JPH0217565U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0217565U JPH0217565U JP9558288U JP9558288U JPH0217565U JP H0217565 U JPH0217565 U JP H0217565U JP 9558288 U JP9558288 U JP 9558288U JP 9558288 U JP9558288 U JP 9558288U JP H0217565 U JPH0217565 U JP H0217565U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- solid raw
- molecular beam
- heater
- vicinity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案に係る分子線エピタキシヤル成
長装置に用いられる分子線セルの側断面図、第２
図は同じく一部分解斜視図、第３図は一般的な分
子線エピタキシヤル成長装置の構成を示す概略図
、第４図は従来の分子線セルを示す側断面図であ
る。 ２０……分子線セル、２４……るつぼ、２５…
…ヒータ。
長装置に用いられる分子線セルの側断面図、第２
図は同じく一部分解斜視図、第３図は一般的な分
子線エピタキシヤル成長装置の構成を示す概略図
、第４図は従来の分子線セルを示す側断面図であ
る。 ２０……分子線セル、２４……るつぼ、２５…
…ヒータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 結晶成長室内に配置されたるつぼ内に投入され
た固体原料をヒータによつて加熱して溶融、蒸発
させて得られる分子線を基板上に照射してエピタ
キシヤル成長させる分子線エピタキシヤル装置で
あつて、 上記ヒータを、上記るつぼ内に投入された固体
原料の融液面近傍にのみ配設し、この固体原料の
溶液面近傍のみを加熱して蒸発させることを特徴
とする分子線エピタキシヤル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9558288U JPH0217565U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9558288U JPH0217565U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217565U true JPH0217565U (ja) | 1990-02-05 |
Family
ID=31320263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9558288U Pending JPH0217565U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217565U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04224788A (ja) * | 1990-12-27 | 1992-08-14 | Juki Corp | ボタン付けミシン |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP9558288U patent/JPH0217565U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04224788A (ja) * | 1990-12-27 | 1992-08-14 | Juki Corp | ボタン付けミシン |
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