JPH02116736U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH02116736U
JPH02116736U JP2174590U JP2174590U JPH02116736U JP H02116736 U JPH02116736 U JP H02116736U JP 2174590 U JP2174590 U JP 2174590U JP 2174590 U JP2174590 U JP 2174590U JP H02116736 U JPH02116736 U JP H02116736U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cassette
processing
section
wafer transfer
transport
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2174590U
Other languages
English (en)
Other versions
JP2541887Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2174590U priority Critical patent/JP2541887Y2/ja
Publication of JPH02116736U publication Critical patent/JPH02116736U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2541887Y2 publication Critical patent/JP2541887Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の１実施例を示し、ウエハ
の表面処理装置の全体を表した斜視図、第２図及
び第３図はそれぞれ、この考案の別の実施例を示
す、第１図と同様の斜視図である。 １……搬入ウエハ移し替え部、１′……搬出ウ
エハ移し替え部、２……カセツト収納棚、３……
表面処理部、４……処理専用カセツト搬送部、５
……カセツト移送装置、１０……搬送専用カセツ
ト載置テーブル、１２……処理専用カセツト載置
テーブル、１０′……洗浄済み搬送専用カセツト
載置テーブル、１２′……処理専用カセツト載置
テーブル、Ｃ１……搬送専用カセツト、Ｃ２……
処理専用カセツト、Ｗ……ウエハ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 表面処理前の複数枚のウエハを収容した搬送
    専用カセツトから処理専用カセツトへ複数枚のウ
    エハの移し替えを行なう搬入ウエハ移し替え部、
    及び表面処理後の複数枚のウエハを収容した処理
    専用カセツトから洗浄処理された搬送専用カセツ
    トへ複数枚のウエハの移し替えを行なう搬出ウエ
    ハ移し替え部からなるウエハ移し替え部と、この
    ウエハ移し替え部に一端部において連接し、処理
    専用カセツトに収容された複数枚のウエハに対し
    て所要の表面処理を施す表面処理部と、この表面
    処理部に沿つて配設され、表面処理部の処理開始
    位置近傍もしくは処理終了位置近傍と前記ウエハ
    移し替え部近傍との間で処理専用カセツトの搬送
    を行なう処理専用カセツト搬送部と、前記ウエハ
    移し替え部と前記処理専用カセツト搬送部との間
    、前記処理専用カセツト搬送部と前記表面処理部
    との間、並びに前記表面処理部と前記ウエハ移し
    替え部との間でそれぞれ処理専用カセツトの移送
    を行なう共通の、もしくは各別のカセツト移送手
    段とを備えてなるウエハの表面処理装置。 ２ 搬入ウエハ移し替え部は、搬送専用カセツト
    載置テーブルと処理専用カセツト載置テーブルと
    を具備し、搬出ウエハ移し替え部は、洗浄済み搬
    送専用カセツト載置テーブルと前記とは別の処理
    専用カセツト載置テーブルとを具備した実用新案
    登録請求の範囲第１項記載のウエハの表面処理装
    置。
JP2174590U 1990-03-02 1990-03-02 ウエハの表面処理装置 Expired - Lifetime JP2541887Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2174590U JP2541887Y2 (ja) 1990-03-02 1990-03-02 ウエハの表面処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2174590U JP2541887Y2 (ja) 1990-03-02 1990-03-02 ウエハの表面処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02116736U true JPH02116736U (ja) 1990-09-19
JP2541887Y2 JP2541887Y2 (ja) 1997-07-23

Family

ID=31239247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2174590U Expired - Lifetime JP2541887Y2 (ja) 1990-03-02 1990-03-02 ウエハの表面処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2541887Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06252126A (ja) * 1993-02-26 1994-09-09 Sugai:Kk 基板洗浄方法および基板洗浄システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06252126A (ja) * 1993-02-26 1994-09-09 Sugai:Kk 基板洗浄方法および基板洗浄システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP2541887Y2 (ja) 1997-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6109677A (en) Apparatus for handling and transporting plate like substrates
JPH10107121A5 (ja)
JP2003124284A5 (ja)
JPH02116736U (ja)
JPS60132784U (ja) 薄板状体搬送装置
JPH0180934U (ja)
JP2688623B2 (ja) ダイシング装置
JPH03117834U (ja)
JPH1179390A (ja) 半導体ウェーハ搬出入手段
JPH03225847A (ja) ウエハカセツトストツカ
JPH03113340U (ja)
JPH04371419A (ja) 半導体装置用着脱装置
JPS6027436U (ja) 半導体ウエ−ハ移送装置
JPH0363937U (ja)
JPH0436225U (ja)
JPS6355436U (ja)
JPH03125720U (ja)
JPS63170464U (ja)
JPH03117835U (ja)
JPS63157054U (ja)
JPS59140203U (ja) 回転式棚設備に対する入出庫装置
JPH0184436U (ja)
JPS59101436U (ja) 半導体製造装置
JPS6389242U (ja)
JPS58152850U (ja) グレンタンク付き脱穀機