JPH02117117A - 積層磁器コンデンサの製造方法 - Google Patents
積層磁器コンデンサの製造方法Info
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- JPH02117117A JPH02117117A JP63271153A JP27115388A JPH02117117A JP H02117117 A JPH02117117 A JP H02117117A JP 63271153 A JP63271153 A JP 63271153A JP 27115388 A JP27115388 A JP 27115388A JP H02117117 A JPH02117117 A JP H02117117A
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- binder
- dielectric
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、積層磁器コンデンサの製造方法に関するもの
である。
である。
従来の技術
近年、ラジオ、マイクロヵセ・７トレコータ、電子チュ
ーナ、ビデオカメラ等の超小型、薄型軽量電子機器の発
展に伴ない回路素子として使用されるコンデンサの小型
、大容量化が強く要求されるようになってきた。これら
の要求を満足する部品として積層磁器コンデンサが知ら
れている。
ーナ、ビデオカメラ等の超小型、薄型軽量電子機器の発
展に伴ない回路素子として使用されるコンデンサの小型
、大容量化が強く要求されるようになってきた。これら
の要求を満足する部品として積層磁器コンデンサが知ら
れている。
積層磁器コンデンサの製造方法としては、先ず誘電体粉
末、バインダ、可塑剤および有機溶剤からなるヌラリー
を用いてドクターブレード法により有機フィルム上に厚
さ数十μｍのセラミック誘電体層を設けてグリーンシー
トを作成する。次にこのシート上に内部電極を印刷した
ものを複数枚積み重ねた後、圧着して積層成形体を作成
し、しかる後チリプ状に切断、焼成後、外部電極を形成
して作成される。（「絶縁誘電体セラミック７」ＣＭＣ
社発行、塩崎忠監修、９２１１〜２２７゜１９８６年） 一方さらに大容量化を達成するには誘電体層を薄くする
ことが望まれるが、ドクターブレード法では誘電体層厚
みに限度があることからバインダ量を従来よりも増量し
、ヌラリー粘度をさらに小すくシてリバークロール法に
より１０μｍ以下の薄型シートを作成し、バインダ量の
多いことを利用してグリーンシートのベーヌフィルム面
側から熱圧着により誘電体層を転写する、いわゆるホ。
末、バインダ、可塑剤および有機溶剤からなるヌラリー
を用いてドクターブレード法により有機フィルム上に厚
さ数十μｍのセラミック誘電体層を設けてグリーンシー
トを作成する。次にこのシート上に内部電極を印刷した
ものを複数枚積み重ねた後、圧着して積層成形体を作成
し、しかる後チリプ状に切断、焼成後、外部電極を形成
して作成される。（「絶縁誘電体セラミック７」ＣＭＣ
社発行、塩崎忠監修、９２１１〜２２７゜１９８６年） 一方さらに大容量化を達成するには誘電体層を薄くする
ことが望まれるが、ドクターブレード法では誘電体層厚
みに限度があることからバインダ量を従来よりも増量し
、ヌラリー粘度をさらに小すくシてリバークロール法に
より１０μｍ以下の薄型シートを作成し、バインダ量の
多いことを利用してグリーンシートのベーヌフィルム面
側から熱圧着により誘電体層を転写する、いわゆるホ。
トヌタンプ方式により誘電体層を積層する方法も最近提
案されている。
案されている。
第２図を用いてホットスタンプ方式による積層磁器コン
デンサの積層工程を簡単に説明する。
デンサの積層工程を簡単に説明する。
誘電体粉末にバインダ、可塑剤、溶剤などを加えて混合
し調製されたヌラリーを用い、リバークロール法などに
より、数μｍから数十μｍの極薄の誘電体層６．１１を
ベースフィルム１ｏに形成し、ホットスタンプシートを
作成する。なおこの場合誘電体層６の組成はホットスタ
ンプシートムが可能となるようなバインダ量が含有され
ていなければならない。このホットスタンプシートの誘
電体層６面上に内部電極７を形成し、その後別のホ７）
スタンプシート８を重ね合わせ、次に熱ローラ９等で熱
と圧力をベースフィルム１０面側から同時にかけること
によりホットスタンプシート８の誘電体層１１を、内部
電極７が印刷された誘電体層６に転写させ、その後ホッ
トスタンプシート８のペーヌフイルム１０を剥離する。
し調製されたヌラリーを用い、リバークロール法などに
より、数μｍから数十μｍの極薄の誘電体層６．１１を
ベースフィルム１ｏに形成し、ホットスタンプシートを
作成する。なおこの場合誘電体層６の組成はホットスタ
ンプシートムが可能となるようなバインダ量が含有され
ていなければならない。このホットスタンプシートの誘
電体層６面上に内部電極７を形成し、その後別のホ７）
スタンプシート８を重ね合わせ、次に熱ローラ９等で熱
と圧力をベースフィルム１０面側から同時にかけること
によりホットスタンプシート８の誘電体層１１を、内部
電極７が印刷された誘電体層６に転写させ、その後ホッ
トスタンプシート８のペーヌフイルム１０を剥離する。
火にこの剥離面上に内部電極子を形成した後、さらに別
のホットスタンプシートの重ね合わせ、熱圧着による転
写、ベースフィルムの剥離、電極形成を繰り返すことに
より積層する。なお第２図において１２はヒータ、１３
はホ・・ノトヌタンプ装置の架台である。
のホットスタンプシートの重ね合わせ、熱圧着による転
写、ベースフィルムの剥離、電極形成を繰り返すことに
より積層する。なお第２図において１２はヒータ、１３
はホ・・ノトヌタンプ装置の架台である。
発明が解決しようとする課題
ホ・７トヌタンプ方式のグリーンシートは熱転写が可能
となるように従来法によるグリーンシートに比べ、バイ
ンダ量が多いため積層成形体を焼成する時にバインダの
除去が難しく、焼結後誘電体層６と内部電極７間で剥離
現象がおきる原因ともな−ている。また積層数が増える
とバインダ量が多い場合、積層時の熱と圧力の為に内部
電極７の電極ずれが発生し、コンデンサとしての電気容
量が低下するなどの問題点を有していた。
となるように従来法によるグリーンシートに比べ、バイ
ンダ量が多いため積層成形体を焼成する時にバインダの
除去が難しく、焼結後誘電体層６と内部電極７間で剥離
現象がおきる原因ともな−ている。また積層数が増える
とバインダ量が多い場合、積層時の熱と圧力の為に内部
電極７の電極ずれが発生し、コンデンサとしての電気容
量が低下するなどの問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、誘電体層のバインダ量を多
量に含有しなくてもホソトヌタンプシヌテムが可能でか
つ低温転写が出来る積層磁器コンデンサの製造方法を提
供しようとするものである。
量に含有しなくてもホソトヌタンプシヌテムが可能でか
つ低温転写が出来る積層磁器コンデンサの製造方法を提
供しようとするものである。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の積層磁器コンデン
サに使用するグリーンシートは、ベーヌフィルム面上に
順に、誘電体粉末、バインダ、可塑剤からなる誘電体層
および部分的に接着剤層を設けてなるものである。そし
てかかるグリーンシートの上記ベースフィルム面側から
熱と圧力をかけて被写物に誘電体層を転写することによ
り積層するものである。
サに使用するグリーンシートは、ベーヌフィルム面上に
順に、誘電体粉末、バインダ、可塑剤からなる誘電体層
および部分的に接着剤層を設けてなるものである。そし
てかかるグリーンシートの上記ベースフィルム面側から
熱と圧力をかけて被写物に誘電体層を転写することによ
り積層するものである。
作用
本発明の積層磁器コンデンサの製造に使用するグリーン
シートの一例を第１図に示す。第１図のグリーンシート
はベースフィルム１面上に誘電体粉末２．可塑剤、バイ
ンダ３からなる誘電体層４を設け、さらにその面上に接
着剤層６が網目状あるいは斑点状などの形状で部分的に
形成された構造からなっている。このような構造からな
るホットスタンプシートを用いて第２図と同様の方法で
グリーンシートのベースフィルム１面側かう熱ト圧力を
かけて内部電極が印刷された誘電体層上にベークフィル
ム１上の誘電体層４を転写して積層磁器コンデンサを作
成したとする。従来の接着剤層なしでホントヌタンブ法
により誘電体層同士を積層しようとすると加熱圧着時に
、−旦誘電体層中のバインダが軟化し熱転写が可能とな
゛るだけの多量のバインダ量を必要とするが、本発明の
製造方法に使用するグリーンシートは低温加［Ｅで軟化
固着する感圧性の接着剤層を網目状あるいは斑点状など
の形状で部分的に誘電体層表面に形成していることから
誘電体層内には特に予示のバインダを必要としなくても
容易に低温でホットスタンプ方式により誘電体層同士を
積層することが出来る。
シートの一例を第１図に示す。第１図のグリーンシート
はベースフィルム１面上に誘電体粉末２．可塑剤、バイ
ンダ３からなる誘電体層４を設け、さらにその面上に接
着剤層６が網目状あるいは斑点状などの形状で部分的に
形成された構造からなっている。このような構造からな
るホットスタンプシートを用いて第２図と同様の方法で
グリーンシートのベースフィルム１面側かう熱ト圧力を
かけて内部電極が印刷された誘電体層上にベークフィル
ム１上の誘電体層４を転写して積層磁器コンデンサを作
成したとする。従来の接着剤層なしでホントヌタンブ法
により誘電体層同士を積層しようとすると加熱圧着時に
、−旦誘電体層中のバインダが軟化し熱転写が可能とな
゛るだけの多量のバインダ量を必要とするが、本発明の
製造方法に使用するグリーンシートは低温加［Ｅで軟化
固着する感圧性の接着剤層を網目状あるいは斑点状など
の形状で部分的に誘電体層表面に形成していることから
誘電体層内には特に予示のバインダを必要としなくても
容易に低温でホットスタンプ方式により誘電体層同士を
積層することが出来る。
従って従来のホ７）ヌタンブ式グリーンシートを使用す
る時に比ベパインダの除去が容易であると共に低温転写
が可能なことから高積層時においても電極ずれが起こら
ない。なお誘電体層面上に全面接着剤層を形成するとホ
リトヌタンプ時の熱転写は良好であるが焼成時に有機物
である接着剤が熱分解し多量のガヌを発生することから
焼結体内には誘電体層間で多数のデラミネーションが生
じる。
る時に比ベパインダの除去が容易であると共に低温転写
が可能なことから高積層時においても電極ずれが起こら
ない。なお誘電体層面上に全面接着剤層を形成するとホ
リトヌタンプ時の熱転写は良好であるが焼成時に有機物
である接着剤が熱分解し多量のガヌを発生することから
焼結体内には誘電体層間で多数のデラミネーションが生
じる。
実施例
本発明の具体的実施例について詳しく説明する。
ＢａＴｉ０．を主成分とする誘電体粉末１ｏＯ重量部に
対しポリビニルブチラール樹脂１２重量部、フタル酸ジ
オクチル２重量部を配合した後、溶剤にテトラヒドロフ
ランを用いてボールミルで２０時間混練し、３０ ｃｐ
ｓの粘度からなる７ラリーを作成した。このヌラリーを
脱泡処理後リバースロール法により厚み６０μｍのボリ
エヌテルフィルム上に厚み９μｍの誘電体層４を形成し
た。次にとの誘電体層４面上にグラビアコーティング法
により網目状に熱可塑性アクリルーヌチレンー塩酢ピ系
接着剤層６を厚み１μｍで形成し、グリーンシートを作
成した。なお誘電体層４面上における接着剤層６形成面
と形成していない面の比率は１：１とした。また比較の
ために誘電体層４全面に前述と同じ接着剤からなる接着
剤層を形成したシートも作成した。
対しポリビニルブチラール樹脂１２重量部、フタル酸ジ
オクチル２重量部を配合した後、溶剤にテトラヒドロフ
ランを用いてボールミルで２０時間混練し、３０ ｃｐ
ｓの粘度からなる７ラリーを作成した。このヌラリーを
脱泡処理後リバースロール法により厚み６０μｍのボリ
エヌテルフィルム上に厚み９μｍの誘電体層４を形成し
た。次にとの誘電体層４面上にグラビアコーティング法
により網目状に熱可塑性アクリルーヌチレンー塩酢ピ系
接着剤層６を厚み１μｍで形成し、グリーンシートを作
成した。なお誘電体層４面上における接着剤層６形成面
と形成していない面の比率は１：１とした。また比較の
ために誘電体層４全面に前述と同じ接着剤からなる接着
剤層を形成したシートも作成した。
次に第２図の方法に従い前述の２種類のグリーンシート
を使用して積層数５０層からなる高積層の積層成形体を
ホットスタンプ法によりｆ￥成した。
を使用して積層数５０層からなる高積層の積層成形体を
ホットスタンプ法によりｆ￥成した。
なおホ・シトスタンプ時の温度は１００℃、圧力は２６
Ｋｙ／ｃｄである。また内部電極としては市販のＰｄペ
ーヌトを使用した。しかる後、チ、ツブ状に切断後、チ
ップ成形体をＺｒＯ２粉末中にまぶしながら１０００°
Ｃで２時間焼成した。このようにして作成した積層チ、
フプコンデンサの焼結体内部を走査型電子顕微鏡により
微細構造を観察した。その結果、接着剤層５を誘電体層
４面に全面形成したシートを使用した場合、試量数２Ｑ
個に対し全数、誘電体層４と内部電極の間でデラミネー
ションが発生しておりコンデンサとして使用することが
出来なか−た。一方接着剤層Ｓを誘電体層４面上に部分
的に形成したグリーンシートを用いた焼結体はデラミネ
ーションは全く見られず内部電極の位置ずれもなかった
。また電気容量を測定した結果、測定数６０個に対し容
量のバラツキは理論計算値の±１％におさまり弛めて容
量命中率が高いことが確認された。
Ｋｙ／ｃｄである。また内部電極としては市販のＰｄペ
ーヌトを使用した。しかる後、チ、ツブ状に切断後、チ
ップ成形体をＺｒＯ２粉末中にまぶしながら１０００°
Ｃで２時間焼成した。このようにして作成した積層チ、
フプコンデンサの焼結体内部を走査型電子顕微鏡により
微細構造を観察した。その結果、接着剤層５を誘電体層
４面に全面形成したシートを使用した場合、試量数２Ｑ
個に対し全数、誘電体層４と内部電極の間でデラミネー
ションが発生しておりコンデンサとして使用することが
出来なか−た。一方接着剤層Ｓを誘電体層４面上に部分
的に形成したグリーンシートを用いた焼結体はデラミネ
ーションは全く見られず内部電極の位置ずれもなかった
。また電気容量を測定した結果、測定数６０個に対し容
量のバラツキは理論計算値の±１％におさまり弛めて容
量命中率が高いことが確認された。
なお本実施例に用いたのと同一組成の誘電体層４のみか
らなるグリーンシートを前述と全く同じ条件下でホ・ノ
ドスタンプしても熱転写することが出来なかった。なお
バインダ量を増やし誘電体粉末１００重量部に対し、ポ
リビニルブチラール樹脂２０重量部、フタルサンジオク
チル２重量部の組成からなる誘電体層シートを作成して
はじめて熱転写が可能となりその場合の温度は１８６°
Ｃであった。
らなるグリーンシートを前述と全く同じ条件下でホ・ノ
ドスタンプしても熱転写することが出来なかった。なお
バインダ量を増やし誘電体粉末１００重量部に対し、ポ
リビニルブチラール樹脂２０重量部、フタルサンジオク
チル２重量部の組成からなる誘電体層シートを作成して
はじめて熱転写が可能となりその場合の温度は１８６°
Ｃであった。
以上の結果から明らかなように、誘電体粉末。
バインダ、可塑剤からなる誘電体層４の面上に接着剤層
６を部分的に形成した積層磁器コンデンサ用グリーンシ
ートを用いると、従来より８６°Ｃも低温でホ・ソトヌ
タンプ方式により積層することが出来ることから、内部
電極の位置ずれもなくなり、電気容量の命中率も大幅に
向上することが出来た。
６を部分的に形成した積層磁器コンデンサ用グリーンシ
ートを用いると、従来より８６°Ｃも低温でホ・ソトヌ
タンプ方式により積層することが出来ることから、内部
電極の位置ずれもなくなり、電気容量の命中率も大幅に
向上することが出来た。
また接着剤層６を誘電体層４０面上に部分的に形成する
ことにより、誘電体層４Ｋ特に多量にバインダを含有し
なくても熱転写で積層出来ることから焼成時のバインダ
除去も容易となり、焼結体のデラミネーションの発生を
著しく抑制することが出来た。
ことにより、誘電体層４Ｋ特に多量にバインダを含有し
なくても熱転写で積層出来ることから焼成時のバインダ
除去も容易となり、焼結体のデラミネーションの発生を
著しく抑制することが出来た。
なお、実施例では接着剤層５を誘電体層４面に網目状に
形成しだが斑点状、縞状等部分的に形成しても同様の効
果を得ることが出来る。
形成しだが斑点状、縞状等部分的に形成しても同様の効
果を得ることが出来る。
また本実症例では積層磁器コンデンサをとりあげたがホ
ットスタンプ方式により積層可能な他の積層セラミック
電子部品、例えば積層アクチュエータ、積層バリヌタ、
積層基板に適用しても全く同様の効果を得ることが出来
るのは言うまでもないことである。
ットスタンプ方式により積層可能な他の積層セラミック
電子部品、例えば積層アクチュエータ、積層バリヌタ、
積層基板に適用しても全く同様の効果を得ることが出来
るのは言うまでもないことである。
発明の効果
以上のように本発明による積層磁器コンデンサの製造方
法は、接着剤層を誘電体層の面上に網目状１斑点状など
部分的に形成した構造からなるグリーンシートの、ベー
スフィルムｆｆ１（Ｉｌｌカラ熱、！：正圧力かけて被
写物に誘電体層を転写する積層工程を有するものであシ
、従来のホットヌタングシートを使用したときに比べて
誘電体層内のバインダ量を減らしても低温で熱転写が出
来る。従ってデラミネーション発生の抑制、あるいは電
極の位置精度が改善され、そのため電気容愈の命中率が
向上するなどその工業的価値は極めて大なるものがある
。
法は、接着剤層を誘電体層の面上に網目状１斑点状など
部分的に形成した構造からなるグリーンシートの、ベー
スフィルムｆｆ１（Ｉｌｌカラ熱、！：正圧力かけて被
写物に誘電体層を転写する積層工程を有するものであシ
、従来のホットヌタングシートを使用したときに比べて
誘電体層内のバインダ量を減らしても低温で熱転写が出
来る。従ってデラミネーション発生の抑制、あるいは電
極の位置精度が改善され、そのため電気容愈の命中率が
向上するなどその工業的価値は極めて大なるものがある
。
第１図は本発明による製造方法に使用する積層磁器コン
デンサ用グリーンシートの断面図、第２図はホソトヌタ
ンプシートを用いて積層する場合の積層工程を説明する
断面図である。 １・・・・・・ベーヌフィルム、２・・・・・・誘電体
粉末、３・・・・・・可塑剤、バインダ、４・・・・・
・誘電体層、６・・・・・・接着剤層。 代理人の氏名 芳理士 粟 野 重 孝 ほか１名第１
図 第２図 １ ・− −ｍ− ３−・− べ−スフ１ルム 誘電体８禾 可′Ｍｊ？Ｊ、バインタ 論電淳層 僧ｉ削層 ＝：＝＝＝）
デンサ用グリーンシートの断面図、第２図はホソトヌタ
ンプシートを用いて積層する場合の積層工程を説明する
断面図である。 １・・・・・・ベーヌフィルム、２・・・・・・誘電体
粉末、３・・・・・・可塑剤、バインダ、４・・・・・
・誘電体層、６・・・・・・接着剤層。 代理人の氏名 芳理士 粟 野 重 孝 ほか１名第１
図 第２図 １ ・− −ｍ− ３−・− べ−スフ１ルム 誘電体８禾 可′Ｍｊ？Ｊ、バインタ 論電淳層 僧ｉ削層 ＝：＝＝＝）
Claims (1)
- ベースフィルム面上に誘電体粉末，バインダ，可塑剤か
らなる誘電体層を設け、この誘電体層面上に部分的に接
着剤層を設けて形成したグリーンシートの、上記ベース
フィルム面側から熱と圧力をかけて被写物に誘電体層を
転写することにより積層する工程を有することを特徴と
する積層磁器コンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63271153A JP2615477B2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 積層磁器コンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63271153A JP2615477B2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 積層磁器コンデンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02117117A true JPH02117117A (ja) | 1990-05-01 |
| JP2615477B2 JP2615477B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=17496074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63271153A Expired - Lifetime JP2615477B2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 積層磁器コンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2615477B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6527890B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-03-04 | Motorola, Inc. | Multilayered ceramic micro-gas chromatograph and method for making the same |
| US6592696B1 (en) * | 1998-10-09 | 2003-07-15 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a multilayered structure and the structures formed by the method |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5694716A (en) * | 1979-12-28 | 1981-07-31 | Fujitsu Ltd | Method of manufacturing laminated ceramic condenser |
| JPS57117227A (en) * | 1981-01-12 | 1982-07-21 | Murata Manufacturing Co | Method of winding wound-type ceramic capacitor |
| JPS57160981A (en) * | 1981-03-30 | 1982-10-04 | Nippon Electric Co | Manufacture of laminate ceramic parts |
| JPS6324612A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-02 | 株式会社村田製作所 | セラミツク積層体の製造方法 |
| JPS63188927A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-04 | 松下電器産業株式会社 | 積層セラミツク電子部品の製造方法 |
-
1988
- 1988-10-27 JP JP63271153A patent/JP2615477B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US6572830B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-06-03 | Motorola, Inc. | Integrated multilayered microfludic devices and methods for making the same |
| US6592696B1 (en) * | 1998-10-09 | 2003-07-15 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a multilayered structure and the structures formed by the method |
| US6732567B2 (en) | 1998-10-09 | 2004-05-11 | Motorola, Inc. | Multilayered ceramic micro-gas chromatograph and method for making the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2615477B2 (ja) | 1997-05-28 |
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