JPH02196903A - 画像処理用照明装置 - Google Patents

画像処理用照明装置

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Publication number
JPH02196903A
JPH02196903A JP1719189A JP1719189A JPH02196903A JP H02196903 A JPH02196903 A JP H02196903A JP 1719189 A JP1719189 A JP 1719189A JP 1719189 A JP1719189 A JP 1719189A JP H02196903 A JPH02196903 A JP H02196903A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
light
shadow
camera
difference
Prior art date
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Pending
Application number
JP1719189A
Other languages
English (en)
Inventor
Hironaka Sasaki
佐々木 廣中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP1719189A priority Critical patent/JPH02196903A/ja
Publication of JPH02196903A publication Critical patent/JPH02196903A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野] 本発明は1画像処理対象物の位置あるいは外形寸法のデ
ータの取込みに関し、特にその画像処理用照明装置に関
する。
【従来の技術】
従来、この種の位置データ等の取込みのための画像処理
用照明装置は、外部の斜め上部から1画像処理対象物に
光を照射するか、直接拡散板を通して画像処理対象物を
照射して、その影を明確にする構造となっていた。 [発明が解決しようとする課題] 上述した従来の外部の斜め上部からの照明装置では1画
像処理対象物に一様に光を照射しにくく、また天井灯等
の別光源の影響を受けやすく画像処理対象物の影が一様
の太さにならず、調整が難しく調整ズレが発生しやすい
という欠点がある。 又、直接拡散板を通す照明装置でもランプの真下とモの
他の位置では、光の強度差があり、上記と同様の欠点が
ある。 このように光の強度差があることは、光の強い所では画
像処理対象物の影が細くなり、その影と判断できず、又
光の弱い所では画像処理対象物の影が太くなり、誤処理
するという欠点となってしまう。 [W1題を解決するための手段] 本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり1画像処
理対象物に対し一様の照射光を与えることによって、こ
れによってできる影を一様とし画像処理装置の誤動作を
防止することを目的としている。 具体的に本発明は、照明ブロック内に、該照明ブロック
の照射口以外に向けて照射する照明用ランプと、該照明
用ランプからの光を乱反射して照射口へ送る乱反射板と
、照射口に設けられ乱反射された光を透過して照明ブロ
ック外に均一に拡散照射させる拡散板とを備えた構成と
している。 [実施例1 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。 第1図は本発明の画像処理用照明装置の一実施例を示す
オートハンドラにおけるIC1liデータの取込み部の
要部破断正面図、第2図は本発明を利用したオートハン
ドラにおけるICの移動フローチャート図である。 第1図において、lはハンドラのICWi送アーム、2
はIC搬送アームlに固定された照明ブロック、3は乱
反射板、4は照明用ランプ、5は拡散板で、乱反射板3
.照明用ランプ4.拡散板5は照明ブロック2に固定さ
れている。 上記照明用ランプ4は、照明ブロック2の照射口2a両
側に設けられると共に、照射口2aの周囲に設けた遮断
壁2bによって、直接照明ブロック2外へ光が照射され
ないようにされている。 上記乱反射板3は、照明用ランプ4の光を乱反射して照
射口2aに送るものであり、照明ブロック2の土壁に設
けられている。 また、拡散板5は、照射口2aを完全に覆うよう設けら
れた透光板であり、乱反射板3によって乱反射された光
を透過して照明ブロック2外に均一に照射させるもので
ある。 また、6は被測定用のIC17はIC6のリード、8は
位置データ取込み用のカメラ、9はハンドラのベースで
ある。カメラ8はハンドラのベース9に固定されている
。 次にオートハンドラのa要動作を#I2図で説明する。 供給トレイlOに入っている被測定用のIC8はICW
i送アームlでカメラfi20に移送され。 リード7の影から位置データを取込み、補正値奄割出し
、IC搬送アーム1を制御する四軸ロボット50でIC
8の位置を補正し、測定部3oに搭載する。測定終了後
、収納トレイ40に納めることにより一連の動作を完了
する。 第1図で本発明の実施例について動作説明する。 第[図のIC搬送アームlで供給トレイlOから取出さ
れたIC6はカメラ8の真上に搬送され、照明ブロック
2から照射でカメラ8にり−、ドアの影ができる。 カメラ8はリード7の外形の影を画像処理し。 制御部に予めセットされている標準位置データと比較し
、その差から四軸ロボット50によりIC搬送アームl
を微調整して、測定部30に搭載する。 この後、照明ブロック2に取付けられた左右2個の照明
用ランプ4の光が、乱反射板3で乱反射して、強度差が
少なくなり、さらに拡散板5で拡散される。そのため、
Iceには強度差のない光が照射されることとなる。 [発明の効果] 以上説明したように本発明は、照明ブロック内に、該照
明ブロックの照射口以外に向けて照射する照明用ランプ
と、該照明用ランプからの光を乱反射して照射口へ送る
乱反射板と、照射口に設けられ乱反射された光を透過し
て照明ブロック外に均一に拡散照射させる拡散板とを備
えたことによリ、画像処理対象物の影の太さが一様にな
るため1位置データ等の取込み精度が向上し、画像処理
が容易になる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の画像処理用照明装置の一実施例を示す
オートハンドラにおけるIC位置データの取込み部の要
部破断正面図、第2図は本発明を利用したオートハンド
ラにおけるICの移動フローチャート図である。 1:IC搬送アーム 2:照明ブロック2a:照射口 
   3:乱反射板 4:照明用ランプ  5:拡散板 6:IC7:リード 8:カメラ     9:ベース

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  照明ブロック内に、該照明ブロックの照射口以外に向
    けて照射する照明用ランプと、該照明用ランプからの光
    を乱反射して照射口ヘ送る乱反射板と、照射口に設けら
    れ乱反射された光を透過して照明ブロック外に均一に拡
    散照射させる拡散板とを備えたことを特徴とする画像処
    理用照明装置。
JP1719189A 1989-01-26 1989-01-26 画像処理用照明装置 Pending JPH02196903A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07120530A (ja) * 1993-10-25 1995-05-12 Nec Corp 半導体検査装置
JP2011076863A (ja) * 2009-09-30 2011-04-14 Edm Kk 照明装置及び画像処理装置
JP2023026881A (ja) * 2021-08-16 2023-03-01 リンテック株式会社 位置決め装置および位置決め方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07120530A (ja) * 1993-10-25 1995-05-12 Nec Corp 半導体検査装置
JP2011076863A (ja) * 2009-09-30 2011-04-14 Edm Kk 照明装置及び画像処理装置
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