JPH0197231U - - Google Patents
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- JPH0197231U JPH0197231U JP19256687U JP19256687U JPH0197231U JP H0197231 U JPH0197231 U JP H0197231U JP 19256687 U JP19256687 U JP 19256687U JP 19256687 U JP19256687 U JP 19256687U JP H0197231 U JPH0197231 U JP H0197231U
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- JP
- Japan
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- introduction port
- pressure
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- Pending
Links
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１ａ図は本考案の第１実施例の説明図で、第
１ｂ図はその作用の説明図、第２ａ図は本考案の
第２実施例の説明図で、第２ｂ図はその作用の説
明図、第３図は従来技術の説明図。 １０：センサ、１２：センサチツプ、１３：ダ
イアフラム、１４：台座、１６：真空基準圧室、
１８：基台、２０：ポスト、２２：キヤン、２４
：圧力導入口、２６：切欠き、２７：孔、２８：
半田、９０：回路基板。
１ｂ図はその作用の説明図、第２ａ図は本考案の
第２実施例の説明図で、第２ｂ図はその作用の説
明図、第３図は従来技術の説明図。 １０：センサ、１２：センサチツプ、１３：ダ
イアフラム、１４：台座、１６：真空基準圧室、
１８：基台、２０：ポスト、２２：キヤン、２４
：圧力導入口、２６：切欠き、２７：孔、２８：
半田、９０：回路基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 台座１４上に封着してあつて、ダイアフラ
ム１３の下部が基準圧室１６になつているセンサ
チツプ１２と；前記センサチツプ１２の上面に測
定圧を導入するための圧力導入口２４とを有する
半導体圧力センサにおいて； 前記圧力導入口２４の基部が、機械的または熱
的の弱点となつていることを特徴とする、半導体
圧力センサ。 (2) 圧力導入口２４の基部に切欠き２６が形成
してあつて、その部分が機械的弱点になつている
ことを特徴とする、実用新案登録請求の範囲第１
項に記載の半導体圧力センサ。 (3) 圧力導入口２４の基部がキヤン２２に低融
点の半田２８で接着してあつて、その部分が熱的
弱点となつていることを特徴とする、実用新案登
録請求の範囲第１項に記載の半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19256687U JPH0197231U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19256687U JPH0197231U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0197231U true JPH0197231U (ja) | 1989-06-28 |
Family
ID=31483416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19256687U Pending JPH0197231U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0197231U (ja) |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP19256687U patent/JPH0197231U/ja active Pending
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