵数1h所を同時に
溶融固定する方法が一般的であシ1分割した元ビームの
強度のばらつき、照射焦点位置の違いによるエネルギー
密度のばらつき1両溶接部材間の隙間の違い等が原因で
凝縮力の不均衡が生じ1位置ずれする。
変位量は数μmから30μmもあり、厳しい精度を要す
る部分、すなわち1発光系子とレンズ、レンズと元ファ
イバとの配置が特に問題になる。
る部分、すなわち1発光系子とレンズ、レンズと元ファ
イバとの配置が特に問題になる。
第2の問題点は、H!接部材の保持と複数軸のC4整手
段を強固に保つ必要とに起因する。調整手段は、前述し
た位置ずれの原因となる結晶化過程での凝縮力の不均衡
の影響を受けない保持ろるいは支持構成としなければな
らない0位置ずれを防止するためVCは通常数lO権程
の保持力を喪することから、眺■手段の各部構成要素の
肉厚を厚く。
段を強固に保つ必要とに起因する。調整手段は、前述し
た位置ずれの原因となる結晶化過程での凝縮力の不均衡
の影響を受けない保持ろるいは支持構成としなければな
らない0位置ずれを防止するためVCは通常数lO権程
の保持力を喪することから、眺■手段の各部構成要素の
肉厚を厚く。
あるいは材料強腿の鳩いものを使用しなければならない
。ぼた、この材料を用いて複数軸の調整機構を構成する
ことから調歪手段が大型でかつ複雑になり、微細な間隔
の制御が出来なくなる。従って、上述の調整手段で製作
した光半導体モジュールは大きなものになってしまうと
いう欠点を有する。
。ぼた、この材料を用いて複数軸の調整機構を構成する
ことから調歪手段が大型でかつ複雑になり、微細な間隔
の制御が出来なくなる。従って、上述の調整手段で製作
した光半導体モジュールは大きなものになってしまうと
いう欠点を有する。
以上、従来例について問題点を記したが、いずれにして
も1元手部品の正確な配置ができないこと、光半導体モ
ジュールが大きくなってしまうといった問題を招いてい
る。
も1元手部品の正確な配置ができないこと、光半導体モ
ジュールが大きくなってしまうといった問題を招いてい
る。
本発明の光半導体モジュールは、光ファイバと。
この元ファイバの端fIl全固定する端末部材と1発覚
元素子と、この発受光素子を支持する第1の保持部材と
、前記発受光素子を前記元ファイバに光結合するレンズ
と、このレンズを固定する第2の保持部材と、格納部材
とを有し、高出力レーザの光ビームで前記端末部材、前
記第1の保持部材及びIOI記第2の保持部材を別記格
納部材に溶融固定する元手得体モジュールにおいて、前
8c端末部材。
元素子と、この発受光素子を支持する第1の保持部材と
、前記発受光素子を前記元ファイバに光結合するレンズ
と、このレンズを固定する第2の保持部材と、格納部材
とを有し、高出力レーザの光ビームで前記端末部材、前
記第1の保持部材及びIOI記第2の保持部材を別記格
納部材に溶融固定する元手得体モジュールにおいて、前
8c端末部材。
前記第1の保持部材及び前記第2の保持部材のそれぞれ
の底面に強磁性体を固着している。
の底面に強磁性体を固着している。
次に1本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の第1の実施例の断面図である。
石英あるいは多成分系を素材とする光ファイバ101は
、端末部材103の中心部に設けた貫通孔102に挿入
され、エポキシ系接着剤104で固定されている。端末
部材103は、格納部材105との整合を良くするため
に、端末部材端面113を十分平担にし、YA(]レー
ザ等の尚出力レーザからの光ビームの照射を容易にする
ために鍔を設けである。また、端末部材端面113の底
面vCf′i接着剤で固定したドーナツ形の永久磁石1
11を設けている。格納部材105の内部には、半導体
レーザ、発光ダイオード等の発光源あるいはシリコン系
、ゲルマニウム系等の光検出器からなる発受光素子10
6を支持する第1の保持部材108と、元ファイバ10
1への光結合を最適化するためのレンズ107を固定し
た第2の保持部材109とが設置しである。なお2本実
施例では。
、端末部材103の中心部に設けた貫通孔102に挿入
され、エポキシ系接着剤104で固定されている。端末
部材103は、格納部材105との整合を良くするため
に、端末部材端面113を十分平担にし、YA(]レー
ザ等の尚出力レーザからの光ビームの照射を容易にする
ために鍔を設けである。また、端末部材端面113の底
面vCf′i接着剤で固定したドーナツ形の永久磁石1
11を設けている。格納部材105の内部には、半導体
レーザ、発光ダイオード等の発光源あるいはシリコン系
、ゲルマニウム系等の光検出器からなる発受光素子10
6を支持する第1の保持部材108と、元ファイバ10
1への光結合を最適化するためのレンズ107を固定し
た第2の保持部材109とが設置しである。なお2本実
施例では。
レンズ107を中心部の屈折率の大きな屈折率分布型と
している。mlの保持部材108.第2の保持部材10
9は、端末部材103と同様に、格納部材105との振
合部が十分平担な保持部材端面114を有する鍔が設け
てあシ、保持部材端面114底面に接着剤で固定した板
形の永久磁石112を設けている。端末部材103.第
1の保持部材108及び第2の保持部材109の鍔の厚
さは、格納部材105との高出力レーザ光による浴融接
合を容易にするために、200μmから500μm程度
の肉厚としている。
している。mlの保持部材108.第2の保持部材10
9は、端末部材103と同様に、格納部材105との振
合部が十分平担な保持部材端面114を有する鍔が設け
てあシ、保持部材端面114底面に接着剤で固定した板
形の永久磁石112を設けている。端末部材103.第
1の保持部材108及び第2の保持部材109の鍔の厚
さは、格納部材105との高出力レーザ光による浴融接
合を容易にするために、200μmから500μm程度
の肉厚としている。
格納部材105は、鉄あるいはニッケル等を含有する強
磁性体、すなわち、鉄54.488%、二。
磁性体、すなわち、鉄54.488%、二。
ケル29チ、コバルト16%、マンガン0.3チ。
シリコン0.2%、炭素0.01優、硫黄0.002%
から成るコバ(Kovar)材、あるいは、フェライト
系、マルテンブイト析出硬化糸ステンレス鋼としている
。
から成るコバ(Kovar)材、あるいは、フェライト
系、マルテンブイト析出硬化糸ステンレス鋼としている
。
端末1fil材103 、第1の保持部材ios、第2
の4#:片部材109と格納部材105とは、各々調整
手段によシ所定の光学的相対位置に配置さjL。
の4#:片部材109と格納部材105とは、各々調整
手段によシ所定の光学的相対位置に配置さjL。
各部材に取υ付けた永久磁石111筺たは112により
互に吸引固定する。この状態で、端末部材103では第
1図の水平方向からbFAlの保持部組08及び第2の
保持部材109では垂直方向から−、シ 尚出レーザの元ビームを照射して、格納部材105との
両部材内に溶融接合部110を形成する。
互に吸引固定する。この状態で、端末部材103では第
1図の水平方向からbFAlの保持部組08及び第2の
保持部材109では垂直方向から−、シ 尚出レーザの元ビームを照射して、格納部材105との
両部材内に溶融接合部110を形成する。
以上の説明により明らかなように、第1図に示す実施例
によれば、端末部材103.第1の保持部材108.第
2の保持部材109の底面に設けた永久磁石111及び
112が強磁性体からなる格納部材105に強力な吸引
力で吸着している。
によれば、端末部材103.第1の保持部材108.第
2の保持部材109の底面に設けた永久磁石111及び
112が強磁性体からなる格納部材105に強力な吸引
力で吸着している。
この吸引が強力なことから、元ビーム照射停止直後の急
冷時に生じるf471 itb所の凝縮力の不均衡に基
づく位置ずれを最小限に食い止めることができる。
冷時に生じるf471 itb所の凝縮力の不均衡に基
づく位置ずれを最小限に食い止めることができる。
また1本実施例の保持部材を用いれば1部材の保持を強
磁性体のみで出来ることから、調整手段に従来のごとく
凝縮力に打ち勝つ補強材等の使用を必要とせず、簡略・
小型な調整手段が可能となシ、モジー−ルの小型化が計
れる。
磁性体のみで出来ることから、調整手段に従来のごとく
凝縮力に打ち勝つ補強材等の使用を必要とせず、簡略・
小型な調整手段が可能となシ、モジー−ルの小型化が計
れる。
第2図は本発明の042の実施例の端末部材103近傍
の部分拡大断面図である。
の部分拡大断面図である。
第2図に示す実施例は格納部材201をオーステナイト
系ステンレス鋼5O8304等の非磁性体とし、肉厚の
薄いものとしている。他の構成部品は第1図に示す実施
例と同じである。
系ステンレス鋼5O8304等の非磁性体とし、肉厚の
薄いものとしている。他の構成部品は第1図に示す実施
例と同じである。
第2図に示す実施例において、格納部材201に端末部
材103を配置する際、鉄めるいは永久磁石等の治具用
強磁性体202を端末部材103の背面に位置させ、端
末部材103の底面に接着した永久磁石Illとの間で
吸引固定させる。この位置出し保持状態で元ビームを照
射して溶接を行う。第1の保持部材108.第2の保持
部材109も同様に、治具用強磁性体を用いて浴接を行
う。
材103を配置する際、鉄めるいは永久磁石等の治具用
強磁性体202を端末部材103の背面に位置させ、端
末部材103の底面に接着した永久磁石Illとの間で
吸引固定させる。この位置出し保持状態で元ビームを照
射して溶接を行う。第1の保持部材108.第2の保持
部材109も同様に、治具用強磁性体を用いて浴接を行
う。
上述の説明から明らかなように、第2図に示す実施例に
よれば、格納部材201が非磁性体の場合でも、格納部
材201の肉厚を薄くシ1位置合わせ時に補助の治具用
強磁性体を使用することにより強力な吸引力が保たれ、
第1図に示す実施例におけると同様な効果が得られる。
よれば、格納部材201が非磁性体の場合でも、格納部
材201の肉厚を薄くシ1位置合わせ時に補助の治具用
強磁性体を使用することにより強力な吸引力が保たれ、
第1図に示す実施例におけると同様な効果が得られる。
以上説明したように本発明は1位置設定・保持用の強磁
性体を使用することにより、光学部品の配置が正確にで
き、小型な光半導体モジー−ルが得られる効果がある。
性体を使用することにより、光学部品の配置が正確にで
き、小型な光半導体モジー−ルが得られる効果がある。
第1図は本発明による5PJ1の実施例のl!r曲図、
第2図は本発明の第2の実施例の端末部材103近傍の
部材拡大断面図である。 101・・・・・・光ファイバ、102・・・・・・貫
通孔。 103・・・・・・端末部材、104・・・・・・エポ
キシ系接着剤、105・・・・・・格納部材、106・
・・・・・発受光素子。 107・・・・・・レンズ、108・・・・・・第1の
保持部材。 109・・・・・・第2の保持部材、110・・・・・
・溶融接合部、111・・・・・・水久硯石、1工2・
・・・・・永久磁石。 113・・・・・・端末部材端面、114・・・・−・
保持部材端面、201・・・・−・非磁性体の格納部材
、202・・・・・・治具用強磁性体。 代理人 弁理士 内 原 晋 /θl : イC174八° /ρ〆
: 〕イヂIσフイ勺(1イ1矛4519髪to2 :
$J!3L /l)Y:
−p2ts#J!t−f;;¥;’fKπ3:
端本もV杯 lIθ: 改菊d龜惨部L4: エ
ボAシト濾Aな) ///: 索Xρ1后/ρS
: 格坊各ト材 //2: 永久磁石106
: 売ぐH身 /13: 端十部冴甫囮lθ7
: レンr //4: 庫甲渚臼膿希面茅
f 凹
第2図は本発明の第2の実施例の端末部材103近傍の
部材拡大断面図である。 101・・・・・・光ファイバ、102・・・・・・貫
通孔。 103・・・・・・端末部材、104・・・・・・エポ
キシ系接着剤、105・・・・・・格納部材、106・
・・・・・発受光素子。 107・・・・・・レンズ、108・・・・・・第1の
保持部材。 109・・・・・・第2の保持部材、110・・・・・
・溶融接合部、111・・・・・・水久硯石、1工2・
・・・・・永久磁石。 113・・・・・・端末部材端面、114・・・・−・
保持部材端面、201・・・・−・非磁性体の格納部材
、202・・・・・・治具用強磁性体。 代理人 弁理士 内 原 晋 /θl : イC174八° /ρ〆
: 〕イヂIσフイ勺(1イ1矛4519髪to2 :
$J!3L /l)Y:
−p2ts#J!t−f;;¥;’fKπ3:
端本もV杯 lIθ: 改菊d龜惨部L4: エ
ボAシト濾Aな) ///: 索Xρ1后/ρS
: 格坊各ト材 //2: 永久磁石106
: 売ぐH身 /13: 端十部冴甫囮lθ7
: レンr //4: 庫甲渚臼膿希面茅
f 凹
Claims (1)
- 光ファイバと、この光ファイバの端部を固定する端末
部材と、発受光素子と、この発受光素子を支持する第1
の保持部材と、前記発受光素子を前記光ファイバに光結
合するレンズと、このレンズを固定する第2の保持部材
と、格納部材とを有し、高出力レーザの光ビームで前記
端末部材、前記第1の保持部材及び前記第2の保持部材
を前記格納部材に溶融固定する光半導体モジュールにお
いて、前記端末部材、前記第1の保持部材及び、前記第
2の保持部材のそれぞれの底面に強磁性体を固着したこ
とを特徴とする光半導体モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63024452A JPH01200208A (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | 光半導体モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63024452A JPH01200208A (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | 光半導体モジュール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01200208A true JPH01200208A (ja) | 1989-08-11 |
Family
ID=12138550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63024452A Pending JPH01200208A (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | 光半導体モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01200208A (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6086052A (ja) * | 1983-09-23 | 1985-05-15 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 光フアイバに狭窄部を作る装置とその製法 |
| JPS6170516A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-11 | Hitachi Ltd | 光アイソレ−タ付半導体レ−ザモジユ−ル |
| JPS61138219A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レ−ザ装置 |
| JPS61241715A (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光アイソレ−タ付半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 |
| JPH0157706B2 (ja) * | 1980-04-04 | 1989-12-07 | Pola Kasei Kogyo Kk |
-
1988
- 1988-02-03 JP JP63024452A patent/JPH01200208A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0157706B2 (ja) * | 1980-04-04 | 1989-12-07 | Pola Kasei Kogyo Kk | |
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| JPS61241715A (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光アイソレ−タ付半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 |
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