JPH0219975B2 - - Google Patents

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JPH0219975B2
JPH0219975B2 JP55189544A JP18954480A JPH0219975B2 JP H0219975 B2 JPH0219975 B2 JP H0219975B2 JP 55189544 A JP55189544 A JP 55189544A JP 18954480 A JP18954480 A JP 18954480A JP H0219975 B2 JPH0219975 B2 JP H0219975B2
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silicon dioxide
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Description

【発明の詳細な説明】
本発明は、化合物半導体を用いたシヨツトキ・
ゲート電界効果トランジスタのような半導体装置
及びその製造方法に関する。 従来、例えばGaAsシヨツトキ・ゲート電界効
果トランジスタのゲート電極として、アルミニウ
ム（Al）、金（Au）、チタン（Ti）、モリブデン
（Mo）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ta）な
どの金属が用いられている。しかしながら、いず
れも600〔℃〕程度の熱処理でゲート電極の電気的
特性、例えば障壁高さ、ｎ値（1.04）、逆方向耐
圧が劣化し、トランジスタとしての動作は不能に
なる。 そこで、近年、前記従来のものの欠点を解消し
たとして、TiWをゲート電極とするものが発表
されている。 しかしながら、これも、例えば850〔℃〕の熱処
理には耐えることができず、障壁が失なわれ不安
定になる。しかも、通常の製造プロセスを採る
と、その間に腐蝕されて比抵抗が増大したりある
いは失なわれてしまう場合がある。 本発明は、850〔℃〕以上の熱処理に耐えられる
シヨツトキ・ゲート電極を有する半導体装置とそ
の製造方法を提供するものであり、以下これを詳
細に説明する。 ここでシヨツトキ接触とは、電極金属が半導体
基板に直接接触してダイオード特性が発生するも
の、半導体基板に直接接し更に半導体基板との間
に合金を生じてダイオード特性が発生するもの、
更に半導体基板表面の自然酸化膜を介して電極金
属が配設され、自然酸化膜中のトンネル現象によ
つてダイオード特性が生じるものを含む。 第１図乃至第６図は本発明一実施例を説明する
為の工程要所に於ける半導体装置の要部側断面説
明図であり、次に、これ等の図を参照しつつ記述
する。 第１図参照 (1) クロム（Cr）をドープしたGaAs半絶縁性基
板１に厚さ例えば6000〔Å〕の二酸化シリコン
膜２を形成し、これを通常の技法でパターニン
グし窓２ａを形成する。 (2) イオン注入法を適用し、加速エネルギを175
〔KeV〕、ドーズ量を2.6×1012〔cm-2〕としてシ
リコン（Si）を注入する。 (3) 二酸化シリコン膜２を除去してから新たに厚
さ例えば1000〔Å〕程度の二酸化シリコン膜を
形成し、温度例えば850〔℃〕で時間例えば15
〔分〕の熱処理を行なうと図示のようなｎ型層
３を得ることができる。尚、外方拡散をを防止
する為に後から形成した二酸化シリコン膜は熱
処理終了後除去する。 第３図参照 (4) TiWSi合金、例えばTi0.3W0.7Si2からなる合
金をスパツタ法にて被着して厚さ例えば6000
〔Å〕の合金膜を形成し、これを、CF4＋O2（５
〔％〕）からなるエツチヤントを使用するドラ
イ・エツチング法にてパターニングしてゲート
電極４を形成する。 第４図参照 (5) 二酸化シリコン膜５を形成し、それをパター
ニングして窓５ａを形成してｎ型層３の表面を
露出させる。 (6) イオン注入法を適用し、加速エネルギを175
〔KeV〕、ドーズ量を1.7×1013〔cm-2〕としてSi
を注入する。 第５図参照 (7) 二酸化シリコン膜５を除去してから新たに厚
さ例えば1000〔Å〕程度の二酸化シリコン膜を
形成し、温度を例えば800〔℃〕、時間を15〔分〕
程度とする熱処理を行なつて図示のようなn+
型領域６，７が形成される。尚、２度目に形成
した二酸化シリコン膜は熱処理終了後除去す
る。 このようにして形成したn+型領域６，７の
不純物濃度はピーク部分で１×1018〔cm-3〕、ｎ
型層３のそれは同じくピーク部分で１×1017
〔cm-3〕であつた。 第６図参照 (8) GaAs部分表面を100〔Å〕程度エツチングす
る。このときのエツチング液としてはKOH＋
H2O2を使用して良い。 (9) 通常の技法にてn+型領域６，７上に電極８，
９を形成して完成する。電極材料としては
AuGe／Au系を使用してよい。 このようにして製造した装置に関する具体的デ
ータを挙げると次の通りである。 ゲート長：1.4〔μｍ〕 ゲート幅：200〔μｍ〕 ソース・ドレイン間隔：６〔μｍ〕 gm：23〔ｍ〕 Cgs（ソースゲート間容量）：0.21〔pF）T （遮断周波数）：12.3〔ＧHz〕 シヨツトキ・ゲートについて ｎ値：1.18 バリヤ・ハイト：0.78 破壊電圧：10〔Ｖ〕 ところで、本発明ではn+型領域６，７をシヨ
ツトキ・ゲート電極４をマスクにした自己整合方
式で形成しているので、通常であればシヨツト
キ・ゲート電極４とn+型領域６，７との短絡が
懸念されるところであるが、こは全く問題になら
ない。その理由は、前記した工程８に見られるよ
うに、n+型領域６，７の表面がエツチングされ
て、第６図で明らかであるが、該表面はシヨツト
キ・ゲート電極４とｎ型層３との界面よりも低く
なつているからである。 シヨツトキ・ゲート電極の逆方向耐圧を維持す
るには次のような手段を採ることが考えられる。 (1) n+型領域６，７のドーズ量を下げる。 (2) n+型領域６，７を形成後、シヨツトキ・ゲ
ート電極４をエツチングして細くする。 (3) シヨツトキ・ゲート電極４を絶縁化する。 (4) n+型領域６，７の表面をエツチングする。 (5) n+型領域６，７を形成する前にマスクとな
るシヨツトキ・ゲート電極４を加工して傘型に
するか、傘型を構成するマスクを別設してから
イオン注入を行なう。 (6) イオン注入のエネルギを高くしてプロジエク
ト・レインジを深くする。 本発明では、前記(4)の方法を採つていて、これ
等の方法と残りの他の方法とを比較すると、実施
が極めて容易で、且つ、そのわりに効果が大きい
旨の利点がある。因に、GaAsn+型領域に対する
シヨツトキ逆方向耐圧に関するデータを示すと次
の通りである。
【表】 ところで、本発明に於いて、シヨツトキ・ゲー
ト電極の位置を自己整合で決定できること、即
ち、シヨツトキ・ゲート電極を形成してからイオ
ン注入を行ない、その活性化熱処理を行なうこと
ができるのは、電極材料として高融点金属シリサ
イドを使用した点に負うところが大きいので、こ
こにTiWとTiWSiとを比較してデータを示すと
次の通りである。
【表】 以上の説明で判るように、本発明に依れば、シ
ヨツトキ・ゲート電極として高融点金属シリサイ
ドを使用することに依り該電極の位置決めを自己
整合方式で行うことができ、しかも、そのように
しても、ソース領域及びドレイン領域の表面とシ
ヨツトキ・ゲート電極及び化合物半導体の界面と
の間には段差があること等から短絡は防止され、
充分な耐圧を維持することが可能である。 なお、以上の本発明において、合金膜の組成は
化学量的合金に限られるものではなく、当該化学
量論値とは若干異つていてもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図乃至第６図は本発明一実施例を説明する
為の工程要所に於ける半導体装置の要部側断面説
明図、第７図は不純物濃度分布を表わす線図であ
る。 図に於いて、１は基板、３はｎ型層、４は
TiWSiのゲート電極、６，７はn+型領域、８，
９は電極である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 化合物半導体上にタングステンを含むシリサ
    イドからなるシヨツトキ・ゲート電極を形成する
    工程と、 次いで、該シヨツトキ・ゲート電極をマスクと
    して不純物を該化合物半導体中に注入し、該シヨ
    ツトキ・ゲート電極の両側にソース領域及びドレ
    イン領域を形成する工程と、 次いで、前記注入された不純物を活性化する高
    温熱処理を行う工程と、 が含まれてなることを特徴とする半導体装置の製
    造方法。
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