JPH02190860A - 液状感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、液状感光性樹脂組成物に関し、さらに詳しく
は、印刷配線板製造用のソルダーレジスト等の永久保護
マスクの形成に使用可能な、紫外線露光に対して高感度
で、しかも硬化後の塗膜の電気特性や耐薬品性にも優れ
た、光硬化および熱硬化がともに可能な液状感光性樹脂
組成物に関する。

（従来の技術） 従来、印刷配線板業界において、ソルダーレジスト、化
学めっき用レジスト等の永久保護マスクに使用されてい
る樹脂組成物はエポキシ樹脂、メラミン樹脂等の熱硬化
性樹脂を主成分としたものであり、パターン形成には、
スクリーン印刷法が多く用いられてきた。ソルダーレジ
ストの主な目的はハンダ付は時のハンダ付は領域を限定
し、ノーンダブリフジ等を防ぐこと、導体の腐食を防止
すること、さらに長期にわたって導体間の電気絶縁性を
保持することにある。

しかしながら、近年、超ＬＳＩ等の高密度実装化に伴っ
て、導体間隔の縮小化が要求され、また導体間の電気絶
縁性の要求も厳しく、ソルダーレジスト等も寸法精度の
優れたものが要求されるようになっているが、スクリー
ン印刷法は本質的に低解像度であり、カスレ、ピンホー
ル（高粘度インキの場合）あるいはブリード、にじみ、
だれ（低粘度の場合）といった現象が発生し、印刷配線
板の高密度化に対応できなくなってきている。

そこで、写真法（像露光に続く現像により画像を形成）
でパターンを形成でき、高感度、高解像度でかつ、基板
との密着性に優れ、しかも硬化後の塗膜の電気特性や機
械的特性にも優れた感光性樹脂組成物が、現在注目され
ている。

また、近年、作業環境、大気および水質汚濁等の問題か
ら、アルカリ性水溶液または水で現像できる感光性樹脂
組成物が望まれている。

写真法により、パターン形成される印刷配線板用の永久
保護マスクとして、・ドライフィルム型あるいは液状の
現像可能な感光性樹脂組成物が開発されている。

ドライフィルム型の感光性樹脂組成物として、例えば、
特開昭５７−５５９１４号公報等にウレタンジ（メタ）
アクリレート、線状高分子化合物および光増感剤からな
る感光性樹脂組成物が、また、特開昭６２−２４７３５
３号公報に特定のノボラックエポキシ樹脂の（メタ）ア
クリル変性樹脂と光増感剤からなる感光性樹脂組成物が
開示されている。

しかしながら、−船釣に、ドライフィルム型の感光性樹
脂組成物の場合、加熱圧着の際に気泡を生じ易く、耐熱
性や密着性にも不安があり、それらの間頭を解決する為
に、特開昭５２−５２７０３号公報等に開示されたよう
に、減圧下で加熱圧着等の特殊な工程を必要とし、さら
には、この様な工程を用いても、完全な耐熱性や密着性
は保証されない。

一方、液状の現像可能な感光性樹脂組成物は、使用直前
に印刷配線板に液状のまま直接塗布されるため工程数が
少なく、また液状であるため、凹凸の激しい印刷配線板
に対しても優れた画像を形成でき、例えば、導体間隔の
狭い印刷配線板のための永久保護マスク用感光性樹脂組
成物として好適である。

しかしながら、この液状感光性樹脂組成物も、印刷配線
板上に塗布した後、直接パターンマスクを塗膜面に密着
させて露光するとパターンマスクが汚れるという欠点を
有する。

このパターンマスクの汚れを解決する方法として、特開
昭５７−１６４５９５号公報等に開示されているように
、印刷配線板に液状感光性樹脂組成物を塗布した後、乾
燥して造膜する通常の方法とは異なり、乾燥せず液状の
ままパターンマスクを間隔を開けて配置し、露光硬化さ
せ、未硬化の液状感光性樹脂組成物を除去するという特
殊な方法がある。しかし、乾燥造膜しないため、被覆さ
れた液状感光性組成物表面とパターンマスクとの間隔を
開ける必要がありその分だけ解像度が悪くなり、また特
殊な装置を装備するため高価になるなど難点がある。

また、特開昭５８−２４１４４．５９−２０４９号公報
等には、活性光線を透過する透明な可撓性支持体または
パターンマスク上に液状感光性樹脂組成物を均一な厚さ
に塗布し、直ちに、可撓性支持体またはパターンマスク
を移動し液状感光性樹脂組成物の塗布面を印刷配線板に
向は一定圧で押圧することにより、印刷配線板上に液状
感光性樹脂組成物を一定厚に積層し、次いで、露光し、
可撓性支持体またはパターンマスクを剥離し現像するこ
とによるソルダーレジストの製造方法が開示されている
。この方法では、透明な可撓性支持体またはパターンマ
スクに液状感光性樹脂組成物を均一な厚さで塗布した後
、印刷配線板に向けて一定圧で押圧するときに、印刷配
線板に凹凸があるため気泡の巻き込みを生じ、画像中に
気泡が少なからず生じ、耐熱性や密着性に不安があり、
さらに、特定の装置を必要とし高価になるなどの問題が
ある。

さらに、特開昭６１−１０２６５２．６２−２７７３６
号公報には、印刷配線板上に液状感光性組成物を塗布し
た後、透明な可撓性支持体またはパターンマスクを一定
圧で押圧し、パターンマスクを介して霧光し、可撓性支
持体またはパターンマスクを剥離した後で現像すること
によるソルダーレジストの製造方法が開示されている。

これらの方法においても可撓性支持体またはパターンマ
スクを一定圧で押圧し、露光するための特定の装置を必
要とし高価になるなどの問題がある。

さらに、上記に示した液状感光性組成物を乾燥させずに
、そのままレジストパターンに従って露光する方法にお
いて、液状感光性組成物は、多数の反応性モノマーを含
む液状プレポリマーを使用するため、耐酸性、耐薬品性
等の特性が通常の方法に較べて劣るという問題もある。

液状感光性樹脂を塗布後、加熱乾燥し、パターンマスク
を密着させて露光し、現像することにより、ソルダーレ
ジストを形成する方法としては、特開昭６１−２４３８
６９等に開示されているような、ノボラック型エポキシ
化合物、不飽和モノカルボン酸および多塩基酸無水物を
反応して得られる化合物を含む液状レジストインキ組成
物、特開昭６２−１８７７２２等に開示されているよう
な、不飽和基とカルボキシル基を有するビスフェノール
型エポキシ樹脂を主成分とする液状樹脂組成物がある。

しかし、これらの液状感光性樹脂組成物も、感度、およ
び硬化後の塗膜の電気特性、耐薬品性等の特性が不十分
である。

（発明が解決しようとする間Ｈ点） 本発明の目的は、前記従来の技術的課題を解決し、印刷
配線板上に気泡のない均一な厚みの感光性樹脂層を形成
することができ、また、感光性樹脂を塗布した印刷配線
板を露光前に加熱することにより、感光性樹脂塗膜表面
の粘着性をなくして塗膜表面とパターンマスクとを密着
して露光することができる、光硬化および熱硬化がとも
に可能で、高感度であり、硬化後の塗膜の電気特性、機
械的特性、耐薬品性に優れ、しかもアルカリ性水溶液に
より現像可能な液状感光性樹脂組成物を提供することに
ある。

（問題点を解決する為の手段） 本発明者等は、次の様な液状感光性樹脂組成物を用いる
ことにより、上記の問題点を解決できることを見出し、
本出願に到った。

（Ａ）下記一般式（Ｉ）の繰り返し単位を有する高分子
重合体、同一分子中にカルボキシル基とエチレン性不飽
和二重結合を有する化合物、および飽和あるいは不飽和
多塩基酸無水物を順次反応して得られる変性ポリスチレ
ン樹脂 一般式（Ｉ） はフェニレン、または置換フェニレンを意味する。） （Ｂ）少なくとも１個のエチレン性不飽和二重結合を有
する重合性化合物 （Ｃ）少なくとも１個のエポキシ基を有するエポキシ化
合物 （Ｄ）光重合開始剤または光重合開始剤系（Ｅ）エポキ
シ基を熱反応させる熱硬化性触媒（Ｆ）有機溶剤 を含有する液状感光性樹脂組成物。

本発明の、液状感光性樹脂組成物の各成分について以下
に説明する。

（Ａ）の変性ポリスチレン樹脂は、一般式（Ｉ）の繰り
返し単位を有する高分子重合体、同一分子中にエポキシ
基とエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および
飽和あるいは不飽和多塩基酸無水物を順次反応させるこ
とにより得られる。

一般式（Ｉ）の繰り返し単位を有する高分子重合体とし
ては、４−ビニルフェニルグリシジルエーｆル、４−イ
ソプロペニルフェニルグリシジル（式中、Ｒはボ素、ま
たはメチル基、Δｒエーテル、２−エチル−４−ビニル
フェニルグリシジルエーテル、２−イソプロピル−４−
ビニルフェニルグリシジルエーテル、２．６−タイツプ
ロビル−４−ビニルフェニルグリシジルエーテル、２．
６−ジーｔ−ブチル−４−ビニルフェニルグリシジルエ
ーテル、２，６−ジーｔ−ブチル−４−イソプロペニル
フェニルグリシジルエーテル、ブロム化−４−ビニルフ
ェニルグリシジルエーテル、フロム化４−イソプロペニ
ルフェニルグリシジルエーテル等の単独ビニル重合体、
またはこれらと共重合可能なビニル単量体とのビニル共
重合体が挙げられる。また、これらの化合物は、４−ビ
ニルフェノール、４−インプロペニルフェノール、２−
エチル−４−ビニルフェノール、２−イソプロピル−４
−ビニルフェノール、２．６−ジイソプロピル−４−ビ
ニルフェノール、２．６−ジーｔ−ブチル−４−ビニル
フェノール、２Ｉ５−’；−ｔ−ｊチルー４−インプロ
ペニルフェノール、フロム化−４−ビニルフェノール、
ブロム化４−インプロペニルフェノール等の単独重合体
、またはこれらと共重合可能な単量体との共重合体をア
ルカリ存在下でエピクロルヒドリンを反応せしめて得る
ことができる。これらの内、特に好ましい具体例として
は４−ビニルフェニルグリシジルエーテルのビニル重合
体、４−イソプロペニルフェニルグリシジルエーテルの
ビニル重合体が挙げられる。

また、同一分子中にカルボキシル基とエチレン性不飽和
二重結合を有する化合物としては、アクリル酸、メタク
リル酸、アクリル酸の２量体や３量体以上の多量体、ア
クリル酸またはメタクリル酸とカプロラクトン等の環状
酸無水物との反応生成物、アクリル酸またはメタクリル
酸のヒドロキシアルキルエステルと二塩基酸無水物との
反応生成物、アクリル酸またはメタクリル酸のヒドロキ
シアルキルエステルとハロゲン含有カルボン酸との反応
生成物、ビニル安息香酸等が挙げられる。

さらに、市販品としては、東亜合成化学工業（株）製の
γロニックスＭ−５３００、Ｍ−５４００、Ｍ−５５０
０およびＭ−５６００、新中村化学工業（株）製のＮＫ
エステルＣＢ−１およびＣＢＸ−１、共栄社油脂化学工
業（株）！８！のＨＯΔ−ｑＰおよびＨＯＡ−ＭＳ、大
阪有機化学工業（株）製のビスコ−）＃２１００などを
用いることができる。

これらの内、特に好ましい具体例としては、アクリル酸
、メタクリル酸、アクリル酸の２量体や３量体以上の多
量体が挙げられる。

また、飽和あるいは不飽和多塩基酸無水物としては、無
水コハク酸、無水メチルコハク酸、無水２３−ジメチル
コハク酸、無水２．２−ジメチルコハク酸、無水エチル
コハク酸、無水ドデセニルコハク酸、無水ノネニルコハ
ク酸、無水マレイン酸、無水メチルマレイン酸、無水２
．３−ジメチルマレインＭ、無水２−クロロマレインＬ
　ａ水２．３−ジクロロマレイン酸、無水ブロモマレイ
ン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水シスア
コット酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、
テトラクロロ無水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸
、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水
フタル酸、メチルへキサヒドロ無水フタル酸、エンドメ
チレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレ
ンテトラヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸および
５−（２，５−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メ
チル−３−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水
物などの二塩基酸無水物、無水トリメリット酸、３．３
’、４．４°−ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の多
塩基酸無水物などが使用できる。これらの内、上記の二
塩基酸無水物が好ましく、特に無水コハク酸、テトラヒ
ドロ無水フタル酸が好ましい。

それぞれを順次反応させて、変性ポリスチレン樹脂を得
るが、それらを反応させる比率は、一般式（Ｉ）の繰り
返し単位を有する高分子重合体のエポキシ基１当量に対
して、同一分子中にカルボキシル基とエチレン性不飽和
二重結合を有する化合物０．５〜１．２当量、好ましく
は、０．８〜１．１当量であり、多塩基酸無水物０．１
〜１゜１当量、好ましくは、０，３〜１．　０当量であ
る。同一分子中にカルホキシル基とエチレン性不飽和二
重結合を有する化合物が０．５当量未満では感度が低下
し、１．２当量を越えると粘着性の問題が生ずる。また
、多塩基酸無水物が０．１当量未満では、現像性の低下
、樹脂のゲル化が起こり、１．１当量を越えると粘着性
や、結晶の析出等の問題が生ずる。

これ・らの変性ポリスチレン樹脂は単独で、または２種
以上混合して用いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固
形分１００重！部に対して、１０〜６０重量部が好まし
く、特に２０〜５０重量部用いることが好ましい。１０
重量部未満では現像性、硬化膜の強度が低下し、６０重
量部を越えると液粘度が高く作業性が低下する。

本発明に用いられる少なくとも１個のエチレン性不飽和
二重結合を有する重合性化合物としては、まず１価また
は多価アルコールのアクリル酸またはメタクリル酸のエ
ステルが挙げられる。

１価または多価アルコールのアクリル酸またはメタクリ
ル酸のエステルにおける１価アルコールとしでは、例え
ばメタノール、エタノール、プロパツール、インブロバ
ノーノペｎ−ブタノール、インブタノール、ｔ−ブタノ
ール、シクロへキシルアルコーノヘベンジルアルコール
、オクチルアルコール、２−エチルヘキサノール、ラウ
リルアルコール、ｎ−デカノール、ウンデカノール、七
チルアルコール、ステアリルアルコール、メトキシエチ
ルアルコール、エトキシエチルアルコール、ブトキシエ
チルアルコール、ポリエチレングリコールモノメチルア
ルコール、ポリエチレングリコールモノエチルアルコー
ル、２−ヒドロキシ−３−クロロプロパン、ジメチルア
ミノアルコール、ジエチルアミノアルコール、グリシド
ール、２−トリメトキシシリルエタノール、エチレンク
ロロヒドリン、エチレンブロモヒドリン、２．３−シフ
ロムプロパツール、アリルアルコール、オレイルアルコ
ール、エポキシステアリルアノリコール、フェノール、
ナフトール等が挙げられる。また多価アルコールとして
は、例えばエチレングリコール、１．２−プロパンジオ
ールペ　１．３〜プロパンジオール、１．４−ブタンジ
オール、１，５−ベンタンジオール、ヘキサンジオール
、ヘプタンジオール、オクタンジオール、ノナンジオー
ル、ドデカンジオール、ネオペンチルグリコール、１．
１０−デカリジオールペ　２−ブテン−１，４−ジオー
ル、２　　ｎ−ブチル−２−エチルプロパンジオール、
シクロへブタンジオール、Ｉ、４−シクロヘキサンジメ
タノーノペ３−シクロヘキセン−１，１−ジェタノール
、ポリエチレングリコール（ジエチレングリコーノペ　
トリエチレングリコール等）、ポリプロピレングリコー
ル（ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコー
ル等）、ポリスチレンオキシドグリコーノペポリテトラ
ヒドロフラングリコール、キシリレンジオール、ビス（
β−ヒドロキシエトキシ）ベンゼン、３−クロル−１，
２−プロパンジオール、２．２−ジメチル−１，３−プ
ロパンジオール、２，２−ジエチル−１，３−プロパン
ジオーノベ２．２−ジフェニル−１，３−プロパンジオ
ール、デカリンジオール、１，５−ジヒドロキシ−１，
２，３４−テトラヒドロナフタレン、２．５−ジメチル
−２，５−ヘキサンジオール、２−エチル−１３−ヘキ
サンジオール、２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）
−１，３−プロパンジオール、２−エチル−２−メチル
−１，３−７’ロバンジオール、３−ヘキセン−２，５
−ジオール、ヒドロキシベンジルアルコール、２−メチ
ル−１，４−ブタンジオール、２−メチル−２，４−ベ
ンタンジオール、１−フェニル−１，２−エタンジオー
ル、２．　２．　４．　４−テトラメチル−１，３−シ
クロブタンジオール、２，３，５．６−テトラメチル−
ｐ−キシレン−α、α“−ジオール、１゜１．４．４−
テトラフェニル−２−ブチン−１゜４−ジオール、１．
１′　−ビー２−ナフトール、ジヒドロキシナフタレン
、１，１°−メチレン−ジー２−ナフトール、ビフェノ
ール、２．２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）ブタン
、１．１−ビス（４−ヒドロキシフェニル）シクロヘキ
サン、ビス（ヒドロキシフェニル）メタン、カテコール
、レゾルシノール、２−メチルレゾルシノール、４−ク
ロロレゾルシノール、ピロガロール、α−（Ｉ−アミノ
エチル）−ｐ−ヒドロキシベンジルアルコール、２−ア
ミノ−２−メチル−１，３−プロパンジオール、２−ア
ミノ−２−エチル−１，３−プロパンジオール、３−ア
ミノ−１，２−フロパンジオール、Ｎ−（３−アミノプ
ロピル）−ジェタノールアミン、Ｎ、Ｎ−ビス（２−ヒ
ドロキシエチル）ピペラジン、１．３−ビス（ヒドロキ
シメチル）ウレア、１，２−ビス（４−ピリジル＞−１
，２−エタンジオール、Ｎ−ｎ−ブチルジェタノールア
ミン、ジェタノールアミン、Ｎ−エチルジェタノールア
ミン、３−メルカプト−１，２−７’ロパンジオール、
３−ピペリジン−１，２−プロパンジオール、２−（２
−ピリジル）−１，３−プロパンジオール、α−（Ｉ−
アミノエチル）−ｐ−ヒドロキシベンジルアルコール、
グリセリン、トリメチロールエタン、トリメチロールプ
ロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトー
ル、トリペンタエリスリトール、ソルビトール、グルコ
ース、α−マンニトール、ブタントリオール、１．２．
６−トリヒドロキシヘキサン、１．２．４−ベンゼント
リオール、トリエタノールアミン、２．２−ビス（ヒド
ロキシメチル）−２，２’、２″−ニトリロトリエタノ
ール等が挙げられる。これらの１価または多価アルコー
ルのアクリル酸またはメタクリル酸のエステルのうち、
エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコー
ルジメタクリレート、ポリエチレングリコールジアクリ
レート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリ
トールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテト
ラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリ
レート、ジペンタエリスリトールへキサアクリレート、
ジペンタエリスリトールへキサメタクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタアクリレート、グリセリントリアクリレ
ート、グリセリントリメタクリレート、トリメチロール
プロパントリアクリレート、トリメチロールプロパント
リメタクリレート、トリメチロールエタントリアクリレ
ート、トリメチロールエタントリメタクリレート、ネオ
ペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリ
コールジメタクリレート、ソルヒトールヘキサアクリレ
ート、ソルビトールへキサメタクリレート、ソルビトー
ルペンタアクリレート、ソルビトールペンタメタクリレ
ート等が好ましい。

また、モノアミンもしくはポリアミンのアクリルアミド
またはメタクリルアミドも使用することができる。ここ
におけるモノアミンとしては、例えばエチルアミン、ブ
チルアミン、アミルアミンヘキシルアミン、オクチルア
ミン、シクロヘキシルアミン、９−アミノデカリン等の
モノアルキルアミン、アリルアミン、メタアリルアミン
、ベンジルアミン等のモノアルケニルアミン、およびア
ニリン、トルイジン、ｐ−アミノスチレン等の芳香族ア
ミンが挙げられる。またポリアミンとしては、例えばエ
チレンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチレ
ンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレン
ジアミン、ヘキサメチレンビス（２−アミノプロピル）
アミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラア
ミン、ポリエチレンポリアミン、トリス（２−アミノエ
チル）アミン、４．４°−メチレンビス（シクロヘキシ
ルアミン）　、Ｎ、Ｎ’　−ビス（２−アミノエチル）
−１，３−プロパンジアミン、Ｎ、Ｎ’−ビス（３−ア
ミノプロピル）−１，４−ブタンジアミン、Ｎ、Ｎ’　
−ビス（３−アミノプロピル）エチレンジアミン、Ｎ、
Ｎ’　−ビス（３−アミノプロピル）−１，３−プロパ
ンジアミン、１゜３−シクロヘキサンビス（メチルアミ
ン）、フェニレンジアミン、キシリレンジアミン、β−
（４−アミノフェニル）エチルアミン、ジアミノトルエ
ン、ジアミノアントラセン、ジアミノナフタレン、ジア
ミノスチレン、メチレンジアニリン、２４−ビス（４−
アミノベンジル）アニリン、アミノフェニルエーテル等
が挙げられる。

さらに、アリル化合物、例えばギ酸、酢酸、プロピオン
酸、酪酸、ラウリン酸、安息香酸、クロル安息香酸、マ
ロン酸、シュウ酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン
酸、フタル酸、テレフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、
クロレンド酸およびトリメリット酸等のモノまたはポリ
カルボン酸のモノまたはポリアリルエステル、ベンゼン
ジスルホン酸、ナフタレンジスルホン酸等のモノまたは
ポリスルホン酸のモノまたはポリアリルエステル、ジア
リルアミン、Ｎ、Ｎ’　−ジアリルシニウ酸ジアミド、
１．３−ジアリル尿素、ジアリルエーテル、トリアリル
イソシアヌレート等も用いることができる。

また、例えばジビニルベンゼン、ｐ−アリルスチレン、
ｐ−インピロベニルスチレン、ジビニルスルホン、エチ
レングリコールジビニルエーテル、グリセロールトリビ
ニルエーテル、ジビニルフタレート、ジビニルフタレー
ト、ジビニルテレフタレート等のポリビニル化合物、２
−ヒドロキシ−３−メタクリロイルオキシプロピルトリ
メチルアンモニウムクロリド、メタクリロイルオキシフ
ェニルトリメチルアンモニウムクロリド等のイオン性基
を有するアクリル酸またはメタクリル酸のエステル化合
物も用いることができる。

さらに、市販の重合性モノマーまたはオリゴマー、例え
ば東亜合成化学工業社製アロニックスＭ５７００、Ｍ６
１００、Ｍ８０３０、Ｍ１５２、Ｍ２Ｏ３、Ｍ２１５、
Ｍ３１５、Ｍ３２５等のアクリレート系モノマー、新中
村化学工業社製のＮＫエステルＡＢＰＥ−４、Ｕ−４Ｈ
ＡＳＣＢ−１ＹＡＭΔＲＰＭ−１、ＰＭ−２、サンノブ
コ社製フォトマー４０６１．５００７等のアクリレート
またはメタクリレート系モノマー、昭和高分子社製リポ
キシＶＲ６０、ＶＲ９０，５Ｐ１５Ｃ１９等のエポキシ
アクリレート、同社製スピラックＥ−４０００Ｘ、Ｕ３
０００等のスピロアセクール構造とアクリル基またはメ
タクリル基とを有するスピラン樹脂等も用いることがで
きる。

これらの化合物は単独で、または２種以上混合して用い
てもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分１００重量部
に対して、１〜４０重量部が好ましく、特に２〜３０重
量部用いることが好ましい。１重量部未満では感度が低
下し、４０重量部を越えると硬化膜の電気的特性、機械
的特性が低下する。

本発明に用いられる少なくとも１個のエポキシ基を有す
る化合物としては、例えばブチルグリシジルエーテル、
オクチルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテ
ル、アリールグリシジルエーテル、フェニルグリシジル
エーテル等の炭素数２〜２０のアルコールのグリシジル
エーテル類、ポリエチレングリコールジグリシジルエー
テル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル
、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレ
ングリコールジグリシジルエーテル、ネオベンチルグリ
コールシフリシジルエーテル、１゜６−ヘキサンシオー
ルジグリシジルエーテル、ジブロモネオペンチルグリコ
ールジグリシジルエーテル、グリセロールトリグリシジ
ルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエ
ーテル、ジグリセロールテトラグリシジルエーテノベポ
リグリセロールポリグリシジルエーテル等の、ポリオー
ルのポリグリシジルエーテル類、２．６−シブリシジル
フェニルグリシジルエーテル、２．６２’、６’−テト
ラメチル−４，４°−ビフェニルジグリシジルエーテル
、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフ
ェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキ
シ樹脂、水素添加型ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、
ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフェ
ノールＳ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポ
キシ樹脂、タレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ハロ
ゲン化フェノールノボラック型エポキシ樹脂および臭素
化エポキシ樹脂等のグリシジルエーテル型エポキシ化合
物、アリサイクリックジェポキシアセクール、アリサイ
クリックジェポキシアジベイト、アリサイクリックジェ
ポキシアジペートおよびビニルシクロヘキセンジオキサ
イド等の環式脂肪族エポキシ化合物、グリシジルアクリ
レート、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロキシ
フタル酸ジグリシジルエステル、ソルビン酸グリシジル
エステノペオレイン酸グリシジルエステルおよびリルイ
ン酸グリシジルエステル等の不飽和酸グリシジルエステ
ル類、ブチルグリシジルエステル、オクチルグリシジル
エステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル
およびダイマー酸グリシジルエステル等のアルキルカル
ボン酸グリシジルエステル類および安息香酸グリシジル
エステル、０−フタル酸ジグリシジルエステルおよびジ
グリシジルｐ−オキシ安息香酸等の芳香族カルボン酸グ
リシジルエステル類等のグリシジルエステル型エポキシ
化合物、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、
トリグリシジル−ｐ−アミノフェノール、トリグリシジ
ル−ｍ−アミノフェノール、ジグリシジルアニリン、ジ
グリシジルトルイジン、テトラグリシジル−ｍ−キシリ
レンジアミン、ジグリシジルトリブロムアニリンおよび
テトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン等の
グリシジルアミン型エポキシ化合物、ジグリシジルヒダ
ントイン、グリシジルグリシドオキシアルキルヒダント
インおよびトリグリシジジルイソシアヌレート等の複素
環式エポキシ化合物等が挙げられる。これらの内、２．
６．２°、６゛−テトラメチル−４，４゜ビフェニルジ
グリシジルエーテル、ノボラック型エポキシ樹脂、複素
環式エポキシ化合物が好ましい。

これらのエポキシ化合物は単独または２種以上混合して
用いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分１００重
量部に対して、１〜４０重量部が好ましく、特に５〜３
０重量部使用することが好ましい。１重量部未満では硬
化膜の強度、耐薬品性、電気的特性が不足し、４０重量
部を越えると液の安定性が低下する。

本発明に用いられる光重合開始剤としては、例えばベン
ジル、ジアセチル等のα−ジケトン類、ベンゾイン等の
アシロイン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン
エチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等の
アシロインエーテル頚、チオキサントン、２．４−ジエ
チルチオキサントン、チオキサントン−１−スルホン酸
、チオキサントン−４−スルホン酸等のチオキサントン
類、ベンゾフェノ・ン、４，４°　−ビス（ジメチルア
ミノ）ベンゾフェノン、４．４’　−ビス（ジエチルア
ミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン頚、アセトフ
ェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、α、α°
−ジメトキシアセトキシアセトフェノン、２，２°　−
ジフトキン−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキ
シアセトフェノン、２−メチル−（４−（メチルチオ）
フェニルツー２−モルフォリノ−１−プロパノン等のア
セトフェノン類およびアントラキノン、１．４−ナフト
キノン等のキノン類、フェナシルクロライド、トリフロ
モメチルフェニルスルホン、トリス（トリクロロメチル
）−ｓ−１−リアジン等のハロゲン化合物、ジ−ｔ−ブ
チルパーオキサイド等の過酸化物などが挙げられる。

これらの光重合開始剤は単独または２種以上混合して用
いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分１００重量
部に対して、０．１〜２０重量部が好ましく、特に０．
２〜１０重量部使用することが好ましい。０．１重量部
未満では感度が低下し、２０重量部を越えると結晶の析
出、下部の硬化不足が起こる。

エポキシ基を熱反応させる熱硬化性触媒としては、ジエ
チレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエ
チレンペンタミン、イミノビスプロピルアミン（ジプロ
ピルトリアミン）、ビス（ヘキサメチレン）　トリアミ
ン、１．３．６−）リスアミノメチルヘキサン等のポリ
アミン類、トリメチルへキサメチレンジアミン、ポリエ
ーテルジアミン、ジエチルアミノプロビルアミン等のポ
リメチレンジアミン類、メンセンジアミン、インフォロ
ンジアミン、ビス（４−アミノ−３−メチルシクロヘキ
シル）メタンおよびＮ−アミノエチルピペラジン等の脂
環族ポリアミン類等の脂肪族第一アミン、メタフェニレ
ンジアミン、ジアミノフェニルメタン、ジアミノフェニ
ルスルフォンおよび芳香族ジアミン共融混合物等の芳香
族第一アミン類、ポリアミンエポキシ樹脂アダクト、ポ
リアミンーエチレンオキシドアダクト、ポリアミ２ンー
プロピレンオキシドアダクト、シアノエチル化ポリアミ
ン、ケトイミン等の変性アミン、ピペリジン、ピペラジ
ン、モルフォリン等の第三アミン、および、テトラメチ
ルグアニジン、トリエタノールアミン、ベンジルジメチ
ルアミン、２．４．６−トリス（ジメチルアミノメチル
）フェノール等の第三アミン等のアミン化合物類、無水
フタル酸、無水トリメリット酸、エチレングリコールビ
ス（アンヒドロトリメリテート）、グリセリントリス（
アンヒドロトリメリテート）、無水ピロメリット酸、３
．３’　、４．４’　−ベンゾフェノンテトラカルボン
酸無水物等の芳呑族酸無水物、無水マレイン酸、無水コ
ハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒド
ロ無水フタル酸、エンル無水コハク酸、ヘキサヒドロ無
水フタル酸、メチルへキサヒドロ無水フタル酸、メチル
シクロヘキセンテトラカルボン酸無水物等の環状脂肪族
酸無水物、ポリアジピン酸無水物、ポリアゼライン酸無
水物、ポリセバシン酸無水物等の脂肪族酸無水物、およ
び、クロレンド酸無水物、テトラブロモ無水フタル酸等
のハロゲン化酸無水物等の酸無水物類、２−メチルイミ
ダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−
ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾー
ル、２−フェニルイミタソール、１−ベンジル−２−メ
チルイミダゾール、１−シアノエチル−２−メチルイミ
ダゾール、１−シアノエチル−２−エチル−４−メチル
イミダゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミ
ダゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾ
リウム・トリメリテート、１−シアンエチル−２−フェ
ニルイミダゾリウム・トリメリテート、２−メチルイミ
ダゾリウム・インシアヌレート、２〜フエニルイミダゾ
リウム・イソシアヌレート、２，４−ジアミノ−６−〔
２−メチルイミダゾリル−（Ｉ）〕−〕エチルー８−ト
リアジン２，４−ジアミノ−６−〔２−エチル−４−メ
チルイミダゾリル−（Ｉ）〕−二チルーＳ−）リアジン
、２，４−ジアミノ−６−〔２−ウンデシルイミダゾリ
ル−（Ｉ））−エチル−８−トリアジン、２−フェニル
−４−メチル−５−ｔ＝）’ロキシメチルイミダゾール
、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾ
ール、１−シアノエチル−２−フェニル−４，５−ジ（
シアノエトキシメチル）イミダゾール、■−ドデシルー
２−メチルー３−ベンジルイミダゾリウム・クロライド
および１．３−ジベンジル−２−メチルイミダゾリウム
・クロライド等のイミダゾール化合物類、ノボラック型
フェノール樹脂、クレゾール型フェノール樹脂、レゾル
シノール型フェノール樹脂およびポリビニルフェノール
等のフェノール類、三フッ化ホウ素−アミン錯体、五フ
ッ化ホウ素−アミン錯体および五フッ化ヒ素−アミン錯
体等のルイス酸−アミン錯体類、ジシアンジアミド、０
−）リルビグアニド、フェニルビグアニドおよびα−２
，５−ジメチルビグアニド等のジシアンジアミド誘導体
、コハク酸ヒドラジド、アジピン酸ヒドラジド、イソフ
タル酸ヒドラジドおよびｐ−オキシ安息香酸ヒドラジド
等の有機酸ヒドラジド類、ジアミノマレオニトリルおよ
びベンジルジアミノマレオニトリル等のジアミノマレオ
ニトリル誘導体、メラミンおよびＮ、　Ｎ−ジアリルメ
ラミン等のメラミン誘導体、アミンイミド誘導体、ポリ
メルカプタン類等の公知のエポキシ硬化促進剤を用いる
ことができる。

これらの熱硬化触媒は単独または２種以上混合して用い
てもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分１００重量部
に対して、０．０１〜ｌＯ重量部が好ましく、特に０．
０５〜５重１部使用することが好ましい。０．０１重量
部未満では硬化膜の強度が不足し、１０重量部を越える
と結晶の析出、液の安定性の低下が起こる。

本発明に用いられる有機溶剤としては、メチルエチルケ
トン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キシ
レン等の芳香族炭化水素類、セロソルブ、ブチルセロソ
ルブ等のセロソルブ類、カルピトール、ブチルカビトー
ル等のカルピトール類、酢酸エチノペ酢酸ブチル、セロ
ソルブアセテ−ト、ブチルセロソルブアセテート、カル
ピトールアセテート、ブチルカルピトールアセテート等
の酢酸エステル類などがある。

これらの有機溶剤は、液状感光性樹脂組成物１００重量
部に対して、１０〜５０重量部が好ましく、特に２０〜
４０重量部使用することが好ましい。１０重量部未満で
は液粘度が高く、５０重量部を越えると液粘度が低くい
ずれも作業性が低下する。

本発明の液状感光性樹脂組成物には、乾燥時の重合防止
のために熱重合防止剤を配合することが好ましい。熱重
合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メト
キシフェノール、ｐ−ｔ−ブチルカテコール、２．６−
ジーｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、β−ナフトール、ピ
ロガロール等の芳香族ヒドロキシ化合物、ベンゾキノン
、ｐ−トルキノン等のキノン類、ナフチルアミン、ピリ
ジン、ｐ−トルイジン、フェノチアジン等のアミン類、
Ｎ−ニトロンフェニルヒドロキシルアミンのアルミニウ
ム塩またはアンモニウム塩、フロラニール、ニトロベン
ゼン等が挙げられる。

さらに、本発明の液状感光性樹脂組成物には、粘着付与
剤、密着促進剤、分散剤、可塑剤、垂れ防止剤、レベリ
ング剤、消泡剤、難燃化剤、光沢剤、着色剤等の補助的
添加剤を必要に応じて配合してもよい。

粘着付与剤または密着促進剤としては、例えばアルキル
フェノール／ホルムアルデヒドノボラック ク樹脂、ポリビニルブチラ−ル、ポリビニルイソブチル
エーテル、ポリビニルブチラール、ポリイソブチレン、
スチレン−ブタジェン共重合体ゴム、ブチルゴム、塩化
ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ゴム、アクリル樹脂
系粘着剤、芳香族系、脂肪族系または脂環族系の石油樹
脂等が挙げられる。

粘着付与剤または密着促進剤の添加により、光硬化後の
感光性樹脂の基板との密着性が高まり、特に、銅印刷配
線板および半田印刷配線板に使用する際にその効果が大
きく発揮される。

分散剤は液状感光性組成物の分散性、保存安定性等を向
上させるために使用される。可塑剤、垂れ防止剤、レベ
リング剤および消泡剤の配合の必要性は、液状感光性樹
脂組成物の使用方法、すなわち液状感光性樹脂組成物の
塗膜の作成方法に依存し、使用する種類と量は適宜選択
される。

これらの補助的添加剤は、単一の化合物が一種類の性質
（分散性、可塑性、垂れ防止性、レベリング性または消
泡性）を示すのみではなく、複数の添加効果を示すこと
がある。例えば、分散剤は液状感光性樹脂組成物の可塑
剤、レベリング剤および消泡剤としても働くことがあり
、また分散剤、垂れ防止剤、レベリング剤および消泡剤
は、光硬化後の感光性樹脂組成物の光沢性にも効果を示
し、光沢剤として働くこともある。

分散剤としては、例えばフッ素含有高分子化合物、界面
活性剤、改質レシチン、非シリコン系の長鎖カルボン酸
アミン塩、有機モントモリライトなどが用いられる。

可塑剤としては、例えばエチレングリコールシフタレー
ト、ジエチレングリコールシフタレート、エチレングリ
コールシカプリン酸エステル、ジエチレングリコールジ
カブリン酸エステル等のグリコールエステル類、ジメチ
ルフタレート、ジエチルフタレート、ジブチルフタレー
ト、ジオクチルフタレート、ジアリールフタレート、ブ
チルベンジルフタレート等のフタル酸エステル類、トリ
フェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート等の
リン酸エステル類、ジエチルマレート、ジブチルアジペ
ート、クエン酸トリエチル、ラウリル酸エチル等が用い
られる。

垂れ防止剤としては、例えばタルク、マイカ、二酸化ケ
イ素、二酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウ
ム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム
、硫酸バリウム等の無機質の微粉末が用いられる。

着色剤としては、例えば酸化チタン、カーボンブラック
、酸化鉄などの無機顔料、メチレンプル、クリスタルバ
イオレット、ローダミンＢ１フクシン、オーラミン、ア
ゾ系染料、アントラキノン系染料等の有機染料、フタロ
シアニンブルーフタロシアニングリーン等のフタロシア
ニン系またはアゾ系有ＦＢ顔料が用いられる。

また難燃化剤としては、例えば三酸化アンチモン、水酸
化ジルコニウム、メタホウ酸バリウム、水酸化マグネシ
ウム、水酸化アルミニウム等の無う 機系難燃化剤、テ）ｆｆブロモビスフェノールＡ、塩素
化ハラフィン、パークロロペンタシクロデカン、テトラ
ブロモベンゼン、塩ｆｉ化ジフェニル等のハロゲン系！
＃燃化剤、および塩化ホスフォニトリル誘導体、ビニル
ホスフォネート、アリルホスフォネート、トリス（β−
クロロエチル）ホスフォネート、トリクレジルホスフォ
ネート、リン酸アンモミウム等のリン系難燃化剤が用い
られる。

このようにして得られる本発明の液状感光性樹脂組成物
を用いて画像を形成するに際しては、この液状感光性樹
脂組成物を基板に塗布後、加熱硬化して表面を非粘着性
とし、次いで硬化塗膜にパターンマスクを密着させて露
光しアルカリ性水溶液により現像し、未硬化膜を溶出し
、画像を得る本発明の液状感光性樹脂組成物を基板上に
塗布する方法としては、たとえば、スプレー法、デイツ
プ法、はけ塗り法、ローラー塗装法、フローコーター法
、カーテンコート法、スクリーン印刷法等が挙げられ、
特に印刷配線板や薄膜金属等に塗布するには、ローラー
塗装法、カーテンコート法、スクリーン印刷法等が好ま
しい。

本発明の液状感光性樹脂組成物は、熱および光のいずれ
を用いても硬化することができ、特にホトレジストとし
て用いる際には、活性光線を照射する前に、塗膜を加熱
硬化して塗膜表面の粘着性を消失させる。この際の加熱
硬化の条件は、例えば７０〜１２０℃で５〜３０分が好
ましい。このように加熱硬化する結果、非粘着性となり
、硬化塗膜にパターンマスクを密着させて露光すること
が可能となる。

本発明の液状感光性樹脂組成物の光硬化に用いられる露
光光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯
、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドラン
プおよびレーザー光線等が挙げられるが、３００ｎｔｎ
〜４００Ｔ１ｒｌ’ｌ付近の紫外線を放射する高圧水銀
灯、超高圧水銀灯またはメタルハライドランプを光源と
した露光装置を用いることが好ましい。

本発明の液状感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液によ
り現像することができる。現像液としては、例えば水酸
化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭酸
ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、アンモニア
等の０．１〜１０重量％の水溶液を用いることができる
が、しかし場合によっては、アミン類、例えばブチルア
ミン、ヘキシルアミン、ベンジルアミン、アリルアミン
等の１級アミン、ジエチルアミン、ベンジルエチルアミ
ン等の２級アミン、トリエチルアミン等の３級アミン、
エタノールアミン、ジェタノールアミン、トリエタノー
ルアミン、２−アミノ〜１゜３−プロ冬パンジオール等
のヒドロキシルアミン、モルホリン、ピリジン、ピペラ
ジン、ピペリジン等の環状アミン、ヒドラジン、エチレ
ンジアミン、ヘキサメチレンジアミン等のポリアミン、
前記アミンの硫酸塩、炭酸塩、重炭酸塩、アルカリ金属
リン酸塩、ピロリン酸塩等の塩基性塩、テトラメチルア
ンモニウムヒドロキシド、コリン等の４級アンモニウム
塩ヒドロキシド等を使用することもできる。

また、本発明の液状感光性樹脂組成物は、画像形成後、
必要に応じて加熱処理により後硬化することによって、
耐熱性のより向上した硬化膜とすることもできる。この
際の条件は、例えば、１２０〜１７０℃で１０〜６０分
が好ましい。

露光前の硬化および画像形成後の後硬化における加熱処
理は、熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉など加熱装置
をもちいることが出来る。

以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明するが
、本発明はこの実施例によって限定されるものではない
。なお、他にことわりのない限り「部」は「重量部Ｊを
表す。

（合成例−１） ４−ビニルフェニルグリシジルエーテルのビニル重合体
１００部、メタクリル酸５１．３部、フエッチアジン０
．１１Ｎをカルピトールアセテ−）１０１．７部に溶解
し、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライド１．　
３部を加え、８０℃で１２時間撹拌する。

この反応物に、テトラヒドロ無水フタル酸８４６Ｂを加
え、８０℃で４時間撹拌することにより、変性ポリスチ
レン樹脂ｌを得た。

（合成例−２） 合成例−１のカルピトールアセテ−［０１゜７部を８９
．３部に、テトラヒドロ無水フタル酸８４．６部を無水
コハク酸５５．７部に変更する他は合成例−１と同様に
して変性ポリスチレン樹脂２を得た。

（合成例−３） エビクロンＮ−６７３（大日本インキ＠製　クレゾール
ノボラック型エポキシ樹脂　エポキシ当量２１０）１０
０部、アクリル酸３５．７部、ハイドロキノン０．０７
部をカルピトールアセテ−）８８．８部に溶解し、ベン
ジルトリエチルアンモニウムクロライド１．０７部を加
え、８０℃で１２時間撹拌する。

この反応物に、テトラヒドロ無水フタル酸７０４部を加
え、８０℃で４時間撹拌することにより、重合性樹脂３
を得た。

（合成例−４ン 合成例−３のカルピトールアセテート８８．８部を７８
．４部に、テトラヒドロ無水フタル酸７０．４部を無水
コハク酸４６．−２８に変更する他は合成例−３と同様
にして重合性樹脂４を得た。

（実施例−１） 〈成分　Ｍ〉 合成例−１で得た変性ポリスチレン樹脂１３５０部 フローレンｒＡｃ−３Ｑ　ＯＪ　　　　　　１５部（共
栄社油脂化学工業（株）製の消泡剤ンフタロシアニン・
グリーン　　　　２．５部イルガキニア９０７　　　　
　　　２７．５部（チバガイギー社製の光重合開始剤） シリカ　　　　　　　　　　　　　　５部硫酸バリウム ９０部 １−ベンジル−２−メチルイミダソール１０部 く成分　Ｎ　〉 トリグリシジル　　　　　　　　　　１００部インシア
ヌレート ジペンタエリスリトール　　　　　　　３６１ｆｆｌへ
キサアクリレート タルク　　　　　　　　　　　　　　　１４部セロソル
ブアセテート　　　　　　　５０部成分　Ｎ　　合計　
　　２００部 上記成分ＭＳＮ　　を、それぞれ別々にロールミルによ
り混練してインキを調整した。

次いで、成分Ｍと成分Ｎ　を混練し、液状感光性樹脂組
成物を得た。

（比較例−１） 実施例−１の変性ポリスチレン樹脂ｌの代わりに、合成
例−３で得た重合性樹脂３を用いる他は実施例−１と同
様にして、液状感光性樹脂組成物を得た。

（実施例−２） 実施例−１の変性ポリスチレン樹脂１０代わりに、合成
例−２で得た変性ポリスチレン樹脂２を用いる他は実施
例−１と同様にして、液状感光性樹脂組成物を得た。

（比較例−２） 実施例−１の変性ポリスチレン樹脂１の代わりに、合成
例−４で得た重合性樹脂４を用いる他は実施例−１と同
様にして、液状感光性樹脂組成物を得た。

これらの液状感光性樹脂組成物の性能を、以下の方法に
より、評価した結果を表−１に示す。

■、塗膜の形成 銅張積層板を、研磨、洗浄、水分除去により前処理を行
う。前処理した銅張積層板上に各種条件で調整した液状
感光性樹脂組成物をスクリーン印側法により全面に塗布
し、熱風循環式乾燥炉中において７０℃で３０分間乾燥
し、塗膜を得た。

■、現像性の評価 下記の条件にて塗膜を現像し、塗膜が溶解する時間を測
定した。

■、感度の評価 濃度の段差０．１５（ΔｌｏｇＥ）の階段ウェッジを塗
膜に密着させ、５ＫＷ超高圧水銀灯で１０００ｍ　ｊ／
ｃｍ２露光し、塗膜が溶解する時間の２倍の時間で現像
してウェッジに対応する陰画像を得、画像が完全に溶出
した段数（クリア段数）を調べた。

■、鉛筆硬度の評価 クリア段数が１２段になる露光量でベタ露光し、■と同
様に現像した後、熱風乾燥炉中において１４０℃で５０
分間後硬化し、ＪＩＳ　　Ｋ　　５４００　６−１４に
準じて測定した。

■、密着性の評価 鉛筆硬度の評価と同様に、露光・現像・後硬化を行い、
ＪＩＳ　　Ｋ　　５４００　６−１５に準じて、基盤目
試験を行った。

■、絶縁抵抗の評価 ［’Ｃ−Ｂ−２５テストパターンを形成した両面銅張積
層板を用いた以外は、鉛筆硬度の評価方法と同様に、露
光・現像・後硬化を行い、ＪＩＳＺ　　３１９７に従っ
て、絶縁抵抗を、アトパンテスト（株）製のｒＴＲ−８
６０１Ｊを用いて、ＤＣ５００Ｖ印加後、１分での抵抗
値を調べた。

■、耐溶剤性の評価 絶縁抵抗の評価と同様に、露光・現像・後硬化を行い、
試料を１．１．１−　）ジクロロエタン中に、２０℃で
１時間浸漬させたのち、塗膜の状態と密着性を総合的に
判定した。

■、耐酸性の評価 耐溶剤性と同様に、露光・現像・後硬化を行い、試料を
１Ｑｖｏ１％の硫酸水溶液中に、２０℃で３０分間浸漬
させたのち、塗膜の状態と密着性を総合的に判定した。

（発明の効果） 上記の実施例から明らかなように、本発明の液状感光性
樹脂組成物は、印刷配線板に塗布後、加熱による乾燥に
より塗膜表面の粘着性をなくしパターンマスクを密着さ
せて露光することができ、高感度であり、アルカリ性水
溶液により現像が可能である。

さらに、現像後、熱硬化により電気特性、機械的特性お
よび耐薬品性に優れた組成物であり、印刷配線板の永久
保護マスクとして使用可能な液状感光性樹脂組成物であ
る。

特許出願人　　富士写真フィルム株式会社手続補正書 （自発）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （Ａ）下記一般式（ I ）の繰り返し単位を有する高分
   子重合体、同一分子中にカルボキシ ル基とエチレン性不飽和二重結合を有する 化合物、および飽和あるいは不飽和多塩基 酸無水物を順次反応して得られる変性ポリ スチレン樹脂 一般式（ I ） ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中、Ｒは水素、またはメチル基、Ａｒ はフェニレン、または置換フェニレンを意 味する。） （Ｂ）少なくとも１個のエチレン性不飽和二重結合を有
   する重合性化合物 （Ｃ）少なくとも１個のエポキシ基を有するエポキシ化
   合物 （Ｄ）光重合開始剤または光重合開始剤系 （Ｅ）エポキシ基を熱反応させる熱硬化性触媒（Ｆ）有
   機溶剤 を含有する液状感光性樹脂組成物。