JPH01247980A - 窒素製造装置における一酸化炭素除去方法 - Google Patents

窒素製造装置における一酸化炭素除去方法

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JPH01247980A
JPH01247980A JP7434888A JP7434888A JPH01247980A JP H01247980 A JPH01247980 A JP H01247980A JP 7434888 A JP7434888 A JP 7434888A JP 7434888 A JP7434888 A JP 7434888A JP H01247980 A JPH01247980 A JP H01247980A
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JP
Japan
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nitrogen
carbon monoxide
rectification column
liquid
removal method
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JP7434888A
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Hisazumi Ishizu
石津　尚澄
Michimasa Okabe
岡部　道昌
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は窒素製造装置に係り、特に一酸化炭素を含まな
い高純度窒素を製造するのに好適な窒素製造装置におけ
る一酸化炭素除去方法に関する。
〔従来の技術〕
近年、半導体等の電子工業用として高純度窒素の需要が
増大している。
一般に知られて窒素製造装置は、第２図に示すごとく原
料空気を低温に冷却し精留分離し、精留塔上部より窒素
ガスを採取するものである。なお、この種の装置として
関連するものには例えば特開昭６２−１４１４８５号が
挙げられる。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は高純度窒素を製造する点について配慮が
されておらず、原料空気中に約２　ｐｐｍ含まれる一酸
化炭素が精留塔上部に集まり、製品窒素ガスの不純物と
なっていた。
半導体等の電子工業においては、窒素ガス中の一酸化炭
素を０．５ｐｐａ＋以下に規制しているため、一酸化炭
素を除去する技術が必要となった。
本発明の目的は、窒素ガス中の一酸化炭素が０５　ｐｐ
ｍ以下の高純度窒素を製造する窒素製造装置における一
酸化炭素除去方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、リボイラーを内蔵した副精留塔を設置して
精留塔中部の液体窒素を環流液とし、該環流液と原料空
気とをリボイラーで熱交換させて、窒素と一酸化炭素の
精留分離を行なうことにより、達成される。
〔作　　　用１ 一酸化炭素の飽和温度（大気圧において一１９２℃）は
、窒素の飽和温度（大気圧において−１９５，８℃）と
酸素の飽和温度（大気圧において一１８３℃）の中間に
あるため、精留塔上部の窒素と精留塔下部の液体空気（
酸素的３３％）の中間に蓄積する。
この精留塔中部（中間）に蓄積した一酸化炭素を含む液
体窒素を抜出して、副精留塔で精留分離することにより
、副精留塔の底部に一酸化炭素を集めることが可能であ
り、この一酸化炭素リッチの液体窒素を精留塔凝縮器で
蒸発させて大気放出することにより、精留塔から一酸化
炭素を除去することかできる。
［実　施　例］ 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
図において、原料空気は原料空気圧縮機ｌにより約８　
ｋｇ／ｃ＋＋＋”Ｇに昇圧され、吸着塔２に導かれて水
分および炭酸ガスが吸着除去される。吸着塔２を出た原
料空気は熱交換器３により冷却され、−部液化した状態
で精留塔４に入り精留される。
本発明においては副精留塔７を付設しており、精留塔頂
部の製品窒素ガス抜出導管９の位置から精留器の数段下
の位置に液体窒素抜出導管ＩＯを設置し、副精留塔７の
頂部に液体窒素を送入し副精留塔７の環流液とする。他
方精留塔４へ供給する原料空気の一部を分岐させた導管
１１を通して副精留塔７の底部に設置されたりボイラー
８へ供給し、該リボイラー８で熱交換させ、底部の液体
窒素を蒸発させ上昇ガスを発生させる。
副精留塔７において、窒素と一酸化炭素の精留が行なわ
れ、底部の一酸化炭素リッチの液体窒素は導管１４を通
して凝縮器５へ送られ、該凝縮器５で蒸発され廃ガスと
ともに熱交換器３を介して大気に放出される。副精留塔
７の頂部の一酸化炭素を含まない窒素ガスは導管１２を
通して精留塔４に送入され、導管９より一酸化炭素を含
まない製品窒素ガスが採取される。
リボイラー８で液化された液体空気は導管１３を通して
精留塔４の底部から数段上の精留器に送入される。
本実施例によれば、窒素ガス中の一酸化炭素が０．５ｐ
ｐｍ以下の高純度窒素を製造することができる。
〔発明の効果］ 本発明によれば、窒素ガス中の一酸化炭素が約０．５ｐ
ｐｍ以下の高純度窒素を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の窒素製造装置の系統図、第
２図は従来の窒素製造装置の系統図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、原料空気中の水分および炭酸ガスを除去した後、冷
    却液化して精留塔で深冷分離する窒素製造装置における
    一酸化炭素除去方法において、リボイラーを内蔵した副
    精留塔に精留塔中部の液体窒素を送入し環流液とし、該
    環流液と原料空気とをリボイラーで熱交換して液体窒素
    を蒸発させて上昇ガスとし、副精留塔で窒素と窒素中に
    含まれる一酸化炭素の精留を行ない、一酸化炭素を含ま
    ない塔頂の窒素ガスは精留塔に戻し一酸化炭素を含む塔
    底の液体窒素は廃ガスとともに大気へ放出することを特
    徴とする窒素製造装置における一酸化炭素除去方法。
JP7434888A 1988-03-30 1988-03-30 窒素製造装置における一酸化炭素除去方法 Pending JPH01247980A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06207775A (ja) * 1992-09-23 1994-07-26 Air Prod And Chem Inc 一酸化炭素のない窒素を製造するための低温空気分離方法
US5970742A (en) * 1998-04-08 1999-10-26 Air Products And Chemicals, Inc. Distillation schemes for multicomponent separations

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06207775A (ja) * 1992-09-23 1994-07-26 Air Prod And Chem Inc 一酸化炭素のない窒素を製造するための低温空気分離方法
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