JPH02103178U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02103178U JPH02103178U JP1325089U JP1325089U JPH02103178U JP H02103178 U JPH02103178 U JP H02103178U JP 1325089 U JP1325089 U JP 1325089U JP 1325089 U JP1325089 U JP 1325089U JP H02103178 U JPH02103178 U JP H02103178U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- conductance
- bellows
- variable
- buttful
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は
高真空領域に至るまでのバツフルの断面図、第３
図は同バツフルの超高真空領域での断面図、第４
図は本考案の第２実施例の断面図である。 ３……冷凍機、２……クライオパネル、１……
バツフル、４……輻射シールド、５……排気口、
ａ１，ａ２……ベロー。
高真空領域に至るまでのバツフルの断面図、第３
図は同バツフルの超高真空領域での断面図、第４
図は本考案の第２実施例の断面図である。 ３……冷凍機、２……クライオパネル、１……
バツフル、４……輻射シールド、５……排気口、
ａ１，ａ２……ベロー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 第一段及び第二段の冷却段階を有する冷凍
機を備え、極低温でガスを凝縮するクライオパネ
ルを包囲して、バツフルと熱的接触し排気口に向
かつて開口した輻射シールド、及び排気口付近に
おいて比較的高温でガスを凝縮するバツフルを有
するクライオポンプにおいて、バツフルは、一個
ないし少数個の屈曲要素から成る伸縮自在なもの
とし、上記バツフルを変形させることによつてそ
のコンダクタンスを可変とすることを取徴とする
クライオポンプ。 (2) バツフルが円形もしくは非円形ベローであ
る請求項第１項記載のクライオポンプ。 (3) バツフルは、複数個のベローをそれぞれ間
隔をもつて同心状に配置して構成した請求項第２
項記載のクライオポンプ。 (4) バツフルは、該ベローのそれぞれの両端部
を駆動機構に連結して、軸方向に伸縮させること
によつて、該バツフルのコンダクタンスを可変と
する請求項第３項記載のクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1325089U JPH02103178U (ja) | 1989-02-06 | 1989-02-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1325089U JPH02103178U (ja) | 1989-02-06 | 1989-02-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02103178U true JPH02103178U (ja) | 1990-08-16 |
Family
ID=31223396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1325089U Pending JPH02103178U (ja) | 1989-02-06 | 1989-02-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02103178U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10006451B2 (en) | 2015-03-31 | 2018-06-26 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60178982A (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-12 | Toshiba Corp | クライオポンプ |
-
1989
- 1989-02-06 JP JP1325089U patent/JPH02103178U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60178982A (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-12 | Toshiba Corp | クライオポンプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10006451B2 (en) | 2015-03-31 | 2018-06-26 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump |
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